本技術(shù)涉及一種版庫組件，尤其涉及一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫組件。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)中會(huì)利用到曝光機(jī)，而曝光機(jī)會(huì)使用到掩膜版，而掩膜版的種類非常多，晶圓上的圖案有時(shí)候可能需要多次曝光形成，因此曝光機(jī)就會(huì)需要多個(gè)掩膜版，而目前掩膜版一般都是放置在放置盒內(nèi)，然后在曝光工藝中，將需要用到的掩膜版人工都取出放置在曝光機(jī)的方式平臺(tái)上，然后再利用機(jī)械手將平臺(tái)上的掩膜版送入到光刻機(jī)內(nèi)進(jìn)行曝光操作，使用完成后，再利用機(jī)械手將掩膜版送出到放置平臺(tái)上，而后需要人工將掩膜版再放入到放置盒內(nèi)，而這種人工取出放入的動(dòng)作可能污染掩膜版，這樣會(huì)影響曝光的精度，并且若是掩膜版的數(shù)量比較多時(shí)，上述的缺陷更加明顯。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫組件，該版庫組件能夠更好的存儲(chǔ)掩膜版，方便機(jī)械手的自動(dòng)存取。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫組件，包括放置平臺(tái)和版庫疊置模塊，所述版庫疊置模塊包括若干個(gè)相互疊置固定的版庫單體，每個(gè)版庫單體的結(jié)構(gòu)相同，所述版庫單體包括相互平行的左側(cè)框和右側(cè)框以及用于放置掩膜版的放置盒，所述左側(cè)框和右側(cè)框上設(shè)置有方便放置盒放入的水平插裝槽，所述放置盒包括盒體和前端蓋，所述盒體內(nèi)設(shè)置有用于放置掩膜版的放置腔室，所述放置腔室內(nèi)設(shè)置有支撐所述掩膜版的支撐結(jié)構(gòu)，所述掩膜版放置在所述支撐結(jié)構(gòu)后掩膜版與放置腔室的底部形成方便機(jī)械手插入的插入間隙，所述前端蓋的上端鉸接在在盒體上部，所述左側(cè)框或者右側(cè)框上安裝有驅(qū)動(dòng)所述前端蓋打開的開蓋動(dòng)力裝置。

3、作為一種優(yōu)選的方案，所述開蓋動(dòng)力裝置包括固定在左側(cè)框或者右側(cè)框上的開蓋電機(jī)，所述開蓋電機(jī)的輸出軸上固定有開蓋驅(qū)動(dòng)盤，所述開蓋驅(qū)動(dòng)盤上偏心固定有開蓋輪，所述開蓋電機(jī)驅(qū)動(dòng)開蓋輪繞輸出軸的中心旋轉(zhuǎn)與所述前端蓋的內(nèi)側(cè)面抵觸配合。

4、作為一種優(yōu)選的方案，所述左側(cè)框和前端蓋、右側(cè)框和前端蓋之間設(shè)置有迫使前端蓋關(guān)閉的彈性件。

5、作為一種優(yōu)選的方案，所述彈性件為扭簧，所述前端蓋的左右兩端通過前鉸接軸鉸接在所述左側(cè)框和右側(cè)框上，所述扭簧套裝在所述前鉸接軸上且擠壓在所述前端蓋和左側(cè)框、前端蓋和右側(cè)框之間。

6、作為一種優(yōu)選的方案，所述彈性件為拉環(huán)，所述盒體的左右兩側(cè)設(shè)置有彈簧安裝槽，所述拉環(huán)安裝于所述彈簧安裝槽內(nèi)，所述拉環(huán)的一端連接在前端蓋上，所述拉環(huán)的另一端固定在盒體上，所述拉環(huán)的拉力迫使所述前端蓋閉合。

7、作為一種優(yōu)選的方案，所述盒體的左右兩側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有中間鉸軸，所述中中間鉸軸左右方向延伸，所述中間鉸軸的外側(cè)端固定有主動(dòng)臂，所述中間鉸軸的內(nèi)側(cè)端固定有限位臂，所述主動(dòng)臂位于所述彈簧安裝槽內(nèi)，所述拉環(huán)連接在所述主動(dòng)臂上，所述限位臂位于所述放置腔室內(nèi)，所述拉環(huán)的拉力迫使所述限位臂偏轉(zhuǎn)對(duì)所述掩膜版的邊部的上方限位。

8、作為一種優(yōu)選的方案，所述左側(cè)框和右側(cè)框上還設(shè)置有用于檢測(cè)水平插裝槽內(nèi)是否插入放置盒的檢測(cè)傳感器。

9、作為一種優(yōu)選的方案，所述盒體的上端設(shè)置有上端蓋，所述上端蓋的后端鉸接在盒體的后端，所述盒體上設(shè)置有鎖緊所述上端蓋的端蓋鎖緊結(jié)構(gòu)。

10、作為一種優(yōu)選的方案，所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于放置腔室四角的四個(gè)支撐臺(tái)面，每個(gè)支撐臺(tái)面上均設(shè)置有與掩膜版端面定位的側(cè)定位塊，所述支撐臺(tái)面上設(shè)置有與掩膜版底部的定位孔位置對(duì)應(yīng)的定位銷。

