基板檢查探測(cè)裝置和基板檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板檢查探測(cè)裝置和基板檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，顯示面板搭載于以便攜電話(huà)、智能電話(huà)、平板電腦等為代表的中小型數(shù)字制品。這種顯示面板由以下方法制造。首先，在所謂母玻璃上制作CF面板基板和TFT面板基板各自的基板。然后，在用密封材料等貼合CF面板基板和TFT面板基板后，利用切割輪將CF面板基板側(cè)切割。然后，使母玻璃反轉(zhuǎn)，利用多個(gè)切割輪將TFT面板基板側(cè)切割。通過(guò)這種切割，將貼合的一對(duì)基板按規(guī)定的尺寸切割，制作顯示面板。
[0003]該顯示面板的切割精度會(huì)由于切割輪的晃動(dòng)、切割輪的定位精度、CF面板基板側(cè)和TFT面板基板側(cè)的切割錯(cuò)位等因素而相對(duì)于設(shè)定值產(chǎn)生±0.1mm程度的切割偏差。
[0004]對(duì)按規(guī)定尺寸切割的顯示面板，使檢查單元的探測(cè)器接觸形成于TFT基板表面的端子部，進(jìn)行規(guī)定的點(diǎn)亮檢查。通過(guò)該點(diǎn)亮檢查，進(jìn)行電極的斷路、短路、點(diǎn)亮狀態(tài)的確認(rèn)來(lái)實(shí)施顯不面板的檢查。
[0005]在該點(diǎn)亮檢查中，需要端子部和探測(cè)器高精度的對(duì)位。例如，在TFT液晶顯示面板中，當(dāng)由于錯(cuò)位而導(dǎo)致對(duì)引導(dǎo)端子施加錯(cuò)誤電壓時(shí)，根據(jù)該電壓施加的時(shí)間會(huì)使TFT損壞。因此，由于面板的切割位置精度偏差的影響，在根據(jù)顯示面板的外形基準(zhǔn)來(lái)定位面板并使探測(cè)器接觸的情況下，會(huì)由于上述錯(cuò)位而頻發(fā)TFT損壞的情況。
[0006]因此，在顯示面板的檢查中，多數(shù)情況下使用具有自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的檢查裝置。例如專(zhuān)利文獻(xiàn)I公開(kāi)了具有自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的檢查裝置。
[0007]根據(jù)使用該檢查裝置的檢查方法，首先，用CCD照相機(jī)拍攝設(shè)于液晶顯示面板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，用圖像處理單元對(duì)該拍攝信號(hào)進(jìn)行處理來(lái)確定液晶顯示面板的引導(dǎo)端子的位置。然后，基于確定的引導(dǎo)端子的位置數(shù)據(jù)來(lái)使探針或者液晶顯示面板移動(dòng)，進(jìn)行端子部和探針的對(duì)位。在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，提出了對(duì)端子部施加點(diǎn)亮電壓之前，在使探針實(shí)際接觸的狀態(tài)下可靠地檢測(cè)端子部和探針的對(duì)位狀態(tài)的方案。
[0008]在利用專(zhuān)利文獻(xiàn)I的檢查裝置進(jìn)行的檢查方法中，在端子部配置有虛擬端子，在保持探針的探頭側(cè)各設(shè)有一對(duì)經(jīng)上述虛擬端子流過(guò)導(dǎo)通檢查電流的電流探針。并且，在使全部上述電壓探針和上述電流探針與上述端子部接觸后，僅使上述電流探針間流過(guò)導(dǎo)通檢查電流。然后，根據(jù)該電流的導(dǎo)通、非導(dǎo)通來(lái)檢測(cè)上述電壓探針和上述引導(dǎo)端子之間有無(wú)錯(cuò)位。在上述電流探針間電流導(dǎo)通而位置不錯(cuò)開(kāi)的情況下，原樣保持使上述電流探針與上述虛擬端子接觸的狀態(tài)，從上述電壓探針?lè)謩e對(duì)上述引導(dǎo)端子施加點(diǎn)亮電壓。
[0009]根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)I的檢查方法，在端子部和探測(cè)器的高精度對(duì)位后用虛擬端子確認(rèn)導(dǎo)通，由此能在確認(rèn)最終的端子部和探測(cè)器的對(duì)位狀態(tài)后實(shí)施點(diǎn)亮檢查。因此，不會(huì)由于錯(cuò)位而損壞TFT。
