定于主體板50，也可以粘接固定于主體板50來代替螺栓。這些可動體44利用由控制器90驅(qū)動控制的驅(qū)動裝置88獨立地升降移動。
[0124]即，控制器90控制驅(qū)動裝置88，而能夠使剝離組合體42自圖5的水平姿勢傾斜為圖10所示的剝離開始位置的傾斜姿勢。另外，控制器90使自位于圖6中的層疊體6的角部6A側(cè)的位置的可動體44至箭頭A所示的剝離行進(jìn)方向的位于角部6B側(cè)的位置的可動體44依次下降移動。根據(jù)該動作，將層疊體6的界面24以剝離開始部26 (參照圖4)為起點進(jìn)行剝離。另外，圖5、圖10所示的層疊體6為圖3中說明的、利用剝離開始部制作方法制作了剝離開始部26、30的層疊體6。
[0125]驅(qū)動裝置88例如由旋轉(zhuǎn)式的伺服馬達(dá)和滾珠絲杠機(jī)構(gòu)等構(gòu)成。伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運動在滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的作用下轉(zhuǎn)換為直線運動，傳遞至滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的桿92。在桿92的頂端部隔著球接頭94設(shè)有可動體44。由此，能夠使可動體44跟隨撓性板46的撓性變形而傾動。因而，不向撓性板46施加過度的力就能夠使撓性板46自角部6A朝向角部6B撓性變形。另外，作為驅(qū)動裝置88，并不限定于旋轉(zhuǎn)式的伺服馬達(dá)和滾珠絲杠機(jī)構(gòu)，還可以是直線式的伺服馬達(dá)、或流體壓缸(例如氣壓缸)。另外，撓性板46的撓性變形方向可以是在自角部6A朝向角部6B的對角線上，也可以是相對于與角部6A相鄰的邊成45度的方向。
[0126]多個驅(qū)動裝置88優(yōu)選隔著緩沖構(gòu)件98安裝于能夠升降的框架96。緩沖構(gòu)件98以跟隨撓性板46的撓性變形的方式彈性變形。由此，桿92相對于框架96傾動。
[0127]控制器90構(gòu)成為包含ROM以及RAM等記錄介質(zhì)、CPU等的計算機(jī)?？刂破?0使CPU執(zhí)行記錄在記錄介質(zhì)中的程序，由此，根據(jù)每個驅(qū)動裝置88來控制多個驅(qū)動裝置88，從而控制多個可動體44的升降移動。
[0128]利用剝離裝置40的加強(qiáng)板3A、3B的剝離方法
[0129]圖11的(A)?圖11的⑶、圖12的(A)?圖12的(E)、圖13的(A)?圖13的(D)、圖14的(A)?圖14的(D)、圖15的(A)?圖15的⑶示出了在圖3中所說明的、利用剝離開始部制作方法在角部6A制作了剝離開始部26、30的層疊體6的剝離方法。另外，在這些圖中，按時間順序示出剝離層疊體6的加強(qiáng)板3A、3B的剝離方法。
[0130]S卩，在圖11的(A)?圖11的⑶中，依次示出使層疊體6保持于剝離組合體42的工序、使剝離組合體42相對于水平方向以Θ的傾斜角度傾斜的工序、以及向液槽68填充液體100的工序。
[0131]另外，在圖12的(A)?圖12的(E)中示出使撓性板46撓性變形從而剝離加強(qiáng)板3B的工序。
[0132]另外，在圖13的(A)?圖13的⑶中示出剝離后的加強(qiáng)板3B的送出工序。
[0133]另外，在圖14的(A)?圖14的⑶中，依次示出使剝離組合體42相對于水平方向以Θ角度傾斜并向液槽68填充液體100的工序、及使撓性板48撓性變形從而剝離加強(qiáng)板3A的工序。
[0134]另外，在圖15的㈧?圖15的⑶中，依次示出面板102的送出工序以及剝離后的加強(qiáng)板3A的送出工序。
