66為大氣壓。另外，在該情形時(shí)，在手部13的基部20僅安裝向水平方向的一側(cè)突出的兩個(gè)叉部21。并且，在圖11中，對于與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或者與上述方式的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號。
[0116](工業(yè)用機(jī)器人的變形例二)
[0117]圖12是本發(fā)明(第二發(fā)明)的其它實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的俯視圖。
[0118]在上述的方式中，機(jī)器人I包括一個(gè)臂14。除此以外，例如，如圖12所示，機(jī)器人I也可包括基端側(cè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于主體部15的兩個(gè)臂14。即便在該情形時(shí)，也與上述方式同樣地，通過減速機(jī)48構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分，通過減速機(jī)61構(gòu)成關(guān)節(jié)部27的一部分。并且，在第一臂部23的前端側(cè)，在第一臂部23的內(nèi)部空間45配置有馬達(dá)46、47和減速機(jī)48，在第二臂部24的前端側(cè)分別在第二臂部24的內(nèi)部空間66配置有減速機(jī)61。并且，內(nèi)部空間45、66為大氣壓。另外，在該情形時(shí)，在手部13的基部20僅安裝向水平方向的一側(cè)突出的兩個(gè)叉部21。并且，在圖12中，對于與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或者與上述方式的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號。
[0119](其它實(shí)施方式)
[0120]上述方式是本發(fā)明的優(yōu)選方式的一個(gè)例子，但并不限定于此，可在不變更本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)實(shí)施各種變形。
[0121]在上述方式中，臂14是由一個(gè)第一臂部23與一個(gè)第二臂部24構(gòu)成的。除此以外，例如，如圖11所示，臂14也可由一個(gè)第一臂部23和兩個(gè)第二臂部24構(gòu)成。在該情形時(shí)，第一臂部23形成為大致V形或者直線狀，且其中心部成為可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于主體部15的基端部。并且，如圖11所示，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接有第二臂部24，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別形成有關(guān)節(jié)部26。并且，在該情形時(shí)，例如，在手部13的基部20僅安裝向水平方向的一側(cè)突出的兩個(gè)叉部21。另外，在圖11中，對于與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或者與上述方式的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號。
[0122]并且，在上述方式中，機(jī)器人I包括一個(gè)臂14，但如圖12所示，機(jī)器人I也可包括基端側(cè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于主體部15的兩個(gè)臂14。在該情形時(shí)，例如，在手部13的基部20僅安裝向水平方向的一側(cè)突出的兩個(gè)叉部21。另外，在圖12中，對于與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或者與上述方式的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號。
[0123]在上述方式中，凹部80η是以從上下方向觀察時(shí)與貫通孔80f重疊的方式形成的，在從上下方向觀察時(shí)，貫通孔80f的內(nèi)周面與凹部80η的內(nèi)周面大致一致。除此以外，例如也可為如下結(jié)構(gòu):凹部80η以從上下方向觀察時(shí)凹部80η的一部分與貫通孔SOf重疊的方式形成，在從上下方向觀察時(shí)，貫通孔SOf的內(nèi)周面與凹部80η的內(nèi)周面錯(cuò)開。同樣地，在上述方式中，凹部85η是以從上下方向觀察時(shí)與貫通孔85g重疊的方式形成的，在從上下方向觀察時(shí)，貫通孔85g的內(nèi)周面與凹部85η的內(nèi)周面大致一致，但也可為如下結(jié)構(gòu):凹部85η以從上下方向觀察時(shí)凹部85η的一部分與貫通孔85g重疊的方式而形成，在從上下方向觀察時(shí)，貫通孔85g的內(nèi)周面與凹部85η的內(nèi)周面錯(cuò)開。
[0124]在上述方式中，凹部80η的內(nèi)徑與貫通孔80f的內(nèi)徑相等。除此以外，例如，凹部80η的內(nèi)徑也可大于貫通孔80f的內(nèi)徑，還可小于貫通孔80f的內(nèi)徑。同樣地，凹部85η的內(nèi)徑與貫通孔85g的內(nèi)徑相等，但凹部85η的內(nèi)徑也可大于貫通孔85g的內(nèi)徑，還可小于貫通孔85g的內(nèi)徑。并且，在上述方式中，貫通孔80f、85g形成為圓形，但貫通孔80f、85g也可形成為多邊形，還可形成為橢圓形或者長圓形。并且，在上述方式中，凹部80n、85n形成為圓形，但凹部80n、85n也可形成為多邊形，還可形成為橢圓形或者長圓形。
