速機48、61配置在大氣中。在馬達46卷繞有用以冷卻馬達46的冷卻用管70?？蓪υ摾鋮s用管70供給壓縮空氣，利用通過冷卻用管70的內(nèi)部的壓縮空氣冷卻馬達46。另夕卜，在本方式中，馬達47的發(fā)熱量與馬達46的發(fā)熱量相比較小，因此在馬達47未卷繞冷卻用管。
[0067]在關(guān)節(jié)部26配置有用以確保內(nèi)部空間45的密閉狀態(tài)的磁性流體密封71，在關(guān)節(jié)部27配置有用以確保內(nèi)部空間66的密閉狀態(tài)的磁性流體密封72。即，在關(guān)節(jié)部26配置有防止空氣從內(nèi)部空間45向真空區(qū)域VR流出的磁性流體密封71，在關(guān)節(jié)部27配置有防止空氣從內(nèi)部空間66向真空區(qū)域VR流出的磁性流體密封72。磁性流體密封71配置在中空旋轉(zhuǎn)軸51的外周面與保持部件55的內(nèi)周面之間，磁性流體密封72配置在中空旋轉(zhuǎn)軸62的外周面與保持部件65的內(nèi)周面之間。另外，在內(nèi)部空間66配置有用以調(diào)整傳動帶64的張力的張力帶輪73。
[0068](第一臂部和第二臂部的結(jié)構(gòu))
[0069]圖6是圖5所示的第二臂部24的臂部主體80的圖，圖6 (A)是俯視圖，圖6 (B)是圖6(A)的E-E截面的剖視圖。圖7是圖6(A)的F部的放大圖。圖8是圖6(B)的G部的放大圖。
[0070]第二臂部24包括臂部主體80和多個蓋部件81。臂部主體80由上表面部80a、下表面部80b以及側(cè)面部80c構(gòu)成，其中，上表面部80a構(gòu)成臂部主體80的上表面，下表面部80b構(gòu)成臂部主體80的下表面，并且與上表面部80a隔著預(yù)定的間隙而大致平行地對置，側(cè)面部80c連接上表面部80a的外周端與下表面部80b的外周端。上表面部80a與下表面部80b形成為細長的大致長圓形的平板狀，且在上下方向上對置。側(cè)面部80c形成為從上下方向觀察時的形狀為細長的大致長圓形的筒狀。由上表面部80a、下表面部80b以及側(cè)面部80c包圍的空間成為內(nèi)部空間66。本方式的上表面部80a為第一平面部，下表面部80b為第二平面部。在以下的說明中，將上表面部80a和下表面部80b的第二臂部24的基端側(cè)作為“基端側(cè)”，將上表面部80a和下表面部80b的第二臂部24的前端側(cè)作為“前端側(cè)”。
[0071]在上表面部80a的前端側(cè)形成有中空旋轉(zhuǎn)軸62和保持部件65插通的插通孔80d。在上表面部80a的基端側(cè)形成有用以組裝關(guān)節(jié)部26的作業(yè)用孔80e。插通孔SOd和作業(yè)用孔80e形成為貫通上表面部80a的圓孔狀。在上表面部80a的插通孔80d與作業(yè)用孔80e之間，形成有與內(nèi)部空間66連通的多個貫通孔80f。在本方式中，四個貫通孔80f以固定的間距形成于上表面部80a。貫通孔80f形成為圓孔狀。S卩，貫通孔SOf形成為圓形。并且，在本方式中，作業(yè)用孔SOe的內(nèi)徑與貫通孔SOf的內(nèi)徑相等。
[0072]在上表面部80a的上表面，以向下側(cè)凹陷的方式形成有圓環(huán)狀的槽部80g。在本方式中，形成有五個槽部80g。五個槽部80g中的四個槽部80g分別以包圍四個貫通孔80f各者的方式形成，剩余的一個槽部SOg以包圍作業(yè)用孔SOe的方式形成。
[0073]在下表面部80b的基端側(cè)形成有中空旋轉(zhuǎn)軸50插通的插通孔80k。在下表面部80b的前端側(cè)形成有用以組裝關(guān)節(jié)部27的作業(yè)用孔80m。插通孔80k和作業(yè)用孔80m形成為貫通下表面部80b的圓孔狀。插通孔80k形成于在上表面部80a形成的作業(yè)用孔80e的下側(cè)，作業(yè)用孔80m形成于在上表面部80a形成的插通孔SOd的下側(cè)。
[0074]在下表面部80b的上表面(即，與上表面部80a對置的面)形成有向下側(cè)凹陷的多個凹部80η。凹部80η以不貫通下表面部80b的方式形成。在本方式中，四個凹部80η以固定的間距形成。凹部80η形成為圓形。具體而言，凹部80η形成為內(nèi)徑與貫通孔80f的內(nèi)徑相等的圓形。四個凹部80η以與四個貫通孔SOf的間距相同的間距形成。并且，凹部80η以在從上下方向觀察時與貫通孔SOf重疊的方式形成，且從上下方向上觀察時，貫通孔80f的內(nèi)周面與凹部80η的內(nèi)周面大致一致。另外，在配置于最靠基端側(cè)的位置的凹部80η形成有用以安裝張力帶輪73的安裝座80ρ。
