1.一種基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，包括：
主框架；
對準(zhǔn)傳感器，所述對準(zhǔn)傳感器固定在所述主框架上；
光強信號采集處理模塊，所述光強信號采集處理模塊獲取所述對準(zhǔn)傳感器輸出的光信號，將所述光信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字電信號，并輸出所述數(shù)字電信號；
反射鏡，所述反射鏡設(shè)置于所述對準(zhǔn)傳感器上；
工件臺，所述對準(zhǔn)傳感器懸浮于所述工件臺的上方，所述工件臺用于放置一硅片，所述硅片包括一對準(zhǔn)標(biāo)記；
位置采集模塊，所述位置采集模塊獲取所述反射鏡及所述工件臺的位置數(shù)據(jù)，輸出所述反射鏡及所述工件臺的相對位置數(shù)據(jù)；及
對準(zhǔn)操作與管理模塊，所述對準(zhǔn)操作與管理模塊獲取所述數(shù)字電信號及所述相對位置數(shù)據(jù)并處理，計算出所述對準(zhǔn)標(biāo)記的對準(zhǔn)位置。
2.如權(quán)利要求1所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述對準(zhǔn)傳感器內(nèi)的照明模塊提供紫外光或超紫外光對所述對準(zhǔn)標(biāo)記進行對準(zhǔn)照明輻射。
3.如權(quán)利要求2所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述對準(zhǔn)傳感器內(nèi)包含有光電探測器，所述光電探測器探測并接收所述對準(zhǔn)標(biāo)記上的反射和衍射光束，輸出所述光信號。
4.如權(quán)利要求1所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述位置采集模塊還包括一提供可見光光束的光源模塊。
5.如權(quán)利要求4所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述光源模塊發(fā)射一第一可見光束到所述反射鏡，經(jīng)所述反射鏡后反射出一參考光束；同時，所述光源模塊發(fā)射一第二可見光束到所述工件臺，經(jīng)所述工件臺后反射出一測量光束。
6.如權(quán)利要求5所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述 位置采集模塊還包括一光電系統(tǒng)，所述光電系統(tǒng)接收所述參考光束，并生成參考光電信號。
7.如權(quán)利要求5所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述光電系統(tǒng)接收所述測量光束，生成測量光電信號。
8.如權(quán)利要求1所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述對準(zhǔn)傳感器懸浮于所述工件臺中心的正上方。
9.一種雙工件臺系統(tǒng)，其特征在于，包括：如權(quán)利要求1-8中任意一項所述的基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)、固定在所述主框架上的投影物鏡、與所述投影物鏡對應(yīng)的曝光位工件臺，所述基于相對位置測量的對準(zhǔn)系統(tǒng)中的工件臺為測量位工件臺。
10.如權(quán)利要求9所述的雙工件臺系統(tǒng)，其特征在于，所述投影物鏡懸浮于所述曝光位工件臺中心的正上方。
11.一種測量系統(tǒng)，其特征在于，包括：
第一測量裝置，包括探測源，通過所述探測源發(fā)射測量信號至探測物，并獲得探測信號；
第二測量裝置，用于探測上述探測源，并獲得影響上述探測信號正確率的擾動信號；
信號處理裝置，用于接收上述探測信號，及上述擾動信號，通過上述擾動信號，修正上述探測信號。
12.如權(quán)利要求11所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述第一測量裝置為對準(zhǔn)裝置，所述探測源為對準(zhǔn)傳感器，所述探測物為對準(zhǔn)標(biāo)記，所述測量信號為光信號。
13.如權(quán)利要求12所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述第二測量裝置為位置采集模塊，所述擾動信號為上述對準(zhǔn)傳感器與所述探測物的相對位置數(shù)據(jù)。
14.如權(quán)利要求13所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述位置采集模塊在上述對準(zhǔn)傳感器上設(shè)置有反射鏡，所述相對位置數(shù)據(jù)是通過所述反射鏡獲得的。
15.如權(quán)利要求14所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述位置采集模塊還包括一光源模塊，所述光源模塊提供可見光光束。
16.如權(quán)利要求15所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述光源模塊發(fā)射一第一可見光束到所述反射鏡，經(jīng)所述反射鏡后反射出一參考光束；同時，所述光源模塊發(fā)射一第二可見光束到所述探測物，經(jīng)所述探測物后反射出一測量光束。
17.如權(quán)利要求16所述的測量系統(tǒng)，其特征在于，所述位置采集模塊還包括光電轉(zhuǎn)換模塊，所述光電轉(zhuǎn)換模塊接受所述參考光束，并生成參考光電信號；所述光電轉(zhuǎn)換模塊接收所述測量光束，并生成測量光電信號；根據(jù)所述參考光電信號和所述測量光電信號，獲得所述對準(zhǔn)傳感器與所述探測物的相對位置數(shù)據(jù)。