11、作為一種優(yōu)選的方案，所述左側(cè)框和右側(cè)框均包括一類安裝螺孔和二類安裝螺孔，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過設(shè)置于一類安裝螺孔內(nèi)的一類螺栓與下方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過設(shè)置于二類安裝螺孔內(nèi)的二類螺栓與上方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定。

12、采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的效果是：由于一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫組件，包括放置平臺(tái)和版庫疊置模塊，所述版庫疊置模塊包括若干個(gè)相互疊置固定的版庫單體，每個(gè)版庫單體的結(jié)構(gòu)相同，所述版庫單體包括相互平行的左側(cè)框和右側(cè)框以及用于放置掩膜版的放置盒，所述左側(cè)框和右側(cè)框上設(shè)置有方便放置盒放入的水平插裝槽，所述放置盒包括盒體和前端蓋，所述盒體內(nèi)設(shè)置有用于放置掩膜版的放置腔室，所述放置腔室內(nèi)設(shè)置有支撐所述掩膜版的支撐結(jié)構(gòu)，所述掩膜版放置在所述支撐結(jié)構(gòu)后掩膜版與放置腔室的底部形成方便機(jī)械手插入的插入間隙，所述前端蓋的上端鉸接在在盒體上部，所述左側(cè)框或者右側(cè)框上安裝有驅(qū)動(dòng)所述前端蓋打開的開蓋動(dòng)力裝置，因此，多個(gè)版庫單體相互疊加可以方便多個(gè)放置盒疊放，這樣可以放置多塊掩膜版，而當(dāng)需要取出掩膜版時(shí)，直接通過開蓋動(dòng)力裝置打開前端蓋，這樣方便機(jī)械手從前端深入到插入間隙的下方，然后機(jī)械手上升支撐掩膜版將掩膜版取出放置盒，這樣整個(gè)過程無需人工參與，從而實(shí)現(xiàn)了多塊掩膜版的存取，提高了效率的同時(shí)避免對(duì)掩膜版污染，而不使用的掩膜版存放在放置盒中保存，避免污染。

13、又由于所述開蓋動(dòng)力裝置包括固定在左側(cè)框或者右側(cè)框上的開蓋電機(jī)，所述開蓋電機(jī)的輸出軸上固定有開蓋驅(qū)動(dòng)盤，所述開蓋驅(qū)動(dòng)盤上偏心固定有開蓋輪，所述開蓋電機(jī)驅(qū)動(dòng)開蓋輪繞輸出軸的中心旋轉(zhuǎn)與所述前端蓋的內(nèi)側(cè)面抵觸配合，利用開蓋電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)開蓋驅(qū)動(dòng)盤旋轉(zhuǎn)，從而使開蓋輪從下向上頂推前端蓋，使前端蓋打開，而當(dāng)開蓋輪離開前端蓋后，前端蓋會(huì)因?yàn)樽陨淼闹亓ΧP(guān)閉，該結(jié)構(gòu)的前端蓋開閉順暢。

14、又由于所述左側(cè)框和前端蓋、右側(cè)框和前端蓋之間設(shè)置有迫使前端蓋關(guān)閉的彈性件，利用彈性件可以更好使前端蓋閉合。

15、又由于所述盒體的左右兩側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有中間鉸軸，所述中間鉸軸左右方向延伸，所述中間鉸軸的外側(cè)端固定有主動(dòng)臂，所述中間鉸軸的內(nèi)側(cè)端固定有限位臂，所述主動(dòng)臂位于所述彈簧安裝槽內(nèi)，所述拉環(huán)連接在所述主動(dòng)臂上，所述限位臂位于所述放置腔室內(nèi)，所述拉環(huán)的拉力迫使所述限位臂偏轉(zhuǎn)對(duì)所述掩膜版的邊部的上方限位，因此，當(dāng)前端蓋打開時(shí)，前端蓋就通過拉環(huán)拉動(dòng)主動(dòng)臂，使中間鉸軸旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)限位臂偏轉(zhuǎn)，這樣打在機(jī)械手插入到掩膜版底部頂推掩膜版上升時(shí)，可以通過限位臂限制掩膜版的邊緣上端，這樣對(duì)掩膜版和機(jī)械手之間產(chǎn)生一定的擠壓力，這樣機(jī)械手可以快速的吸附掩膜版，也能保證吸附更穩(wěn)定。

16、又由于所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于放置腔室四角的四個(gè)支撐臺(tái)面，每個(gè)支撐臺(tái)面上均設(shè)置有與掩膜版端面定位的側(cè)定位塊，所述支撐臺(tái)面上設(shè)置有與掩膜版底部的定位孔位置對(duì)應(yīng)的定位銷，該支撐結(jié)構(gòu)可以更準(zhǔn)確的放置掩膜版，保證掩膜版的位置準(zhǔn)確。

17、又由于所述盒體的上端設(shè)置有上端蓋，所述上端蓋的后端鉸接在盒體的后端，所述盒體上設(shè)置有鎖緊所述上端蓋的端蓋鎖緊結(jié)構(gòu)，該上端蓋可以打開，這樣方便開始時(shí)從上方放置掩膜版。

18、又由于所述左側(cè)框和右側(cè)框均包括一類安裝螺孔和二類安裝螺孔，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過設(shè)置于一類安裝螺孔內(nèi)的一類螺栓與下方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過設(shè)置于二類安裝螺孔內(nèi)的二類螺栓與上方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定，該左側(cè)框和右側(cè)框可以更好的相互疊置固定。