br>[0213]本發(fā)明的實(shí)施方式3的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10，10A)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式2中具備附設(shè)探測(cè)器(探測(cè)器9g)，其附設(shè)于確認(rèn)上述電連接狀態(tài)的I個(gè)端子中配置的不同的探測(cè)器群A、C的探測(cè)器9a、9c間。
[0214]根據(jù)上述構(gòu)成，在確認(rèn)電連接狀態(tài)的端子(外端的點(diǎn)亮用端子7a)上，除了構(gòu)成各探測(cè)器群A、C的探測(cè)器9a、9c以外，還設(shè)有附設(shè)于構(gòu)成不同的探測(cè)器群A、C的探測(cè)器9a、9c間的探測(cè)器9g。即，在確認(rèn)電連接狀態(tài)的檢查用端子部7的外端的點(diǎn)亮用端子7a上設(shè)有3種以上的探測(cè)器9a、9c、9g。換言之，與各探測(cè)器群A、C對(duì)應(yīng)的探測(cè)器9a、9c和附設(shè)探測(cè)器(探測(cè)器9g)合計(jì)為3種以上。由此，即使構(gòu)成某一探測(cè)器群A、C的探測(cè)器9a、9c錯(cuò)開(kāi)配置而成為與上述外端的點(diǎn)亮用端子7a非接觸的狀態(tài)，探測(cè)器9g也會(huì)維持與上述外端的點(diǎn)亮用端子7a的接觸狀態(tài)。因此，能使用與上述外端的點(diǎn)亮用端子7a接觸的探測(cè)器群A的探測(cè)器9a (或者探測(cè)器群C的探測(cè)器9c)和附設(shè)探測(cè)器(探測(cè)器9g)來(lái)確認(rèn)電連接狀
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[0215]例如，在圖16的構(gòu)成中，為了在確認(rèn)工序中確認(rèn)4個(gè)引腳的探測(cè)器(探測(cè)器9a、9c、9g)所連接的點(diǎn)亮用端子7a的電阻值R，只要在切換工序中，在將開(kāi)關(guān)SWl設(shè)為導(dǎo)通狀態(tài)的狀態(tài)下，利用切換開(kāi)關(guān)11將檢查單元8與探測(cè)器群C的電連接切換為探測(cè)器群A，就能確認(rèn)電阻測(cè)量部12的測(cè)量值為電阻值R。因此，在未形成有確認(rèn)端子7b (位置確認(rèn)用端子部)的測(cè)定用面板20中也能實(shí)施導(dǎo)通檢查。
[0216]本發(fā)明的實(shí)施方式4的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10、10A)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式2中，上述連接狀態(tài)確認(rèn)部確認(rèn)上述多個(gè)端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)中的2個(gè)端子間的規(guī)定的電連接狀態(tài)。
[0217]根據(jù)上述構(gòu)成，在確認(rèn)檢查用的端子部(檢查用端子部7，驅(qū)動(dòng)電極24)與探測(cè)器9的接觸的確認(rèn)工序中，在無(wú)法確認(rèn)上述多個(gè)端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)中的2個(gè)端子(確認(rèn)端子7b、24b)間的規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，也不需要調(diào)整端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)與探測(cè)器9的相對(duì)位置。利用上述切換部(切換開(kāi)關(guān)11)將檢查單元8與探測(cè)器群的電連接切換到探測(cè)器群A側(cè)或者探測(cè)器B側(cè)，再次確認(rèn)上述2個(gè)端子(確認(rèn)端子7b、24b)間的規(guī)定的電連接狀態(tài)即可。并且，在確認(rèn)后，能從檢查單元8經(jīng)切換后的探測(cè)器群實(shí)施被檢查基板(TFT面板基板6、FPC22)的導(dǎo)通檢查。
[0218]本發(fā)明的實(shí)施方式5的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10、10A)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式I至4中，上述切換部(切換開(kāi)關(guān)11)在由上述連接狀態(tài)確認(rèn)部未確認(rèn)到規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，切換與上述檢查單元8電連接的探測(cè)器群A、C。
[0219]由此，在再次調(diào)整端子與探測(cè)器9的相對(duì)位置時(shí)，不需要對(duì)準(zhǔn)用的CXD照相機(jī)、促動(dòng)機(jī)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)廉價(jià)并且可靠的檢查。
[0220]本發(fā)明的實(shí)施方式6的(點(diǎn)亮檢查裝置10A)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式I至5中，上述探測(cè)器9的與上述端子(確認(rèn)端子24b)的接觸部分的寬度小于相鄰的上述端子(點(diǎn)亮用端子24a，確認(rèn)端子24b)間的間隔。
[0221]根據(jù)上述構(gòu)成，不會(huì)由于探測(cè)器9與構(gòu)成端子部(驅(qū)動(dòng)電極24)的端子(點(diǎn)亮用端子24a，確認(rèn)端子24b)的相對(duì)錯(cuò)位而導(dǎo)致端子部(驅(qū)動(dòng)電極24)中的相鄰的2個(gè)端子間由于探測(cè)器9而短路。其結(jié)果是，根據(jù)上述構(gòu)成，能防止TFT的損壞、短路造成的檢查單元8的問(wèn)題。
