技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和太陽能硅材料技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種批量化制備高純亞微米水合硅和硅微粒的方法，采用微細(xì)金剛石線，在去離子水輔助下，對高純硅棒或硅錠進(jìn)行研磨切割，當(dāng)硅微粒濃度達(dá)到10wt%后，將混合物進(jìn)行提純分離，形成壓濾水和水合硅微粒；對壓濾水進(jìn)行純化后，進(jìn)行循環(huán)使用，對水合硅微粒進(jìn)行真空冷凍干燥，形成高純硅微粒。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，采用微細(xì)金剛石線切割工藝，在去離子水作用下對高純硅棒進(jìn)行研磨切割制備高純硅片，同時(shí)，將切割后的去離子水和硅微粒的混合物進(jìn)行提純，以制備高純水合硅微?；蚋呒児栉⒘?，并加以資源化利用。經(jīng)硅微粒提純后的水溶液再凈化后可注入微細(xì)金剛石線切割工藝工程中進(jìn)行循環(huán)使用。

技術(shù)研發(fā)人員：孫卓;劉素霞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海納晶科技有限公司
文檔號碼：201610372956
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.31
技術(shù)公布日：2017.11.10