[0135]向剝離組合體42送入層疊體6的送入作業(yè)以及剝離后的加強(qiáng)板3A、3B和面板102的送出作業(yè)利用圖11的(A)等所示的具有吸盤104的輸送裝置106進(jìn)行。另外，為了避免附圖的復(fù)雜化，在圖11?圖15中，省略了可動裝置86的圖示。另外，面板102是指隔著功能層7粘貼有除去加強(qiáng)板3A、3B的基板2A和基板2B而成的廣品面板。
[0136]以下按順序說明剝離方法。
[0137]如圖11的(A)所示，剝離開始前的撓性板46、48的姿勢由可動裝置86定位為水平方向，并且撓性板48退避至撓性板46的上方。在該初始狀態(tài)下，利用輸送裝置106將層疊體6輸送至撓性板46的上方，在利用撓性板46的多孔片52吸附并保持層疊體6的加強(qiáng)板3B之后，使撓性板48下降移動，從而如圖11的⑶所示，利用撓性板48的多孔片76吸附并保持層疊體6的加強(qiáng)板3A。由此，使層疊體6配置于液槽68內(nèi)。
[0138]接著，如圖11的(C)所示，使剝離組合體42相對于水平方向以Θ角度傾斜(傾斜工序)。如上所述，剝離組合體42的傾斜姿勢為供給孔62 (圖7的(A))位于液槽68的最下部、且貫通孔84(圖8的(A))位于液槽68的最上部的姿勢。由此，在液槽68內(nèi)，層疊體6的位置為，圖6的角部6A位于最高的位置且角部6B位于最低的位置。
[0139]另外，為了使液體100在重力的作用下朝向在剝離時產(chǎn)生的剝離前線移動，剝離組合體42的傾斜角度Θ根據(jù)使撓性板46、48撓曲時的撓性板46、48的曲率半徑等來決定。在實施方式中，撓性板46、48的曲率半徑設(shè)定為1000mm，剝離組合體42的傾斜角度Θ設(shè)定為I度?4度(優(yōu)選為2度)。
[0140]接著，如圖11的⑶所示，如箭頭所示，利用送液栗66(參照圖5)自供給孔62向液槽68供給液體100。由此，層疊體6的全部的側(cè)面利用液體100充滿(液體供給工序)。
[0141]接著，如圖12的(A)?圖12的⑶所示，使撓性板46向下方撓性變形從而開始剝離加強(qiáng)板3B。撓性板46的撓曲方向在圖6中為自撓性板46的角部46A朝向角部46B的箭頭A方向。由此，加強(qiáng)板3B —邊自角部6A朝向角部6B撓性變形一邊被剝離。
[0142]此時，層疊體6的加強(qiáng)板3B以界面24的剝離開始部26 (參照圖4)為起點進(jìn)行剝離。S卩，在圖10所示的下側(cè)的撓性板46的多個可動體44中，使自位于撓性板46的角部46A側(cè)的位置的可動體44至位于角部46B側(cè)的位置的可動體44依次下降移動。由此，加強(qiáng)板3B向下方撓性變形，因此，在界面24內(nèi)，自角部6A朝向角部6B進(jìn)行剝離(剝離工序)。然后，如圖12的(E)所示，將加強(qiáng)板3B完全剝離。
[0143]另外，在加強(qiáng)板3B的剝離中，自框體54溢出的液體100被框體70阻擋，從而自排水孔72向剝離組合體42的外部排出。由此，剝離裝置40的使用環(huán)境不會被液體100污染，另外，若回收自排水孔72排出的液體100，則還能夠?qū)⒁后w100再利用。
[0144]在圖12的(A)?圖12的⑶所示的剝離工序中，傾斜著的層疊體6的側(cè)面利用液體100充滿，因此，在自該狀態(tài)開始剝離時，液體100立即流入界面24中因剝離而依次呈現(xiàn)的剝離面(剝離前線)，該液體100 —邊在重力的作用下在剝離面上向下方移動，一邊立即濕潤剝離面。與液體100在重力的作用下流入的同時，隨著剝離的進(jìn)行產(chǎn)生新的空間。該空間由基板和液體100包圍，由于液體100在大氣壓力下被按壓，因此，剝離面立即被液體100濕潤。在自該狀態(tài)開始剝離時，液體100的位于層疊體6的周圍的液體的液面高于剝離面，因此，液體100在重力的作用下立即流入在界面24中因剝離而依次呈現(xiàn)的剝離面(剝離前線)，立即將剝離面濕潤。