[0010]另外，例如專(zhuān)利文獻(xiàn)2公開(kāi)了一種顯示器面板的點(diǎn)亮檢查裝置。而且，專(zhuān)利文獻(xiàn)3公開(kāi)了一種導(dǎo)通檢查裝置，使檢查探測(cè)器與形成于基板表面的導(dǎo)體圖案接觸來(lái)進(jìn)行導(dǎo)體圖案的導(dǎo)通檢查。
[0011]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0012]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:專(zhuān)利第4803692號(hào)(2011年10月26日發(fā)行)
[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2004-170238號(hào)公報(bào)(2004年6月17日公開(kāi))
[0014]專(zhuān)利文獻(xiàn)3:特開(kāi)平10-115653號(hào)公報(bào)(1998年5月6日公開(kāi))

【發(fā)明內(nèi)容】

_5] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0016]在專(zhuān)利文獻(xiàn)I的點(diǎn)亮檢查方法中，使導(dǎo)通檢查用的探測(cè)器與虛擬端子接觸，根據(jù)有無(wú)導(dǎo)通來(lái)確認(rèn)端子部與探測(cè)器的相對(duì)位置關(guān)系。并且，在確認(rèn)為導(dǎo)通的情況下，能原樣地實(shí)施點(diǎn)亮檢查。另一方面，在未確認(rèn)到導(dǎo)通的情況下，需要再次調(diào)整端子部與探測(cè)器的相對(duì)位置關(guān)系。
[0017]在再次調(diào)整端子部與探測(cè)器的相對(duì)位置關(guān)系時(shí)，首先用CCD照相機(jī)拍攝設(shè)于液晶顯示面板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，利用圖像處理單元對(duì)該拍攝信號(hào)進(jìn)行處理來(lái)確定液晶顯示面板的引導(dǎo)端子的位置。并且，基于確定的引導(dǎo)端子的位置數(shù)據(jù)使探針或者液晶顯示面板移動(dòng)，再次調(diào)整端子部與探測(cè)器的相對(duì)位置關(guān)系。在這種情況下，為了調(diào)整CCD照相機(jī)、端子部與探測(cè)器的相對(duì)位置關(guān)系，需要在點(diǎn)亮檢查裝置中設(shè)置促動(dòng)機(jī)構(gòu)。在要利用I個(gè)點(diǎn)亮檢查裝置實(shí)施多個(gè)液晶顯示面板的點(diǎn)亮檢查的情況下，需要在點(diǎn)亮檢查裝置中設(shè)置多個(gè)CCD照相機(jī)、多個(gè)促動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I的點(diǎn)亮檢查方法中，存在點(diǎn)亮檢查裝置的構(gòu)成會(huì)變復(fù)雜，裝置的價(jià)格增加的問(wèn)題。
[0018]另外，在液晶顯示面板的外形精度比使探測(cè)器接觸的引導(dǎo)端子的位置低的情況下，當(dāng)以液晶顯示面板的外形為基準(zhǔn)進(jìn)行引導(dǎo)端子的定位時(shí)，會(huì)導(dǎo)致引導(dǎo)端子對(duì)外形的相對(duì)錯(cuò)位。因此，有可能探測(cè)器不與引導(dǎo)端子接觸，無(wú)法實(shí)施所希望的點(diǎn)亮檢查。
[0019]而且，在使探測(cè)器與FPC上的端子接觸來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通檢查的情況下也會(huì)發(fā)生上述問(wèn)題。即使如FPC這樣利用光刻技術(shù)高精度地形成端子部，F(xiàn)PC的外形沖切精度也比端子部的形成精度低，因此即使根據(jù)外形基準(zhǔn)來(lái)定位FPC，也會(huì)在FPC的外形與端子部之間發(fā)生相對(duì)錯(cuò)位。其結(jié)果是，有可能探測(cè)器不與規(guī)定位置的端子接觸，無(wú)法實(shí)施所希望的檢查。
