技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)以及形成圖案的方法。所述產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)的方法包含在具有多個(gè)圖案的襯底上涂布第一組合物且將其固化以形成第一有機(jī)層(S1)；施用液體材料到第一有機(jī)層以去除第一有機(jī)層的一部分(S2)；以及在部分去除的第一有機(jī)層上涂布第二組合物且將其固化以形成第二有機(jī)層(S3)，其中第一組合物和第二組合物獨(dú)立地為包含由化學(xué)式1表示的結(jié)構(gòu)單元和溶劑的聚合物。本發(fā)明不使用特定回蝕或化學(xué)機(jī)械拋光工藝卻可顯示極好的平坦化特征，且通過使用預(yù)定聚合物作為層材料，顯示改進(jìn)的耐蝕刻性的產(chǎn)生層結(jié)構(gòu)。在化學(xué)式1中，A1、B1以及*與具體實(shí)施方式中所定義相同。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭瑟基;金旼秀;金瑆煥;宋炫知;姜善惠;金永珉;金有那;金眞亨;南沇希;白載烈;尹星莉;李忠憲;洪承希;黃善民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星SDI株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610860457
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.28
技術(shù)公布日：2017.05.03