[0075]臂部主體80由鋁合金形成。該臂部主體80是通過對鋁合金的塊體進行切削加工而形成的，且上表面部80a、下表面部80b以及側(cè)面部80c成為一體。S卩，內(nèi)部空間66是通過使用從貫通孔80f、插通孔80d、80k以及作業(yè)用孔80e、80m插入的切削工具的切削加工而形成的，通過切削加工形成內(nèi)部空間66，從而也形成上表面部80a、下表面部80b以及側(cè)面部 80c。
[0076]蓋部件81形成為外徑比貫通孔80f的內(nèi)徑大的圓板狀。蓋部件81的外徑大于形成為圓環(huán)狀的槽部SOg的外徑。蓋部件81以蓋住貫通孔SOf的方式固定于上表面部80a的上表面。在上表面部80a與蓋部件81之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間66流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入以包圍貫通孔SOf的方式形成的槽部80g。
[0077]作業(yè)用孔SOe通過形成為與蓋部件81相同形狀的蓋部件82而覆蓋。S卩，蓋部件82以蓋住作業(yè)用孔SOe的方式固定于上表面部80a的上表面。在上表面部80a與蓋部件82之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間66流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入以包圍作業(yè)用孔SOe的方式而形成的槽部80g。在下表面部80b的下表面，以蓋住作業(yè)用孔80m的方式固定有圓板狀的蓋部件83。在下表面部80b與蓋部件83之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間66流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入形成于蓋部件83外周側(cè)的圓環(huán)狀的槽部。
[0078]第一臂部23與第二臂部24同樣地包括臂部主體85與多個蓋部件86。如圖4所示，臂部主體85由上表面部85a、下表面部85b以及側(cè)面部85c構(gòu)成，其中，上表面部85a構(gòu)成臂部主體85的上表面，下表面部85b構(gòu)成臂部主體85的下表面，并且與上表面部85a隔著預(yù)定的間隙大致平行地對置，側(cè)面部85c連接上表面部85a的外周端與下表面部85b的外周端。上表面部85a以及下表面部85b形成為細長的大致長圓形的平板狀。側(cè)面部85c形成為從上下方向觀察時的形狀為細長的大致長圓形的筒狀。由上表面部85a、下表面部85b以及側(cè)面部85c包圍的空間成為內(nèi)部空間45。本方式的上表面部85a為第一平面部，下表面部85b為第二平面部。在以下的說明中，將上表面部85a以及下表面部85b的第一臂部23的基端側(cè)作為“基端側(cè)”，將上表面部85a以及下表面部85b的第一臂部23的前端側(cè)作為“前端側(cè)”。
[0079]在上表面部85a的前端側(cè)形成有中空旋轉(zhuǎn)軸50、51和保持部件55插通的插通孔85d0并且，在上表面部85a的前端側(cè)形成有用以安裝馬達46、47的作業(yè)用孔85e，在上表面部85a的基端側(cè)形成有用以組裝關(guān)節(jié)部25的作業(yè)用孔85f。插通孔85d和作業(yè)用孔85e、85f形成為貫通上表面部85a的圓孔狀。
[0080]在上表面部85a的作業(yè)用孔85e與作業(yè)用孔85f之間形成有連通于內(nèi)部空間45的多個貫通孔85g。在本方式中，兩個貫通孔85g以預(yù)定的間距形成于上表面部85a。貫通孔85g形成為圓孔狀。S卩，貫通孔85g形成為圓形。并且，在本方式中，作業(yè)用孔85e、85f的內(nèi)徑與貫通孔85g的內(nèi)徑相等。在上表面部85a的上表面，以向下側(cè)凹陷的方式形成有圓環(huán)狀的槽部。在本方式中，形成有五個槽部。五個槽部分別以包圍插通孔85d、作業(yè)用孔85e、85f以及兩個貫通孔85g各者的方式形成。
[0081]在下表面部85b的前端側(cè)形成有用以組裝關(guān)節(jié)部26或者安裝馬達46、47的作業(yè)用孔85m。作業(yè)用孔85m形成為貫通下表面部85b的圓孔狀。并且，作業(yè)用孔85m形成于在上表面部85a形成的插通孔85d和作業(yè)用孔85e的下側(cè)。
