技術(shù)特征：

1.一種產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括：

在具有多個(gè)圖案的襯底上涂布第一組合物，且將所述第一組合物固化以形成第一有機(jī)層；

施用液體材料到所述第一有機(jī)層，以去除所述第一有機(jī)層的一部分；以及

在所述部分去除的第一有機(jī)層上涂布第二組合物，且將所述第二組合物固化以形成第二有機(jī)層，

其中所述第一組合物和所述第二組合物獨(dú)立地為包含由化學(xué)式1表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物和溶劑：

化學(xué)式1

其中，在化學(xué)式1中，

A¹為包含至少一個(gè)經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯環(huán)的二價(jià)環(huán)基，

B¹為二價(jià)有機(jī)基團(tuán)，以及

*為連接點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述部分去除的第一有機(jī)層保持于所述圖案的間隙內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述液體材料包括γ-丁內(nèi)酯、δ-戊內(nèi)酯、乳酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、β-甲基丁酸β-羥基酯、甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、2-丁醇、乙二醇、丙二醇、甘油、1，6-己二醇、環(huán)己二醇、山梨糖醇、木糖醇、2-甲基-2，4-戊二醇、1，3-丁二醇、1，4-丁二醇、乙二醇單甲醚、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、三乙二醇、聚(乙二醇)、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、三丙二醇單甲醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯、丙二醇單甲醚丙酸酯、乙二醇二乙酸酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸正丁酯、甲酰胺、單甲基甲酰胺、二甲基甲酰胺、乙酰胺、單甲基乙酰胺、二甲基乙酰胺、單乙基乙酰胺、二乙基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、甲氧基丙酸甲酯、甲氧基丙酸乙酯、甲氧基丙酸丙酯、甲氧基丙酸丁酯、乙氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、乙氧基丙酸丙酯、乙氧基丙酸丁酯、二甲砜、二甲亞砜、環(huán)丁砜、丙酮、乙酰丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮或其組合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述液體材料以0.1立方厘米到100立方厘米的量被施用。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述第一有機(jī)層和所述第二有機(jī)層為硬掩模層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述第二有機(jī)層直接安置在所述部分去除的第一有機(jī)層上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中在化學(xué)式1中，A¹為在結(jié)構(gòu)中包含至少兩個(gè)環(huán)的二價(jià)環(huán)基。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中在化學(xué)式1中，A¹為衍生自族群1和族群2的化合物中的一者的二價(jià)環(huán)基，且所述二價(jià)環(huán)基的至少一個(gè)氫經(jīng)置換或來經(jīng)置換：

族群1

族群2

其中，在族群1中，

M為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C1到C5亞烷基、-O-、-S-、-SO₂-或羰基，

其中，在族群2中，

R⁰和R¹獨(dú)立地為氫、羥基、甲氧基、乙氧基、鹵素原子、含鹵素的基團(tuán)、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C1到C30烷基、經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C6到C30芳基或其組合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中在化學(xué)式1中，A¹為一個(gè)基團(tuán)，其中至少一個(gè)氫經(jīng)羥基、亞硫?；?、巰基、氰基、氨基、C1到C10烷基、C6到C30芳基、C1到C30烷氧基或其組合置換。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述聚合物還包括由化學(xué)式2表示的結(jié)構(gòu)單元：

化學(xué)式2

其中，在化學(xué)式2中，

A²為包含至少一個(gè)經(jīng)取代或未經(jīng)取代的苯環(huán)的二價(jià)環(huán)基，以及

B¹和*與化學(xué)式1中所定義相同，以及

其中所述由化學(xué)式1表示的結(jié)構(gòu)單元與所述由化學(xué)式2表示的結(jié)構(gòu)單元不同。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中在化學(xué)式1中，B¹由化學(xué)式3表示：

化學(xué)式3

其中，在化學(xué)式3中，

a和b獨(dú)立地為0到2的整數(shù)，以及

L為衍生自族群3中的一者的二價(jià)環(huán)基，且所述二價(jià)環(huán)基的至少一個(gè)氫可經(jīng)置換或未經(jīng)置換，

族群3

其中，在族群3中，

M為經(jīng)取代或未經(jīng)取代的C1到C5亞烷基、-O-、-S-、-SO₂-或羰基。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述聚合物的重量平均分子量為500到200,000。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中在施用所述第二組合物之后的所述固化在比在施用所述第一組合物之后的所述固化高的溫度下進(jìn)行。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述第一組合物和所述第二組合物獨(dú)立地包括表面活性劑、塑化劑、交聯(lián)劑、熱酸產(chǎn)生劑、光酸產(chǎn)生劑或其組合。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述交聯(lián)劑包括甲氧基甲基化甘脲、丁氧基甲基化甘脲、甲氧基甲基化三聚氰胺、丁氧基甲基化三聚氰胺、甲氧基甲基化苯并胍胺、丁氧基甲基化苯并胍胺、甲氧基甲基化脲、丁氧基甲基化脲、甲氧基甲基化硫脲、丁氧基甲基化硫脲、甲氧基甲基化苯、丁氧基甲基化苯、甲氧基甲基化苯酚、丁氧基甲基化苯酚或其組合。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述第一組合物和所述第二組合物的所述溶劑獨(dú)立地為丙二醇、丙二醇二乙酸酯、甲氧基丙二醇、二乙二醇、二乙二醇丁醚、三(乙二醇)單甲醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、乳酸乙酯、γ-丁內(nèi)酯、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、甲基吡咯烷酮、乙酰丙酮、3-乙氧基丙酸乙酯或其組合。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述第一組合物和所述第二組合物各自以300埃到10微米的厚度獨(dú)立地被施用。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法，其中所述襯底的一側(cè)具有具有多個(gè)圖案的第一部分和不具有圖案的第二部分，且所述第二有機(jī)層的梯級(jí)的總和小于所述第一有機(jī)層的梯級(jí)的總和。

19.一種形成圖案的方法，其特征在于，包括

提供根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生方法產(chǎn)生的層結(jié)構(gòu)；

在所述層結(jié)構(gòu)上形成含硅薄層；

在所述含硅薄層上形成光刻膠層；

曝光且顯影所述光刻膠層以形成光刻膠圖案；以及

使用所述光刻膠圖案選擇性地去除所述層結(jié)構(gòu)中的所述含硅薄層以及所述第一有機(jī)層、所述第二有機(jī)層或其組合。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的形成圖案的方法，其中所述方法還包括在形成所述光刻膠之前形成底部抗反射涂層。