1.一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，包括放置平臺(tái)和版庫(kù)疊置模塊，其特征在于：所述版庫(kù)疊置模塊包括若干個(gè)相互疊置固定的版庫(kù)單體，每個(gè)版庫(kù)單體的結(jié)構(gòu)相同，所述版庫(kù)單體包括相互平行的左側(cè)框和右側(cè)框以及用于放置掩膜版的放置盒，所述左側(cè)框和右側(cè)框上設(shè)置有方便放置盒放入的水平插裝槽，所述放置盒包括盒體和前端蓋，所述盒體內(nèi)設(shè)置有用于放置掩膜版的放置腔室，所述放置腔室內(nèi)設(shè)置有支撐所述掩膜版的支撐結(jié)構(gòu)，所述掩膜版放置在所述支撐結(jié)構(gòu)后掩膜版與放置腔室的底部形成方便機(jī)械手插入的插入間隙，所述前端蓋的上端鉸接在盒體上部，所述左側(cè)框或者右側(cè)框上安裝有驅(qū)動(dòng)所述前端蓋打開的開蓋動(dòng)力裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述開蓋動(dòng)力裝置包括固定在左側(cè)框或者右側(cè)框上的開蓋電機(jī)，所述開蓋電機(jī)的輸出軸上固定有開蓋驅(qū)動(dòng)盤，所述開蓋驅(qū)動(dòng)盤上偏心固定有開蓋輪，所述開蓋電機(jī)驅(qū)動(dòng)開蓋輪繞輸出軸的中心旋轉(zhuǎn)與所述前端蓋的內(nèi)側(cè)面抵觸配合。
3.如權(quán)利要求2所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述左側(cè)框和前端蓋、右側(cè)框和前端蓋之間設(shè)置有迫使前端蓋關(guān)閉的彈性件。
4.如權(quán)利要求3所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述彈性件為扭簧，所述前端蓋的左右兩端通過(guò)前鉸接軸鉸接在所述左側(cè)框和右側(cè)框上，所述扭簧套裝在所述前鉸接軸上且擠壓在所述前端蓋和左側(cè)框、前端蓋和右側(cè)框之間。
5.如權(quán)利要求3所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述彈性件為拉環(huán)，所述盒體的左右兩側(cè)設(shè)置有彈簧安裝槽，所述拉環(huán)安裝于所述彈簧安裝槽內(nèi)，所述拉環(huán)的一端連接在前端蓋上，所述拉環(huán)的另一端固定在盒體上，所述拉環(huán)的拉力迫使所述前端蓋閉合。
6.如權(quán)利要求5所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述盒體的左右兩側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有中間鉸軸，所述中間鉸軸左右方向延伸，所述中間鉸軸的外側(cè)端固定有主動(dòng)臂，所述中間鉸軸的內(nèi)側(cè)端固定有限位臂，所述主動(dòng)臂位于所述彈簧安裝槽內(nèi)，所述拉環(huán)連接在所述主動(dòng)臂上，所述限位臂位于所述放置腔室內(nèi)，所述拉環(huán)的拉力迫使所述限位臂偏轉(zhuǎn)對(duì)所述掩膜版的邊部的上方限位。
7.如權(quán)利要求4或6所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述左側(cè)框和右側(cè)框上還設(shè)置有用于檢測(cè)水平插裝槽內(nèi)是否插入放置盒的檢測(cè)傳感器。
8.如權(quán)利要求7所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述盒體的上端設(shè)置有上端蓋，所述上端蓋的后端鉸接在盒體的后端，所述盒體上設(shè)置有鎖緊所述上端蓋的端蓋鎖緊結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述支撐結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于放置腔室四角的四個(gè)支撐臺(tái)面，每個(gè)支撐臺(tái)面上均設(shè)置有與掩膜版端面定位的側(cè)定位塊，所述支撐臺(tái)面上設(shè)置有與掩膜版底部的定位孔位置對(duì)應(yīng)的定位銷。
10.如權(quán)利要求9所述的一種曝光機(jī)的掩膜版的版庫(kù)組件，其特征在于：所述左側(cè)框和右側(cè)框均包括一類安裝螺孔和二類安裝螺孔，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過(guò)設(shè)置于一類安裝螺孔內(nèi)的一類螺栓與下方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定，左側(cè)框之間或者右側(cè)框通過(guò)設(shè)置于二類安裝螺孔內(nèi)的二類螺栓與上方對(duì)應(yīng)的左側(cè)框或右側(cè)框螺紋固定。