R之前開(kāi)始減速。S卩，從第一工作臺(tái)21上的基板S的移動(dòng)后方邊緣尚處于照射區(qū)域R內(nèi)的狀態(tài)起開(kāi)始減速。在該情況下，基板S的移動(dòng)方向后方邊緣附近的表面區(qū)域以比設(shè)定通過(guò)速度慢的速度通過(guò)，因此累計(jì)照射量變多，累計(jì)照射量的面內(nèi)均勻性降低。結(jié)果，光取向處理的面內(nèi)均勻性也降低。
[0132]因此，為了防止光取向處理的面內(nèi)均勻性降低，第一退避空間僅為第一工作臺(tái)21的長(zhǎng)度+避免碰撞用空間尚不夠，必須包含用于進(jìn)行從設(shè)定通過(guò)速度的減速的移動(dòng)路徑的量。若包含用于進(jìn)行減速的移動(dòng)路徑，則如圖5的(I)所示，即便在第一工作臺(tái)21上的基板S的移動(dòng)方向后方邊緣通過(guò)照射區(qū)域R后開(kāi)始減速，也能夠在掉頭位置停止，能夠防止光取向處理的面內(nèi)均勻性降低。
[0133]并且，在從掉頭位置朝照射區(qū)域R移動(dòng)的情況下也同樣。在從速度零達(dá)到設(shè)定通過(guò)速度為止的加速移動(dòng)的期間，由于尚不足設(shè)定通過(guò)速度，因此如圖6的(2)所示，若第一退避空間僅為第一工作臺(tái)21的長(zhǎng)度+避免碰撞用空間的量，則基板S的移動(dòng)方向前方邊緣附近的表面區(qū)域以不足設(shè)定通過(guò)速度的速度在照射區(qū)域R中局部移動(dòng)。因此，光取向處理的面內(nèi)均勻性降低。如圖6的⑴所示，若第一退避空間比第一工作臺(tái)21的寬度+避免碰撞用空間長(zhǎng)，設(shè)置有用于進(jìn)行加速的足夠長(zhǎng)度的移動(dòng)路徑，則能夠以在基板S的移動(dòng)方向前方邊緣到達(dá)照射區(qū)域R時(shí)達(dá)到設(shè)定通過(guò)速度的方式進(jìn)行速度控制，能夠防止光取向處理的面內(nèi)均勻性降低。此外，這樣的用于進(jìn)行減速的移動(dòng)路徑、用于進(jìn)行加速的移動(dòng)路徑在該說(shuō)明書(shū)中統(tǒng)稱為“速度緩沖路徑”。
[0134]以上是第一工作臺(tái)21的情況，但第二工作臺(tái)22的情況也僅方向相反，基本上是同樣的。
[0135]控制單元4如PLC那樣包括運(yùn)算處理部41、存儲(chǔ)部42，安裝有順序控制程序。順序控制程序是執(zhí)行包含上述的速度控制的順序的程序。圖7是示出控制單元4中的各工作臺(tái)21、22的移動(dòng)速度的順序控制的概略圖。
[0136]圖7的橫軸表示移動(dòng)方向的位置(移動(dòng)距離)，縱軸表示速度。在橫軸中，以基板搭載回收位置作為原點(diǎn)。此外，橫軸作為一個(gè)例子是基板S的移動(dòng)方向中央的點(diǎn)在移動(dòng)方向上的位置。
[0137]為了監(jiān)視基于如上所述的各工作臺(tái)21、22的移動(dòng)的基板S的搬運(yùn)，實(shí)施形態(tài)的裝置具備幾個(gè)傳感器。該點(diǎn)使用圖2進(jìn)行說(shuō)明。
[0138]首先，在各工作臺(tái)21、22內(nèi)，設(shè)置有檢測(cè)基板S的載置的傳感器(以下稱為基板傳感器)71。并且，在工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3中配置有:檢測(cè)第一工作臺(tái)21是否位于第一基板搭載回收位置的傳感器(以下稱為第一裝載位置傳感器)72 ;檢測(cè)第一工作臺(tái)21是否位于掉頭位置的傳感器(以下稱為第一掉頭位置傳感器)73 ;檢測(cè)第二工作臺(tái)22是否位于第二基板搭載回收位置的傳感器(以下稱為第二裝載位置傳感器)74 ;以及檢測(cè)第二工作臺(tái)22是否位于掉頭位置的傳感器(以下稱為第二掉頭位置傳感器)75。這些傳感器71?75的輸出被發(fā)送至控制單元4。各傳感器71?75能夠適當(dāng)?shù)剡x擇使用非接觸式傳感器、限位開(kāi)關(guān)那樣的機(jī)械式傳感器，或者光電傳感器等。
[0139]并且，實(shí)施方式的裝置具備調(diào)節(jié)基板S的位置、方向以便正確地進(jìn)行用于光取向的偏振光照射的基板對(duì)準(zhǔn)器6。如上所述，偏振元件14配置成對(duì)基板S照射偏振光軸朝向規(guī)定的方向的偏振光。作為該基準(zhǔn)選擇線性引導(dǎo)件31的長(zhǎng)度方向?；鍖?duì)準(zhǔn)器使得基板S相對(duì)于線性引導(dǎo)件31的長(zhǎng)度方向成為規(guī)定的姿態(tài)，確保光取向的方向性的精度。
[0140]圖8是示出基板對(duì)準(zhǔn)器6的概略的立體圖。在圖8中，作為一個(gè)例子示出設(shè)置于第一工作臺(tái)21的基板對(duì)準(zhǔn)器6，但第二工作臺(tái)22也同樣。
[0141]如圖8所示，第一工作臺(tái)21由固定基座20A和固定基座20A上的可動(dòng)基座20B等構(gòu)成。工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3是直接使固定基座20A移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