[0125]在上述方式中，凹部80n、85n以不貫通下表面部80b、85b的方式形成。除此以外，例如，凹部80n、85n也可以貫通下表面部80b、85b的方式形成。在該情形時(shí)，在下表面部80b,85b的下表面固定有蓋住凹部80n、85n的蓋部件。并且，在該蓋部件與下表面部80b、85b之間配置有防止空氣從內(nèi)部空間45、66流出的密封部件。
[0126]在上述方式中，第一臂部23的內(nèi)部空間45和第二臂部24的內(nèi)部空間66為大氣壓。除此以外，例如，內(nèi)部空間45或者內(nèi)部空間66也可為真空。并且，在上述方式中，臂14是由第一臂部23和第二臂部24這兩個(gè)臂部構(gòu)成，但臂14也可由一個(gè)臂部構(gòu)成，還可由三個(gè)以上的臂部構(gòu)成。在臂14由三個(gè)以上的臂部構(gòu)成時(shí)，既可是所有臂部的內(nèi)部空間為大氣壓，也可存在內(nèi)部空間成為真空的臂部。
[0127]在上述方式中，機(jī)器人I包括用以使第二臂部24相對于第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)46以及用以使手部13相對于第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)47。除此以外，例如也可通過一個(gè)馬達(dá)，以使第二臂部24相對于第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)且使手部13相對于第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)的方式，構(gòu)成動(dòng)力從馬達(dá)向臂14的傳遞機(jī)構(gòu)。
[0128]在上述方式中，在第一臂部23的前端側(cè)的內(nèi)部空間45配置有減速機(jī)48。除此以夕卜，例如，也可在第二臂部24的基端側(cè)的內(nèi)部空間66配置有減速機(jī)48。并且，在上述方式中，馬達(dá)47配置于第一臂部23的內(nèi)部空間45，但馬達(dá)47也可配置于第二臂部24的內(nèi)部空間66。并且，在上述方式中，馬達(dá)46配置于第一臂部23的內(nèi)部空間45，但馬達(dá)46也可配置于第二臂部24的內(nèi)部空間66。并且，在上述方式中，減速機(jī)61配置于第二臂部24的內(nèi)部空間66，但減速機(jī)61也可配置于第一臂部23的內(nèi)部空間45。在該情形時(shí)，在關(guān)節(jié)部26中，減速機(jī)48與減速機(jī)61以在軸線方向上重疊的方式配置。
[0129]在上述方式中，機(jī)器人I包括用以使第二臂部24相對于第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)46以及用以使手部13相對于第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)47。除此以外，例如，也可通過一個(gè)馬達(dá)，以使第二臂部24相對于第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)且使手部13相對于第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)的方式，構(gòu)成動(dòng)力從馬達(dá)向臂14的傳遞機(jī)構(gòu)。
[0130]在上述方式中，臂14是由第一臂部23和第二臂部24這兩個(gè)臂部構(gòu)成的。除此以夕卜，例如，臂14也可由三個(gè)以上的臂部構(gòu)成。在該情形時(shí)，三個(gè)以上的臂部分別形成為中空狀，并且三個(gè)以上的臂部各者的內(nèi)部空間為大氣壓。
[0131]在上述方式中，也可在內(nèi)部空間45、66配置有氣冷式或者水冷式的冷卻機(jī)構(gòu)。例如，具有冷卻用壓縮空氣的噴出口的冷卻用管也可配置在內(nèi)部空間45、66。在該情形時(shí)，例如，在減速機(jī)48、61等的軸承或者磁性流體密封71、72的配置部位以供給壓縮空氣的方式配置有冷卻用管。并且，在該情形時(shí)，例如，配置于內(nèi)部空間45、66的冷卻用管與配置于殼體17的內(nèi)部或者殼體17的外部的大氣中的壓縮空氣的供給源連接。并且，該冷卻管與壓縮空氣的供給源通過沿形成于第一臂部23的基端側(cè)的下表面的貫通孔和中空旋轉(zhuǎn)軸32的內(nèi)周側(cè)布置的配管而連接。另外，在該情形時(shí)，例如，在殼體17的內(nèi)部配置有電磁閥，通過將該電磁閥打開關(guān)閉，而從冷卻用管的噴出口供給壓縮空氣，或者調(diào)整從冷卻用管的噴出口供給的壓縮空氣的量。另外，在該情形時(shí)，例如，檢測內(nèi)部空間45、66的溫度的溫度傳感器等檢測器件配置在內(nèi)部空間45、66的適當(dāng)位置，基于該檢測器件的檢測結(jié)果而將電磁閥打開關(guān)閉。并且，在該情形時(shí)，例如供給至內(nèi)部空間45、66的壓縮空氣循環(huán)過整個(gè)內(nèi)部空間45,66之后向主體部15側(cè)排出。在該情形時(shí)，可從臂14的內(nèi)部有效地冷卻整個(gè)臂14，從而有效地抑制臂14整體的溫度上升。
