閃爍器面板和放射線檢測器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明的一個側面涉及閃爍器面板和放射線檢測器。
【背景技術】
[0002]在專利文獻I中記載有制造放射線檢測器的方法。在專利文獻I所記載的方法中，首先，在排列于元件基底上的光電轉換元件的前級配置掩模，通過使用該掩模的閃爍器材料的蒸鍍在光電轉換元件上形成閃爍器元件。接著，在全體涂布或蒸鍍光反射材料。此時，在將閃爍器元件分離的槽填充光反射材料。然后，利用鋁箔等實施遮光處理而得到放射線檢測器。
[0003]現(xiàn)有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開平9-325185號公報

【發(fā)明內容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題
[0007]但是，當如上述的方法那樣試圖在將閃爍器元件分離的槽填充光反射材料(或光吸收材料)而形成光遮蔽層時，則存在該光反射材料(或光吸收材料)中所含的溶劑等滲透到構成閃爍器元件的多個柱狀晶體間的情況。在這種情況下，存在具有潮解性的閃爍器元件的特性發(fā)生劣化的問題。特別是在將柱狀晶體增厚(例如膜厚500 μ m左右)的情況下，存在柱狀晶體間的間隙變寬的趨勢，從而成為問題。
[0008]本發(fā)明的一個側面是有鑒于那樣的情況而完成的發(fā)明，以提供能夠防止伴隨著光遮蔽層的形成的特性的劣化的閃爍器面板和放射線檢測器為課題。
[0009]解決問題的技術手段
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板是用于將放射線轉換為閃爍光的閃爍器面板，包括:具有表面和背面的基板；以相互分離的方式在基板的表面上形成且具有上表面和從上表面向基板的表面延伸的側面的多個閃爍器部；以覆蓋閃爍器部的上表面和側面的方式在閃爍器部的上表面和側面上形成的溶劑滲透阻止膜；和在溶劑滲透阻止膜上形成且用于遮蔽閃爍光的光遮蔽層，閃爍器部由閃爍器材料的多個柱狀晶體構成，溶劑滲透阻止膜以不填滿彼此相鄰的閃爍器部的側面彼此的間隙的方式形成，光遮蔽層以填充間隙的方式在閃爍器部的側面上的溶劑滲透阻止膜上形成。
[0011]在該閃爍器面板中，以彼此分離的方式在基板之上形成有多個閃爍器部，以不填滿這些閃爍器部彼此(閃爍器部的側面彼此)的間隙的方式，在各個閃爍器部的側面和上表面上形成有溶劑滲透阻止膜。再有，在該閃爍器面板中，以填充閃爍器部彼此的方式在溶劑滲透阻止膜之上形成有光遮蔽層。因此，在將規(guī)定的材料填充在閃爍器部彼此的間隙而形成光遮蔽層時，該規(guī)定的材料的溶劑等不會滲透到構成閃爍器部的柱狀晶體間。由此，根據(jù)該閃爍器面板，能夠防止伴隨著光遮蔽層的形成的特性的劣化。
[0012]在本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:光遮蔽層以覆蓋閃爍器部的側面的方式在閃爍器部的側面上的溶劑滲透阻止膜上形成。在這種情況下，能夠在各閃爍器部可靠地將閃爍光封入。
[0013]在本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:光遮蔽層還以覆蓋閃爍器部的上表面的方式在閃爍器部的上表面上的溶劑滲透阻止膜上形成。在這種情況下，能夠在各閃爍器部將閃爍光可靠地封入。
[0014]在本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:在基板，形成有在從基板的背面朝向表面的方向上從表面突出的多個凸部和由凸部規(guī)定的凹部，閃爍器部分別在凸部的上表面上形成。在這種情況下，能夠將閃爍器部彼此可靠地分離而形成。
[0015]在本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:溶劑滲透阻止膜還以覆蓋凸部的側面的方式在凸部的側面上形成。在這種情況下，能夠可靠地防止形成光遮蔽層時的溶劑向柱狀晶體間的滲透。
[0016]在本發(fā)明的一個側面所涉及的閃爍器面板中，能夠為如下方式:溶劑滲透阻止膜還以覆蓋凹部的底面的方式在凹部的底面上形成。在這種情況下，能夠更可靠地防止溶劑向柱狀晶體間的滲透，而且溶劑滲透阻止膜的形成變得容易。
[0017]此處，為了解決上述課題，本發(fā)明的一個側面所涉及的放射線檢測器包括上述的閃爍器面板，基板為具有以與閃爍器部光學結合的方式排列的多個光電轉換元件的傳感器面板。該放射線檢測器因為具備上述的閃爍器面板，所以能夠防止伴隨著光遮蔽層的形成的特性的劣化。
[0018]發(fā)明的效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明的一個側面，能夠提供能夠防止伴隨著光遮蔽層的形成的特性的劣化的閃爍器面板和放射線檢測器。
【附圖說明】
[0020]圖1是第一實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
