技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠抑制污漬的產(chǎn)生的基板處理裝置。實(shí)施方式的基板處理裝置具備：處理室(10)，具有作為頂棚起作用的頂棚罩(11)；以及槽(12)，設(shè)置在該處理室(10)內(nèi)，承接從頂棚罩(11)落下的液滴。頂棚罩(11)形成為具有山部和谷部的形狀，頂棚罩(11)的谷部沿著一個(gè)方向延伸，槽(12)被設(shè)置為沿著谷部的延伸方向延伸。

技術(shù)研發(fā)人員：坂下健司;磯明典
受保護(hù)的技術(shù)使用者：芝浦機(jī)械電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.24
技術(shù)公布日：2017.08.08