[0222]在本發(fā)明的實(shí)施方式7的(點(diǎn)亮檢查裝置10、10A)中，在上述實(shí)施方式I至6中具備FPC32，上述探測(cè)器(探測(cè)部31)形成為上述FPC32上的配線(xiàn)圖案，在該配線(xiàn)圖案中形成有凸塊(Au凸塊31b)。
[0223]根據(jù)上述構(gòu)成，對(duì)于端子部進(jìn)一步高精細(xì)化，端子的排列間距P更小的被檢查基板，也能使探測(cè)器(探測(cè)部31)與端子接觸來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通檢查。
[0224]此外，上述“確認(rèn)2個(gè)端子間的規(guī)定的電連接狀態(tài)的連接狀態(tài)確認(rèn)部”是指確認(rèn)2個(gè)端子間的導(dǎo)通狀態(tài)或者短路狀態(tài)的部件。
[0225]例如，本發(fā)明的實(shí)施方式8的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式I至7中，設(shè)有測(cè)量2個(gè)端子間的電阻的電阻測(cè)量部12作為上述連接狀態(tài)確認(rèn)部。
[0226]另外，本發(fā)明的實(shí)施方式9的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10A)也可以構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式I至8中，設(shè)有確認(rèn)2個(gè)端子間的短路狀態(tài)的短路確認(rèn)部作為上述連接狀態(tài)確認(rèn)部。
[0227]另外，除了 2個(gè)端子間以外，上述連接狀態(tài)確認(rèn)部為調(diào)整電流、電壓、確認(rèn)LED等光源的點(diǎn)亮狀態(tài)的點(diǎn)亮確認(rèn)部的構(gòu)成，也能確認(rèn)2個(gè)端子間的電連接狀態(tài)。
[0228]在本發(fā)明的實(shí)施方式10的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10、10A)中，在上述實(shí)施方式I至9中，分別構(gòu)成上述探測(cè)器群A、C的各探測(cè)器9a、9c按與構(gòu)成檢查用的端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)的端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)相同的間距配置，探測(cè)器9a與探測(cè)器9c在與同一端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)接觸的范圍中配置位置錯(cuò)開(kāi)。優(yōu)選探測(cè)器9a和探測(cè)器9c相對(duì)于同一端子隔著該端子的中央線(xiàn)位于兩側(cè)。
[0229]由此，即使一方探測(cè)器群與檢查用的端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)之間的錯(cuò)位比較大，也能通過(guò)切換到另一方探測(cè)器群來(lái)利用上述連接狀態(tài)確認(rèn)部確認(rèn)規(guī)定的電連接狀態(tài)。
[0230]另外，在本發(fā)明的實(shí)施方式11的基板檢查探測(cè)裝置(點(diǎn)亮檢查裝置10、10A)中，在上述實(shí)施方式I至10中，上述端子部(檢查用端子部7，驅(qū)動(dòng)電極24)具備具有與上述連接狀態(tài)確認(rèn)部(電阻測(cè)量部12)連接的2個(gè)端子的位置確認(rèn)用端子部(確認(rèn)端子7b、24b)。
[0231]本發(fā)明的實(shí)施方式12的基板檢查方法的特征在于，使設(shè)于檢查單元8的探測(cè)器9接觸被檢查基板(TFT面板基板6、FPC22)上的檢查用的端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)，檢查上述端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)與上述探測(cè)器9的導(dǎo)通，上述探測(cè)器9包括按照構(gòu)成上述端子部(檢查用端子部7、驅(qū)動(dòng)電極24)的多個(gè)端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)彼此的排列間距P而配置的探測(cè)器群A、C，上述探測(cè)器群A、C彼此在端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)的排列方向上錯(cuò)開(kāi)配置，該基板檢查方法包括:確認(rèn)工序，確認(rèn)上述多個(gè)探測(cè)器群A、C中的至少I(mǎi)個(gè)探測(cè)器群的電連接狀態(tài)；以及切換工序，針對(duì)各端子將與上述檢查單元8電連接的探測(cè)器群切換為其它探測(cè)器群，在上述確認(rèn)工序中未確認(rèn)到規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，在上述切換工序中切換與上述檢查單元8電連接的探測(cè)器群A、C。
[0232]根據(jù)上述構(gòu)成，實(shí)現(xiàn)與上述實(shí)施方式I同樣的效果。
[0233]在本發(fā)明的實(shí)施方式13的基板檢查方法中，在實(shí)施方式12中，也可以在上述確認(rèn)工序中在上述多個(gè)端子(點(diǎn)亮用端子7a)中的I端子內(nèi)確認(rèn)規(guī)定的電連接狀態(tài)。
[0234]根據(jù)上述構(gòu)成，實(shí)現(xiàn)與上述實(shí)施方式2同樣的效果。
[0235]在本發(fā)明的實(shí)施方式14的基板檢查方法中，在實(shí)施方式12中，也可以在上述確認(rèn)工序中確認(rèn)上述多個(gè)端子(點(diǎn)亮用端子7a、24a，確認(rèn)端子7b、24b)中的2個(gè)端子(確認(rèn)端子7b、24b)間的規(guī)定的電連接狀態(tài)。