[0142]在可動(dòng)基座20B中設(shè)置有XY Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)62，使得可動(dòng)基座20B能夠在固定基座20A上沿ΧΥΘ的方向移動(dòng)。在載置于工作臺(tái)21、2221的基板S上施加有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記SI，基板對(duì)準(zhǔn)器6主要由拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記SI的對(duì)準(zhǔn)傳感器61、上述XY Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)62、以及根據(jù)來(lái)自對(duì)準(zhǔn)傳感器61的輸出對(duì)XY Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)62進(jìn)行控制的對(duì)準(zhǔn)用控制部63構(gòu)成。這樣的對(duì)準(zhǔn)控制部的結(jié)構(gòu)能夠與專利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的結(jié)構(gòu)相同，因此省略詳細(xì)的說(shuō)明。
[0143]接下來(lái)，使用圖9以及圖10對(duì)第一實(shí)施方式的光取向裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖9以及圖10是示出第一實(shí)施方式的光取向裝置的動(dòng)作的概略圖。以下的說(shuō)明也兼作為實(shí)施方式的光取向方法的說(shuō)明。
[0144]在裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始的初始狀態(tài)中，如圖9的⑴所示，第一工作臺(tái)21位于第一基板搭載回收位置，第二工作臺(tái)22位于第二基板搭載回收位置。在該狀態(tài)下，未圖示的機(jī)器人將基板S首先載置于第一工作臺(tái)21。若第一工作臺(tái)21內(nèi)的基板傳感器71檢測(cè)基板S的載置而將該信號(hào)發(fā)送至控制單元4，則順序程序使第一工作臺(tái)21上的基板S用的基板對(duì)準(zhǔn)器6動(dòng)作。結(jié)果，可動(dòng)基座20B沿ΧΥΘ方向移動(dòng)從而基板S的位置以及姿態(tài)成為規(guī)定的情形。
[0145]接下來(lái)，控制單元4朝工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3發(fā)送控制信號(hào)，如圖9的(I)中以箭頭所示，使第一工作臺(tái)21首先以設(shè)定搬運(yùn)速度前進(jìn)，即高速移動(dòng)。進(jìn)而，如圖9的(2)所示，在比第一工作臺(tái)21上的基板S到達(dá)照射區(qū)域R的位置稍靠近前的位置減速至設(shè)定通過(guò)速度，過(guò)渡至低速移動(dòng)?？刂茊卧? 一邊維持恒定的設(shè)定通過(guò)速度一邊使第一工作臺(tái)21通過(guò)照射區(qū)域R，如圖9的(3)所示，在第一工作臺(tái)21上的基板S的移動(dòng)方向后方邊緣通過(guò)照射區(qū)域R后，進(jìn)一步減速并在掉頭位置停止。
[0146]若利用第一掉頭位置傳感器73確認(rèn)第一工作臺(tái)21到達(dá)掉頭位置，則控制單元4使第一工作臺(tái)21掉頭，并使其以相反的順序朝相反的方向移動(dòng)。S卩，控制單元4在第一工作臺(tái)21上的基板S的移動(dòng)方向前方邊緣到達(dá)照射區(qū)域R之前使其達(dá)到設(shè)定通過(guò)速度，并使其以恒定的設(shè)定通過(guò)速度低速移動(dòng)。而且，如圖9的(4)所示，若第一工作臺(tái)21上的基板S的移動(dòng)方向后方邊緣通過(guò)照射區(qū)域R，則控制單元4使第一工作臺(tái)21加速而成為設(shè)定搬運(yùn)速度，使其過(guò)渡至高速移動(dòng)。之后，第一工作臺(tái)21在到達(dá)第一基板搭載回收位置后停止移動(dòng)。
[0147]在此期間，在第二基板搭載回收位置，進(jìn)行基板S朝第二工作臺(tái)22的搭載動(dòng)作。即，機(jī)器人利用來(lái)自控制單元4的控制信號(hào)而間隔規(guī)定的時(shí)間間隔將基板S載置于第二工作臺(tái)22。在第二工作臺(tái)22中，同樣在基板傳感器71確認(rèn)到基板S的載置后，控制單元4使第二工作臺(tái)22上的基板S用的基板對(duì)準(zhǔn)器6動(dòng)作而進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。如圖9的(4)所示，在第一工作臺(tái)21返回第一基板搭載回收位置時(shí)，第二工作臺(tái)22中的對(duì)準(zhǔn)結(jié)束。
