1.一種測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,包括如下步驟:
步驟S1、提供一待測LTPS顯示面板,所述待測LTPS顯示面板包括:基板(1)、設(shè)于所述基板(1)上的緩沖層(2)、設(shè)于所述緩沖層(2)上的有源層(3)、設(shè)于所述有源層(3)和緩沖層(2)上的柵極絕緣層(4)、設(shè)于所述柵極絕緣層(4)上的第一金屬層(5)、設(shè)于所述第一金屬層(5)以及柵極絕緣層(4)上的層間絕緣層(6)、設(shè)于所述層間絕緣層(6)上的第二金屬層(7)、設(shè)于所述第二金屬層(7)以及層間絕緣層(6)上的有機平坦層(8);
所述第一金屬層(5)包括對應(yīng)所述有源層(3)設(shè)置的柵極(51)、以及與所述柵極(51)電性連接的柵極線(52);
所述第二金屬層(7)包括分別與所述有源層(3)的兩端接觸的源極(71)和漏極(72)、以及與所述柵極線(52)電性連接的柵極驅(qū)動電路連接線(73);
所述第二金屬層(7)的材料為兩層第一金屬材料(74)夾一層第二金屬材料(75),所述第二金屬材料(75)為鋁;
步驟S2、提供一化學(xué)試劑,所述化學(xué)試劑在預(yù)設(shè)的反應(yīng)條件下能夠使有機平坦層(8)和鋁分別發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并且不會使第一金屬材料(74)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),用所述化學(xué)試劑在預(yù)設(shè)反應(yīng)條件下使得所述有機平坦層(8)以及鋁分別化學(xué)反應(yīng),剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74),保留所述第二金屬層(7)中位于遠(yuǎn)離所述有機平坦層(8)一側(cè)的第一金屬材料(74);
步驟S3、提供三根測試扎針(9),用所述三根測試扎針(9)分別接觸所述剩余的第二金屬層(7)中的源極(71)、漏極(72)、以及所述柵極驅(qū)動電路連接線(73),得出該待測LTPS顯示面板的TFT電性曲線。
2.如權(quán)利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述第一金屬材料(74)為鈦。
3.如權(quán)利要求2所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述步驟S2中提供的化學(xué)試劑為質(zhì)量百分濃度在65%-98%的發(fā)煙硝酸,所述預(yù)設(shè)的反應(yīng)條件為將待測LTPS顯示面板加熱至100℃-200℃后向待測LTPS顯示面板的待測區(qū)域滴加發(fā)煙硝酸。
4.如權(quán)利要求3所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述步驟S2中剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74)的具體方法為在待測LTPS顯示面板的表面堆積發(fā)黃絮狀物后停止滴加發(fā)煙硝酸,并靜置冷卻,隨后使用超聲清洗機清洗待測LTPS顯示面板10-30分鐘,清洗溫度為50℃-80℃,然后將待測LTPS顯示面板吹干。
5.如權(quán)利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述第一金屬材料(74)為鉬。
6.如權(quán)利要求5所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述步驟S2中提供的化學(xué)試劑為摩爾濃度大于或等于1mol/L的氫氧化鉀溶液,所述預(yù)設(shè)的反應(yīng)條件為將待測LTPS顯示面板放置于氫氧化鉀溶液中加熱至70℃-100℃,持續(xù)加熱10-30分鐘。
7.如權(quán)利要求6所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述步驟S2中剝離有機平坦層(8)、第二金屬層(7)中的鋁、以及第二金屬層(7)中的位于鋁和有機平坦層(8)之間的第一金屬材料(74)的具體方法為持續(xù)加熱10-30分鐘后所述待測LTPS顯示面板完成膜層剝離時將所述待測LTPS顯示面板從氫氧化鉀溶液中取出吹干。
8.如權(quán)利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述待測LTPS顯示面板采用GOA電路作為柵極驅(qū)動電路,所述步驟S2與步驟S3之間還包括通過鐳射工藝將剩余的第二金屬層(7)中的柵極驅(qū)動電路連接線(73)打斷成分別電性連接的GOA電路和柵極線(52)的兩段的步驟;
所述步驟S3中,測試扎針(9)與所述柵極驅(qū)動電路連接線(73)連接?xùn)艠O線(52)的一段接觸。
9.如權(quán)利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述源極(71)和漏極(72)分別通過貫穿所述層間絕緣層(6)和柵極絕緣層(4)的第一過孔和第二過孔與所述有源層(3)的兩端接觸。
10.如權(quán)利要求1所述的測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其特征在于,所述柵極驅(qū)動電路連接線(73)通過貫穿所述層間絕緣層(6)和柵極絕緣層(4)的第三過孔與所述柵極線(52)電性連接。