[0236]根據(jù)上述構(gòu)成，實(shí)現(xiàn)與上述實(shí)施方式4同樣的效果。
[0237]本發(fā)明不限于上述各實(shí)施方式，能在權(quán)利要求所示的范圍中進(jìn)行各種變更，將在不同的實(shí)施方式中分別公開(kāi)的技術(shù)方案適當(dāng)組合而得到的實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍。而且，還能將各實(shí)施方式中分別公開(kāi)的技術(shù)方案進(jìn)行組合來(lái)形成新的技術(shù)特征。
[0238]工業(yè)h的可利用件
[0239]本發(fā)明能普遍利用于以外形為基準(zhǔn)、使探測(cè)器接觸檢查用端子來(lái)進(jìn)行檢查的基板檢查探測(cè)裝置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板檢查探測(cè)裝置，具備檢查單元，上述檢查單元具有與被檢查基板上的檢查用的端子部接觸的探測(cè)器，上述基板檢查探測(cè)裝置檢查上述端子部與上述探測(cè)器的導(dǎo)通，其特征在于， 具備多個(gè)探測(cè)器群，上述探測(cè)器群按照構(gòu)成上述端子部的多個(gè)端子彼此的排列間距而配置，上述探測(cè)器群彼此在端子的排列方向上錯(cuò)開(kāi)配置， 設(shè)有:連接狀態(tài)確認(rèn)部，其確認(rèn)上述多個(gè)探測(cè)器群中的至少I(mǎi)個(gè)探測(cè)器群的電連接狀態(tài)；以及 切換部，其針對(duì)各端子將與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群切換為其它探測(cè)器群。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 上述連接狀態(tài)確認(rèn)部在上述多個(gè)端子中的I個(gè)端子內(nèi)確認(rèn)規(guī)定的電連接狀態(tài)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 具備附設(shè)探測(cè)器，上述附設(shè)探測(cè)器附設(shè)于在確認(rèn)上述電連接狀態(tài)的I個(gè)端子上配置的不同的探測(cè)器群的探測(cè)器間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 上述連接狀態(tài)確認(rèn)部確認(rèn)上述多個(gè)端子中的2個(gè)端子間的規(guī)定的電連接狀態(tài)。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 上述切換部在由上述連接狀態(tài)確認(rèn)部未確認(rèn)到規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，切換與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 上述探測(cè)器的與上述端子的接觸部分的寬度小于相鄰的上述端子間的間隔。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的基板檢查探測(cè)裝置，其特征在于， 具備FPC， 上述探測(cè)器形成為上述FPC上的配線(xiàn)圖案，在該配線(xiàn)圖案中形成有凸塊。8.一種基板檢查方法，使設(shè)于檢查單元的探測(cè)器與被檢查基板上的檢查用的端子部接觸，檢查上述端子部與上述探測(cè)器的導(dǎo)通，其特征在于， 上述探測(cè)器包括按照構(gòu)成上述端子部的多個(gè)端子彼此的排列間距而配置的多個(gè)探測(cè)器群，上述探測(cè)器群彼此在端子的排列方向上錯(cuò)開(kāi)配置， 上述基板檢查方法包括:確認(rèn)工序，確認(rèn)上述多個(gè)探測(cè)器群中的至少I(mǎi)個(gè)探測(cè)器群的電連接狀態(tài)；以及 切換工序，針對(duì)各端子將與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群切換為其它探測(cè)器群， 在上述確認(rèn)工序中未確認(rèn)到規(guī)定的電連接狀態(tài)的情況下，在上述切換工序中切換與上述檢查單元電連接的探測(cè)器群。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢查方法，其特征在于， 在上述確認(rèn)工序中，在上述多個(gè)端子中的I端子內(nèi)確認(rèn)規(guī)定的電連接狀態(tài)。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢查方法，其特征在于， 在上述確認(rèn)工序中，確認(rèn)上述多個(gè)端子中的2個(gè)端子間的規(guī)定的電連接狀態(tài)。
【專(zhuān)利摘要】一種基板檢查探測(cè)裝置和基板檢查方法，在重新調(diào)整端子和探測(cè)器的相對(duì)位置時(shí)，不需要對(duì)準(zhǔn)用的CCD照相機(jī)、促動(dòng)機(jī)構(gòu)就可實(shí)現(xiàn)檢查?；鍣z查探測(cè)裝置具備與檢查用端子部(7)的構(gòu)成端子的排列間距對(duì)應(yīng)的探測(cè)器群(A、C)，探測(cè)器群(A、C)在端子的排列方向上錯(cuò)開(kāi)，設(shè)有測(cè)量檢查用端子部(7)的2個(gè)端子間的電阻值R的電阻測(cè)量部(12)，并且針對(duì)各端子設(shè)有切換開(kāi)關(guān)(11)。
【IPC分類(lèi)】G02F1/13
【公開(kāi)號(hào)】CN104950484
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510079222
【發(fā)明人】相良智行
【申請(qǐng)人】夏普株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年9月30日
【申請(qǐng)日】2015年2月13日