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      一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:11422457閱讀:1045來源:國知局
      一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

      本實用新型涉及X射線平板探測器設(shè)計領(lǐng)域,特別是涉及一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)。



      背景技術(shù):

      近年來,照相平板印刷和微電子技術(shù)領(lǐng)域的不斷進步,使集成基于TFT陣列讀出裝置的大面積X射線探測器的應(yīng)用越來越普及。基于TFT的平板系統(tǒng)的電荷收集和讀出電子元件緊貼與X射線發(fā)生交互作用的材料層,使X光的探測器的結(jié)構(gòu)緊湊,并能實時轉(zhuǎn)化為數(shù)字影像,因此X射線探測器正成為醫(yī)療輻射成像,工業(yè)探傷和安檢的中堅力量。

      X射線平板探測器的成像過程需要經(jīng)歷X射線到可見光,然后電荷圖像到數(shù)字圖像的成像轉(zhuǎn)換過程,通常也被稱作間接轉(zhuǎn)換型平板探測器,是一種以非晶硅光電二極管陣列為核心的X射線影像探測器。在X射線照射下探測器的閃爍體或熒光體層將X射線光子轉(zhuǎn)換為可見光,而后由具有光電二極管作用的非晶硅陣列變?yōu)閳D像電信號,通過外圍電路積分讀出及A/D變換,從而獲得數(shù)字化圖像。非晶硅平板探測器具有成像速度快,良好的空間及密度分辨率,高信噪比,直接數(shù)字輸出等顯著優(yōu)點。

      X射線探測器結(jié)構(gòu)中,碘化銫作為閃爍體,將接收到的X射線轉(zhuǎn)化成可見光,傳遞到玻璃表面非晶硅光電二極管上,轉(zhuǎn)化成電信號。碘化銫材料對溫度和濕度比較敏感,在現(xiàn)有的技術(shù)中,用鋁塑膜進行封裝,保證碘化銫不受外界濕氣影響。此外,玻璃上的非晶硅層對磁場比較敏感,外界的磁場變化會導(dǎo)致探測器圖像上出現(xiàn)明顯橫紋。

      現(xiàn)有技術(shù)中,碘化銫表面的封裝結(jié)構(gòu)不具有磁屏蔽的效果,X射線探測器在使用過程中容易受到外界磁場干擾,從而影響到圖像效果。

      基于以上所述,提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)實屬必要。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本實用新型的目的在于提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),用于解決現(xiàn)有技術(shù)中碘化銫表面的封裝結(jié)構(gòu)不具有磁屏蔽功能,導(dǎo)致X射線探測器在使用過程中容易受到外界磁場干擾的問題。

      為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實用新型提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)至少包括覆蓋在碘化銫層表面的導(dǎo)磁層。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)包括蒸鍍在所述碘化銫層表面的所述導(dǎo)磁層和封裝在所述導(dǎo)磁層表面的封裝膜層。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)磁層為封裝膜層。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)磁層為坡莫合金層或軟磁材料層。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述封裝膜層為鋁塑膜層。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)磁層的厚度范圍為10~100μm。

      作為本實用新型具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu),所述碘化銫層制作在玻璃表面。

      如上所述,本實用新型的具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),至少包括覆蓋在碘化銫層表面的導(dǎo)磁層。本實用新型的封裝結(jié)構(gòu),既可以在碘化銫表面先蒸鍍導(dǎo)磁層,再在導(dǎo)磁層表面封裝普通封裝膜材料進行封裝;也可以直接在碘化銫表面利用導(dǎo)磁層材料進行封裝。本實用新型通過在碘化銫封裝中加入導(dǎo)磁材料,既可以達到封裝效果,又可以實現(xiàn)對非晶硅層的磁屏蔽。

      附圖說明

      圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖2顯示為本實用新型實施例一中的具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖3顯示為本實用新型實施例二中的具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu)示意圖。

      元件標號說明

      101A,101,201 碘化銫層

      102,202 導(dǎo)磁層

      103A,103 封裝膜層

      104A,104,204 玻璃

      具體實施方式

      以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。

      請參閱附圖。須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實用新型可實施的限定條件,故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下,均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時,本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本實用新型可實施的范圍,其相對關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當亦視為本實用新型可實施的范疇。