[0132]在上述方式中，通過機(jī)器人I搬送的搬送對象物是有機(jī)EL顯示器用的基板2，但通過機(jī)器人I搬送的搬送對象物也可為液晶顯示器用的玻璃基板，還可為半導(dǎo)體晶圓等。并且，在上述方式中，機(jī)器人I是用以對搬送對象物進(jìn)行搬送的機(jī)器人，但機(jī)器人I也可為焊接機(jī)器人等在其它用途中使用的機(jī)器人。
[0133]符號說明
[0134]I機(jī)器人(工業(yè)用機(jī)器人)
[0135]13 手部
[0136]14 臂
[0137]15主體部
[0138]23第一臂部(臂部)
[0139]24第二臂部(臂部)
[0140]26關(guān)節(jié)部(第一關(guān)節(jié)部)
[0141]27關(guān)節(jié)部(第二關(guān)節(jié)部)
[0142]45、66內(nèi)部空間
[0143]46馬達(dá)(第一馬達(dá))
[0144]47馬達(dá)(第二馬達(dá))
[0145]48減速機(jī)(第一減速機(jī))
[0146]80a、85a上表面部(第一平面部)
[0147]80b、85b下表面部(第二平面部)
[0148]80c、85c 側(cè)面部
[0149]80f、85 貫通孔
[0150]80n、85n 凹部
[0151]81、86 蓋部件
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人包括:主體部；臂，其基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述主體部；以及手部，其能轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述臂的前端側(cè)， 所述手部和所述臂配置在真空中， 所述臂整體形成為中空狀， 所述臂的內(nèi)部空間為大氣壓。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述臂由相互能相對轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的多個(gè)臂部構(gòu)成， 多個(gè)所述臂部分別形成為中空狀。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述臂由作為所述臂部的第一臂部以及作為所述臂部的第二臂部構(gòu)成，所述第一臂部的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述主體部，所述第二臂部的基端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述第一臂部的前端側(cè)且在所述第二臂部的前端側(cè)能轉(zhuǎn)動(dòng)地連接有所述手部。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人包括:第一馬達(dá)，其用以使所述第二臂部相對于所述第一臂部轉(zhuǎn)動(dòng)；第二馬達(dá)，其用以使所述手部相對于所述第二臂部轉(zhuǎn)動(dòng)；第一減速機(jī)，其將所述第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至所述第二臂部；以及第二減速機(jī)，其將所述第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至所述手部， 所述第一減速機(jī)構(gòu)成連接所述第一臂部與所述第二臂部的第一關(guān)節(jié)部的至少一部分，并且配置在所述第一臂部的內(nèi)部， 所述第二減速機(jī)構(gòu)成連接所述第二臂部與所述手部的第二關(guān)節(jié)部的至少一部分，并且配置在所述第二臂部的內(nèi)部。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述第一馬達(dá)和所述第二馬達(dá)配置在所述第一臂部的內(nèi)部。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的工業(yè)用機(jī)器人，其特征在于， 所述工業(yè)用機(jī)器人包括配置于所述內(nèi)部空間的冷卻機(jī)構(gòu)。
【專利摘要】一種工業(yè)用機(jī)器人，即便大型化也可減少安裝用以確保臂內(nèi)部空間的氣密性的密封部件時(shí)的作業(yè)錯(cuò)誤。在該工業(yè)用機(jī)器人中，臂(14)形成為具有由上表面部(85a)、下表面部(85b)以及側(cè)面部(85c)包圍的內(nèi)部空間(45)的中空狀且配置在真空中，并且內(nèi)部空間(45)為大氣壓。在上表面部(85a)形成有連通至內(nèi)部空間(45)的多個(gè)貫通孔(85g)，貫通孔(85g)被蓋部件(86)蓋住，在上表面部(85a)與蓋部件(86)之間配置有密封部件。在下表面部(85b)的與上表面部(85a)對置的面，形成有從上表面部(85a)與下表面部(85b)對置的方向觀察時(shí)至少一部分與貫通孔(85g)重疊的多個(gè)凹部(85n)。
【IPC分類】B25J19/00, B25J9/00, H01L21/677
【公開號】CN105127985
【申請?zhí)枴緾N201510662028
【發(fā)明人】矢澤隆之, 增澤佳久
【申請人】日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2013年10月15日
【公告號】CN104271321A, WO2014106914A1