[0145]即，剝離裝置40使層疊體6傾斜從而利用液體充滿了層疊體6的側(cè)面，因此，能夠依賴于液體100的重力自層疊體的側(cè)面的外部(自層疊體的外部)向剝離前線連續(xù)供給液體100并使該液體100遍及剝離前線。
[0146]作為向剝離前線連續(xù)供給液體100并使液體100遍及剝離前線的方案，存在有如下方法:在剝離工序中仍驅(qū)動送液栗66而利用液體充分充滿層疊體的側(cè)面的方法；以及僅在圖11的(D)所示的階段驅(qū)動送液栗66而供給液體，在剝離工序中停止驅(qū)動送液栗66，使連續(xù)供給至剝離前線的液體為充滿了層疊體的側(cè)面的液體100的方法。
[0147]前者的方法適用于如下情況:相對于剝離面的大小(寬窄)，對于在圖11的(D)所示的階段中充滿層疊體的側(cè)面的液體的量，難以自層疊體的外部向剝離前線連續(xù)供給液體。
[0148]后者的情況適用于如下情況:相對于剝離面的大小(寬窄)，對于在圖11的⑶所示的階段中充滿層疊體的側(cè)面的液體的量，能夠自層疊體的外部連續(xù)向剝離前線充分供給液體。
[0149]在圖12的(E)所示的加強(qiáng)板3B的剝離狀態(tài)中，剝離后的加強(qiáng)板3B被撓性板46的多孔片52真空吸附并保持，除加強(qiáng)板3B以外的層疊體6 (包括加強(qiáng)板3A和面板102的層疊體)被撓性板48的多孔片76真空吸附并保持。另外，撓性板46的撓性變形被解除。
[0150]接著，如圖13的(A)所示，在將撓性板46、48的姿勢改變?yōu)樗椒较蛑螅鐖D13的(B)所示，使撓性板48相對于撓性板46向上方退避。
[0151]接著，在解除了加強(qiáng)板3B的吸附保持之后，利用輸送裝置106的吸盤104吸附加強(qiáng)板3B，利用輸送裝置106將加強(qiáng)板3B自剝離組合體42取出(圖13的(C))。
[0152]然后，開始剝離加強(qiáng)板3A。
[0153]首先，使撓性板48朝向撓性板46下降移動，如圖13的⑶所示，將基板2B吸附并保持于撓性板46的多孔片52。
[0154]接著，如圖14的(A)所示，在使剝離組合體42同樣地以傾斜角度Θ傾斜之后，向液槽68填充液體100。
[0155]接著，如圖14的⑶?圖14的(C)所示，使撓性板48向上方撓性變形，從而開始剝離加強(qiáng)板3A。撓性板48的撓曲方向在圖6中為自撓性板48的角部48A朝向角部48B的箭頭A方向。由此，加強(qiáng)板3A —邊自角部6A朝向角部6B撓性變形一邊被剝離。
[0156]此時，層疊體6的加強(qiáng)板3A以界面28的剝離開始部30 (參照圖4)為起點進(jìn)行剝離。S卩，在圖10所示的撓性板48的多個可動體44中，使自位于撓性板46的角部46A側(cè)的位置的可動體44至位于角部46B側(cè)的位置的可動體44依次上升移動。由此，加強(qiáng)板3A向上方撓性變形，因此，在界面28內(nèi)，自角部6A朝向角部6B進(jìn)行剝離(剝離工序)。然后，如圖14的⑶所示，將加強(qiáng)板3A完全剝離。
[0157]在圖14的⑶?圖14的(C)所示的剝離工序中，傾斜著的層疊體6的側(cè)面利用液體100充滿，因此，在自該狀態(tài)開始剝離時，液體100的位于層疊體6的周圍的液體的液面高于剝離面，因此，液體100立即流入在界面28中因剝離而依次呈現(xiàn)的剝離面(剝離前線)，該液體100 —邊在重力的作用下在剝離面上向下方移動，一邊立即濕潤剝離面。在自該狀態(tài)開始剝離時，液體100的位于層疊體6的周圍的液體的液面高于剝離面，因此，液體100在重力的作用下立即流入在界面28中因剝離而依次呈現(xiàn)的剝離面(剝離前線)，并立即濕潤剝離面。即，剝離裝置40使層疊體6傾斜從而利