[0148]接下來(lái)，控制單元4朝工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3發(fā)送控制信號(hào)，如圖9的(5)中以箭頭所示，使第二工作臺(tái)22首先以設(shè)定搬運(yùn)速度前進(jìn)、即高速移動(dòng)。進(jìn)而，如圖10的(I)所示，在比第二工作臺(tái)22上的基板S到達(dá)照射區(qū)域R的位置稍靠近前的位置減速至設(shè)定通過(guò)速度，并過(guò)渡至低速移動(dòng)。繼續(xù)以恒定的設(shè)定通過(guò)速度使第二工作臺(tái)22移動(dòng)，如圖10的(2)所示，在第一工作臺(tái)22上的基板S的移動(dòng)方向后方邊緣通過(guò)照射區(qū)域R后，使其進(jìn)一步減速而在第二掉頭位置停止。
[0149]若利用第二掉頭位置傳感器75確認(rèn)第二工作臺(tái)21到達(dá)掉頭位置，則控制單元4同樣使第二工作臺(tái)22掉頭，并使其以相反的順序朝相反的方向移動(dòng)。S卩，控制單元4在第二工作臺(tái)22上的基板S的移動(dòng)方向前方邊緣到達(dá)照射區(qū)域R之前使其達(dá)到設(shè)定通過(guò)速度，并使其以設(shè)定通過(guò)速度低速移動(dòng)。而且，如圖10的(3)所示，若第二工作臺(tái)22上的基板S的移動(dòng)方向后方邊緣通過(guò)照射區(qū)域R，則使第二工作臺(tái)22加速而成為設(shè)定搬運(yùn)速度，使其過(guò)渡至高速移動(dòng)。之后，第二工作臺(tái)22在到達(dá)第二基板搭載回收位置后停止移動(dòng)。
[0150]在此期間，在第一基板搭載回收位置，在利用第一裝載位置傳感器72確認(rèn)到第一工作臺(tái)21返回第一基板搭載回收位置后，進(jìn)行基板S從第一工作臺(tái)21的回收和下一基板S朝第一工作臺(tái)21的搭載。S卩，機(jī)器人從第一工作臺(tái)21將基板S除去，并將下一基板S搭載于第一工作臺(tái)21。
[0151]而且，如圖10的(4)所示，在第二工作臺(tái)22返回第二基板搭載回收位置時(shí)，成為下一基板S朝第一工作臺(tái)21的搭載動(dòng)作結(jié)束，且針對(duì)該基板S的對(duì)準(zhǔn)結(jié)束的狀態(tài)?？刂茊卧?再次朝工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3發(fā)送信號(hào)，在使第一工作臺(tái)21高速移動(dòng)后，如圖10的(5)所示在比照射區(qū)域R稍靠近前的位置使其過(guò)渡至低速移動(dòng)，并使其以恒定的設(shè)定通過(guò)速度通過(guò)照射區(qū)域R。
[0152]在此期間，在第二基板搭載回收位置，在利用第二裝載位置傳感器74確認(rèn)到第二工作臺(tái)22返回第二基板搭載回收位置后，進(jìn)行基板S朝第二工作臺(tái)22的回收、下一基板S朝第二工作臺(tái)22的搭載、第二工作臺(tái)22的對(duì)準(zhǔn)。
[0153]以后的動(dòng)作是同樣的，以裝置反復(fù)進(jìn)行這樣的動(dòng)作而在兩個(gè)工作臺(tái)21、22上交替地進(jìn)行光取向的方式對(duì)順序程序進(jìn)行編程。此外，基板S由AGV、輸送機(jī)那樣的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)至機(jī)器人，在進(jìn)行光取向后，利用搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)至用于進(jìn)行下一工序的裝置的位置。
[0154]根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作所涉及的實(shí)施方式的光取向裝置或者方法，通過(guò)使兩個(gè)工作臺(tái)21、22交替地通過(guò)照射有偏振光的照射區(qū)域R而對(duì)各工作臺(tái)21、22上的基板S照射偏振光，因此能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率高的光取向工序。此時(shí)，雖然設(shè)定通過(guò)速度是根據(jù)與所需的累計(jì)照射量之間的關(guān)系設(shè)定的，但照射區(qū)域R與基板搭載回收位置之間的移動(dòng)以比設(shè)定通過(guò)速度快的速度即設(shè)定搬運(yùn)速度進(jìn)行，因此能夠?qū)崿F(xiàn)縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間更短，且生產(chǎn)率高的光取向工序。
[0155]圖11是用于使得容易理解上述點(diǎn)的圖，是示出通過(guò)使設(shè)定搬運(yùn)速度比設(shè)定通過(guò)速度高而生產(chǎn)率進(jìn)一步提高這點(diǎn)的圖。其中，圖11的(I)示出設(shè)定搬運(yùn)速度>設(shè)定通過(guò)速度的情況(實(shí)施方式)下的生產(chǎn)間隔時(shí)間，圖11的(