      如圖1所示為現(xiàn)有碘化銫封裝結(jié)構(gòu),首先通過蒸鍍和刻蝕工藝將非晶硅感光層制作在玻璃104A上,然后在所述玻璃104A上蒸鍍碘化銫層101A,最后用普通封裝膜層103A(如鋁塑膜層)進行封裝。由于碘化銫層表面的這種封裝結(jié)構(gòu)不具有磁屏蔽的效果,而玻璃上的非晶硅層對磁場又比較敏感,外界的磁場變化將會導(dǎo)致探測器圖像上出現(xiàn)明顯橫紋。鑒于此,本實用新型提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),用來解決上述問題。

      實施例一

      如圖2所示,本實施例提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)至少包括覆蓋在碘化銫層101表面的導(dǎo)磁層102。具體地,所述封裝結(jié)構(gòu)包括蒸鍍在所述碘化銫層101表面的導(dǎo)磁層102和封裝在所述導(dǎo)磁層102表面的封裝膜層103。

      需要說明的是,在本實施例的封裝結(jié)構(gòu)中,所述導(dǎo)磁層102可以只蒸鍍在碘化銫層101的表面(不包括兩側(cè)),也不需蒸鍍在玻璃104表面上。

      作為示例,所述導(dǎo)磁層102可以為坡莫合金層或軟磁材料層,當然,在其他實施例中,也可以是合適的導(dǎo)磁材料,如納米非晶材料等,在此不限。

      在本實施例中,所述封裝膜層103可以是不具有磁屏蔽功能的普通封裝膜層材料,例如,鋁塑膜層等,只要不透水氣即可。

      作為示例,所述導(dǎo)磁層102的厚度范圍為10~100μm。優(yōu)選地,所述導(dǎo)磁層102的厚度范圍為50~100μm。本實施例中,所述導(dǎo)磁層102的厚度為60μm。

      作為示例,所述碘化銫層101制作在玻璃104表面。所述玻璃104表面制作有非晶硅層(未予以圖示),碘化銫層101覆蓋在玻璃104表面的非晶硅層上。

      本實施例提供的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),通過導(dǎo)磁層102和封裝膜層103共同對碘化銫層101進行封裝,其中導(dǎo)磁層102還可以對玻璃104表面的非晶硅層進行磁屏蔽,從而提高X射線平板探測器的抗磁能力和抗干擾性,提升探測器的整體性能。

      實施例二

      如圖3所示,本實施例提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)至少包括覆蓋在碘化銫層201表面的導(dǎo)磁層202。具體地,所述導(dǎo)磁層202為封裝膜層。

      需要說明的是,在本實施例的封裝結(jié)構(gòu)中,所述導(dǎo)磁層202不僅覆蓋在碘化銫層201的水平表面,而且還覆蓋在所述碘化銫層201的兩側(cè),另外,玻璃204表面上也都覆蓋。

      作為示例,所述導(dǎo)磁層202作為封裝膜層,可以為坡莫合金層或軟磁材料層,當然,在其他實施例中,也可以是合適的導(dǎo)磁材料,如納米非晶材料,在此不限。

      作為示例,所述導(dǎo)磁層202的厚度范圍為10~100μm。優(yōu)選地,所述導(dǎo)磁層202的厚度范圍為50~100μm。本實施例中,所述導(dǎo)磁層202的厚度為80μm。

      作為示例,所述碘化銫層201制作在玻璃204表面。所述玻璃204表面制作有非晶硅層,碘化銫層201覆蓋在玻璃204表面的非晶硅層上。

      本實施例提供的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),通過導(dǎo)磁層202對碘化銫層201進行封裝,其中導(dǎo)磁層202既可以起到碘化銫層201封裝作用,提高抗潮能力,又可以對玻璃204表面的非晶硅層進行磁屏蔽,從而提高X射線平板探測器的抗磁能力和抗干擾性,提升探測器的整體性能。

      綜上所述,本實用新型提供一種具有磁屏蔽能力的碘化銫封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)至少包括覆蓋在碘化銫層表面的導(dǎo)磁層。本實用新型的封裝結(jié)構(gòu),既可以在碘化銫表面先蒸鍍導(dǎo)磁層,再在導(dǎo)磁層表面封裝普通封裝膜材料進行封裝;也可以直接在碘化銫表面利用導(dǎo)磁層材料進行封裝。本實用新型通過在碘化銫封裝中加入導(dǎo)磁材料,既可以達到封裝效果,又可以實現(xiàn)對非晶硅層的磁屏蔽。

      所以,本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。

      上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效,而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下,對上述實施例進行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。

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