[0021]圖2是圖1所示的閃爍器面板的部分平面圖。
[0022]圖3是第二實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
[0023]圖4是第三實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
[0024]圖5是第四實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
[0025]圖6是第五實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
[0026]圖7是第六實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。
【具體實施方式】
[0027]以下，參照附圖，對一個實施方式所涉及的閃爍器面板進行詳細的說明。另外，在各圖中，對相同或相當部分標注相同符號，省略重復的說明。以下的實施方式所涉及的閃爍器面板是用于將入射的X射線等的放射線R轉換為可見光等的閃爍光的閃爍器面板，例如能夠在乳房X射線照相裝置、胸部檢查裝置、CT裝置、齒科口內攝影裝置和放射線照相機等中作為放射線成像用的裝置來使用。
[0028][第一實施方式]
[0029]首先，對第一實施方式所涉及的閃爍器面板進行說明。圖1是第一實施方式所涉及的閃爍器面板的側面圖。圖2是圖1所示的閃爍器面板的部分平面圖。如圖1、2所示，閃爍器面板I具備矩形的基板10。
[0030]基板10具有彼此相對的表面1a和背面10b?；?0具有在表面1a形成的凹凸圖案Pa。作為基板10的材料，例如能夠使用Al或SUS (不銹鋼)等的金屬、聚酰亞胺或聚對苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等的樹脂薄膜、無定形碳或碳纖維強化塑料等的碳類材料、FOP(光纖面板:將直徑為幾微米的大量光纖捆束而得到的光學裝置(例如浜松光電子公司制J5734)等。作為凹凸圖案Pa的材料，例如能夠使用環(huán)氧樹脂(日本化藥(株式會社)制KMPR或SU-8等)那樣的高深寬比抗蝕劑、硅和玻璃等。特別是構成凹凸圖案Pa的凸部的材料能夠為相對于在下述的閃爍器部20產生的閃爍光具有透過性的材料。
[0031]凹凸圖案Pa由多個凸部11、以及由凸部11規(guī)定的凹部12形成。S卩，在基板10形成有多個凸部11和凹部12。各個凸部11沿從基板10的背面1b朝向表面1a的方向(此處，放射線R的射入方向和與基板10的表面1a或背面1b正交的方向)從表面1a突出。各個凸部11被形成為長方體狀。凸部11在基板10的表面1a上呈二維矩陣狀地周期性地排列。因此，由凸部11規(guī)定的凹部12是在平面視時呈矩形的格子狀的槽。
[0032]這樣的凹凸圖案Pa的各尺寸，在令凸部11的間距(凸部11的形成周期)P為100 μ m左右的情況下能夠令凹部12的寬度(槽寬度)W為35 μ m左右，在令凸部11的間距P為127 μ m左右的情況下能夠令凹部12的寬度W為20 μ m?40 μ m左右，在令凸部11的間距P為200 μπι左右的情況下能夠令凹部12的寬度W為50μπι?70μπι左右。此外，凸部11的高度H能夠為2.5 ym?50 ym左右。特別是在本實施方式中，令凸部11的間距P為127 μ m左右，令凹部12的寬度W為45 μ m左右，令凸部11的高度H為15 μ m左右。
[0033]閃爍器面板I包括多個閃爍器部20。閃爍器部20是多個柱狀晶體C林立而形成的，在柱狀晶體C之間存在幾μπι左右的間隙。多個閃爍器部20相互分離。閃爍器部20分別在凸部11的上表面Ila上形成。因此，閃爍器面板I包括與凸部11的數(shù)量對應的數(shù)量的閃爍器部20閃爍器部20具有上表面20a和從上表面20a朝向基板10的表面1a延伸且到達凸部11的上表面Ila的側面20b。閃爍器部20例如能夠由CsI (碘化銫)等形成柱狀晶體的閃爍器材料形成。
[0034]閃爍器部20從凸部11的上表面Ila沿放射線R的入射方向(與基板10大致垂直的方向)延伸。更具體而言，閃爍器部20由從凸部11的上表面Ila沿放射線R的入射方向延伸的閃爍器材料的多個柱狀晶體C構成。構成閃爍器部20的柱狀晶體C能夠呈隨著從凸部11的上表面Ila離開而擴徑的錐狀。另外，閃爍器部20的厚度(閃爍器膜厚)T例如能夠為100 μπι?600 μπι左右。另外，通過選擇放射線(X射線)透過性的基材作為基板10，能夠使放射線R從基板10的背面1b入射。
[0035]此處，如上所述，閃爍器部20彼此分離，因而在彼此相鄰的閃爍器部20的側面20b彼此之間形成有間隙30。即，閃爍器部20彼此通過間隙30而被劃分，彼此分離。再有，間隙30的寬度比構成閃爍器部20的多個柱狀晶體C的間隙寬。此處，間隙30從包括閃爍器部20的上表面20a的上端部(與凸部11相反側的端部)到達與