[0020]本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有問(wèn)題而完成的，其目的在于提供一種基板檢查探測(cè)裝置和基板檢查方法，在再次調(diào)整端子與探測(cè)器的相對(duì)位置時(shí)，不需要對(duì)準(zhǔn)用的CCD照相機(jī)、促動(dòng)機(jī)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)檢查。
[0021]用于解決問(wèn)題的方案
[0022]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)方式的基板檢查探測(cè)裝置具備具有與被檢查基板上的檢查用的端子部接觸的探測(cè)器的檢查單元，檢查上述端子部與上述探測(cè)器的導(dǎo)通，具備按照構(gòu)成上述端子部的多個(gè)端子彼此的排列間距而配置的多個(gè)探測(cè)器群，上述探測(cè)器群彼此在端子的排列方向上錯(cuò)開(kāi)配置，設(shè)有:連接狀態(tài)確認(rèn)部，其確認(rèn)上述多個(gè)探測(cè)器群中的至少I(mǎi)個(gè)探測(cè)器群的電連接狀態(tài)；以及切換部，其針對(duì)各端子將與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群切換為其它探測(cè)器群。
[0023]另外，為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)方式的基板檢查方法使設(shè)于檢查單元的探測(cè)器與被檢查基板上的檢查用的端子部接觸，檢查上述端子部與上述探測(cè)器的導(dǎo)通，其特征在于，上述探測(cè)器包括按照構(gòu)成上述端子部的多個(gè)端子彼此的排列間距而配置的多個(gè)探測(cè)器群，上述探測(cè)器群彼此在端子的排列方向上錯(cuò)開(kāi)配置，
[0024]上述基板檢查方法包括:確認(rèn)工序，確認(rèn)上述多個(gè)探測(cè)器群中的至少I(mǎi)個(gè)探測(cè)器群的電連接狀態(tài)；以及切換工序，針對(duì)各端子將與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群切換為其它探測(cè)器群，在上述確認(rèn)工序中未確認(rèn)到規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，在上述切換工序中切換與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群。
[0025]發(fā)明效果
[0026]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，能實(shí)現(xiàn)如下效果:在再次調(diào)整端子與探測(cè)器的相對(duì)位置時(shí)，不需要對(duì)準(zhǔn)用的CCD照相機(jī)、促動(dòng)機(jī)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)檢查。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式I的基板檢查探測(cè)裝置的檢查對(duì)象的測(cè)定用面板的概要構(gòu)成的俯視圖。
[0028]圖2是示出本發(fā)明的實(shí)施方式I的基板檢查探測(cè)裝置的概要構(gòu)成的俯視圖。
[0029]圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施方式I的基板檢查探測(cè)裝置的概要構(gòu)成的側(cè)視圖。
[0030]圖4是示出圖1所示的測(cè)定用面板的檢查用端子部的概要構(gòu)成的放大俯視圖。
[0031]圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施方式I的基板檢查探測(cè)裝置的探測(cè)器的概要構(gòu)成和探測(cè)器與檢查用端子部的相對(duì)位置關(guān)系的俯視概略圖。