[0082]在下表面部85b的上表面(即，與上表面部85a對置的面)形成有向下側(cè)凹陷的多個凹部85η。凹部85η以不貫通下表面部85b的方式形成。在本方式中，兩個凹部85η以預(yù)定間距形成。凹部85η形成為圓形。具體而言，凹部85η形成為內(nèi)徑與貫通孔85g的內(nèi)徑相等的圓形。兩個凹部85η以與兩個貫通孔85g的間距相同的間距而形成。并且，凹部85η以在從上下方向觀察時與貫通孔85g重疊的方式形成，且在從上下方向觀察時，貫通孔85g的內(nèi)周面與凹部85η的內(nèi)周面大致一致。
[0083]臂部主體85與臂部主體80同樣是通過對鋁合金的塊體進行切削加工而形成的，且上表面部85a、下表面部85b以及側(cè)面部85c成為一體。S卩，內(nèi)部空間45是通過使用從貫通孔85g、插通孔85d以及作業(yè)用孔85e、85f、85m插入的切削工具的切削加工而形成的，通過切削加工形成內(nèi)部空間45，從而也形成上表面部85a、下表面部85b以及側(cè)面部85c。
[0084]蓋部件86形成為外徑比貫通孔85g的內(nèi)徑大的圓板狀。蓋部件86的外徑大于形成于上表面部85a的上表面的圓環(huán)狀的槽部的外徑。蓋部件86以蓋住貫通孔85g的方式固定于上表面部85a的上表面。在上表面部85a與蓋部件86之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間45流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入以包圍貫通孔85g的方式形成的槽部。
[0085]并且，在上表面部85a的上表面，以蓋住作業(yè)用孔85f的方式固定有形成為與蓋部件86相同形狀的蓋部件87。在上表面部85a與蓋部件87之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間45流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入以包圍作業(yè)用孔85f的方式形成的槽部。并且，在上表面部85a的上表面，以蓋住作業(yè)用孔85e的方式固定有形成為大致有底圓筒狀的蓋部件88。在上表面部85a與蓋部件88之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間45流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入以包圍作業(yè)用孔85e的方式形成的槽部。
[0086]在下表面部85b的下表面，以蓋住作業(yè)用孔85m的方式固定有圓板狀的蓋部件89。在下表面部85b與蓋部件89之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間45流出的環(huán)狀的密封部件(省略圖示)。該密封部件嵌入形成于蓋部件89外周側(cè)的圓環(huán)狀的槽部。
[0087](制造系統(tǒng)的構(gòu)成)
[0088]如上所述，制造系統(tǒng)3包括以包圍腔室4的方式配置的多個腔室5?10。在本方式的制造系統(tǒng)3中，以包圍腔室4的方式配置有六個腔室5?10。以下，在圖1中，將相互正交的三個方向分別作為X方向、Y方向以及Z方向。機器人I以其上下方向與Z方向一致的方式而配置。因此，以下將Z方向作為上下方向。并且，以下將Xl方向側(cè)作為“右”側(cè)，將X2方向側(cè)作為“左”側(cè)，將Yl方向側(cè)作為“前”側(cè)，將Y2方向側(cè)作為“后(后面)”側(cè)。
[0089]腔室4是以從上下方向觀察時的形狀為大致八邊形的方式形成的。腔室5是以連接于腔室4的左端的方式配置的，腔室6是以連接于腔室4的右端的方式配置的。并且，腔室7和腔室8是以連接于腔室4的后端的方式配置的。腔室7與腔室8在左右方向上相鄰。在本方式中，腔室7配置于左側(cè)，腔室8配置于右側(cè)。另外，腔室9和腔室10是以連接于腔室4的前端的方式配置的。腔室9與腔室10在左右方向上相鄰。在本方式中，腔室9配置于左側(cè)，腔室10配置于右側(cè)。
[0090]腔室5、6配置成:在從上下方向觀察時，通過第一臂部23相對于主體部15的轉(zhuǎn)動中心Cl的與左右方向平行的假想線通過腔室5、6的前后方向的中心位置。腔室7、8配置成:通過轉(zhuǎn)動中心Cl的與前后方向平行的假想線通過腔室7、8間的左右方向的中心位置。SP，腔室7、8的左右方向的中心位置相對于轉(zhuǎn)動中心Cl偏移。同樣地，腔室9、10配置成:通過轉(zhuǎn)動中心Cl的與前后方向平行的假想線通過腔室9、10間的左右方向的中心位置。即，左右方向的腔室9、10的中心位置相對于轉(zhuǎn)動中心Cl偏移。并且，在左右方向上，腔室7與腔室9配置在