[0032]圖6是示出在檢查用端子部與探測(cè)器的相對(duì)錯(cuò)位量小于正常值的情況下的探測(cè)器與檢查用端子部的相對(duì)位置關(guān)系的俯視概略圖。
[0033]圖7是示出在檢查用端子部與探測(cè)器的相對(duì)錯(cuò)位量大于正常值的情況下的探測(cè)器與檢查用端子部的相對(duì)位置關(guān)系的俯視概略圖。
[0034]圖8是示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式2的點(diǎn)亮檢查裝置的檢查對(duì)象的檢查用模塊的概要構(gòu)成的俯視圖。
[0035]圖9是示出本發(fā)明的實(shí)施方式2的基板檢查探測(cè)裝置的概要構(gòu)成的俯視圖。
[0036]圖10是示出本發(fā)明的實(shí)施方式2的基板檢查探測(cè)裝置的概要構(gòu)成的側(cè)視圖。
[0037]圖11是放大示出圖8所示的檢查用模塊的外部驅(qū)動(dòng)用的FPC的構(gòu)成的俯視圖。
[0038]圖12示出本發(fā)明的實(shí)施方式3的基板檢查探測(cè)裝置的探測(cè)器FPC的構(gòu)成，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
[0039]圖13是概略示出本發(fā)明的實(shí)施方式3的基板檢查探測(cè)裝置的探測(cè)器FPC與檢查用端子部接觸的狀態(tài)的俯視圖。
[0040]圖14是示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式5的基板檢查探測(cè)裝置的測(cè)定對(duì)象的測(cè)定用面板的檢查用端子部的概要構(gòu)成的放大俯視圖。
[0041]圖15是示出本發(fā)明的實(shí)施方式5的基板檢查探測(cè)裝置的探測(cè)器的概要構(gòu)成和探測(cè)器與檢查用端子部的相對(duì)位置關(guān)系的俯視概略圖。
[0042]圖16是示出在本發(fā)明的實(shí)施方式5的基板檢查探測(cè)裝置中，檢查用端子部與探測(cè)器的相對(duì)錯(cuò)位量小于正常值的情況下的探測(cè)器與檢查用端子部的相對(duì)位置關(guān)系的俯視概略圖。
[0043]附圖標(biāo)記說(shuō)曰月
[0044]I夾具部
[0045]2基準(zhǔn)銷(xiāo)
[0046]3移動(dòng)銷(xiāo)
[0047]4 開(kāi)口部
[0048]5 CF面板基板
[0049]6 TFT面板基板(被檢查基板)
[0050]7檢查用端子部(端子部)
[0051]7a點(diǎn)亮用端子
[0052]7b確認(rèn)端子(位置確認(rèn)用端子部)
[0053]8檢查單元
[0054]9、9a、9c探測(cè)器9g探測(cè)器(附設(shè)探測(cè)器)
[0055]10U0A點(diǎn)亮檢查裝置(基板檢查探測(cè)裝置)
[0056]11切換開(kāi)關(guān)
[0057]12電阻測(cè)量部(連接狀態(tài)確認(rèn)部)
[0058]20測(cè)定用面板
[0059]21 IC 芯片
[0060]22 FPC (被檢查基板)
[0061]23基準(zhǔn)孔
[0062]24驅(qū)動(dòng)電極(端子部)
[0063]24a點(diǎn)亮用端子
[0064]24b確認(rèn)端子(位置確認(rèn)用端子部)
[0065]25背光源
[0066]30檢查用模塊
[0067]31探測(cè)部
[0068]31a探測(cè)器
[0069]31b Au 凸塊(凸塊)
[0070]31c探測(cè)器
[0071]32 探測(cè)器 FPC
[0072]32a基底材料
[0073]32b 覆膜
[0074]32c加強(qiáng)件
[0075]33外部引出端子
[0076]34基準(zhǔn)孔
[0077]51夾具部
[0078]52拐角部
[0079]53 FPC 基準(zhǔn)銷(xiāo)
[0080]A、C、G探測(cè)器群
[0081]L 距離
[0082]P排列間距
[0083]W端子寬度
[0084]Sffl 開(kāi)關(guān)
【具體實(shí)施方式】
[0085]〔實(shí)施方式I〕
[0086]本發(fā)明的基板檢查探測(cè)裝置使探測(cè)器接觸以外形為基準(zhǔn)來(lái)定位的檢查對(duì)象基板的