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      一種多芯片共晶焊施壓裝置的制作方法

      文檔序號:11910342閱讀:983來源:國知局
      一種多芯片共晶焊施壓裝置的制作方法

      本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域,具體是一種多芯片共晶焊施壓裝置。



      背景技術(shù):

      多芯片,通常指兩個(gè)以上型號不同或大小或厚度不同的半導(dǎo)體裸芯片。為達(dá)到散熱或控制電路內(nèi)部氣氛,混合電路多芯片多采用共晶焊技術(shù),通過芯片、基板與其中間焊片的金屬共熔,達(dá)到常規(guī)芯片共晶焊接,在一塊厚膜基板上共晶焊大小、高低不同、數(shù)量多的半導(dǎo)體裸芯片是難點(diǎn)。

      芯片共晶焊主要分為擦動(dòng)共晶焊和加壓共晶焊兩種方式,加壓共晶焊,是借助于真空/氣氛爐,通過預(yù)熱、真空、進(jìn)氣、加溫、焊接、降溫、排氣等過程,設(shè)置相應(yīng)的溫度、氣氛控制曲線從而實(shí)現(xiàn)芯片共晶全過程,工藝過程不使用任何助焊劑,與擦動(dòng)共晶焊相比,焊料熔化后靠一定的壓力而不是摩擦力實(shí)現(xiàn)金屬間金屬共熔,由于芯片的大小厚度各不相同,所以此過程中如何進(jìn)行施壓是關(guān)鍵點(diǎn)和難點(diǎn)。

      目前,加壓共晶焊中采用彈簧針頂壓方法較多,此方法一般是在壓力模板上與每個(gè)芯片對應(yīng)位置定位固定彈簧針,加壓時(shí),壓力板通過彈簧針加壓到芯片表面,彈簧針的內(nèi)部彈簧的收縮不同補(bǔ)償了芯片的高低差異,使所用芯片都能接觸到針頭,并被施加到壓力,壓力產(chǎn)生大小與彈簧的收縮程度有關(guān),即與芯片高低有關(guān),而不與芯片的面積有關(guān),高芯片彈簧收縮大,受到的壓力大,同理,低芯片受到的壓力則小。然而實(shí)際上芯片的面積越大,則需要共晶焊壓力越大,彈簧針頂壓加壓方式,常出現(xiàn)厚度大、面積小芯片過壓壓傷,而厚度小、面積大芯片欠壓焊接情況,并且彈簧針金屬端頭高溫下也特別容易壓傷芯片。

      如果每個(gè)芯片采用分立單壓塊施壓,即分壓法,壓塊采用石墨塊或銅塊等,為達(dá)到一定加壓重量則需要較大體積,不適宜多芯片高密度集成,且重量塊硬度大,高溫下易損傷芯片表面?!痘旌想娐坊迮c外殼共晶焊技術(shù)——電子與封裝》第7卷第8期提出了一種襯底共晶焊夾具裝置,該裝置在上模板上開有圓孔,可以插入導(dǎo)柱壓塊,導(dǎo)柱壓塊透過上模板施加焊接壓力到器件上,此裝置中導(dǎo)柱壓塊與上模板不是一體的,焊接壓力靠一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)柱壓塊的自身重力加壓到焊接元件上,如果用于多芯片共晶焊,同樣因壓塊體積大,不適宜高密度集成,且壓塊放置后,易滑動(dòng)帶來芯片表面損傷。另外如果對多芯片采用溫度梯度法焊接,即先采用溫度高的焊料共晶,再對溫度低的焊料共晶,電路多次進(jìn)爐,會(huì)造成芯片多次受熱,影響可靠性,且此種焊接,焊料使用多、過程復(fù)雜。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的在于提供一種多芯片共晶焊施壓裝置,該裝置能夠?qū)Ω鱾€(gè)芯片施加同樣的壓力,保證共晶焊的效果。

      本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:

      一種多芯片共晶焊施壓裝置,包括石墨夾具、不銹鋼定位夾片與壓力板,不銹鋼定位夾片上設(shè)有一組與待焊芯片相適應(yīng)的焊槽,其特征在于,所述壓力板的底面設(shè)有一組壓力塊,各個(gè)壓力塊與所述焊槽形成對應(yīng)配合,每個(gè)壓力塊的高度分別與各自對應(yīng)配合的待焊芯片高度相適應(yīng)。

      本發(fā)明的有益效果是,在壓力板底部設(shè)置能夠與焊槽形成對應(yīng)配合的壓力塊,使壓力塊和待焊芯片一一對應(yīng),并且壓力塊的高度分別與各自對應(yīng)配合的待焊芯片高度相適應(yīng),也即令每一組相配合的壓力塊與待焊芯片高度之和均相同,

      從而保證壓力板保持在水平位置,使得每個(gè)壓力塊均能夠與各自配合的待焊芯片完全接觸;另外,由于每一組相配合的壓力塊與待焊芯片高度之和均相同,從而保證在施壓時(shí),所有的待焊芯片均同時(shí)受力,也即通過不同高度的壓力塊對芯片的不同高度進(jìn)行補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)共壓。

      附圖說明

      下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明:

      圖1是本發(fā)明實(shí)施例的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是圖1中壓力板的仰視立體圖;

      圖3是本發(fā)明中壓力塊與待焊芯片的放大配合示意圖。

      具體實(shí)施方式

      如圖1所示,本發(fā)明提供的一種多芯片共晶焊施壓裝置,包括石墨夾具1、不銹鋼定位夾片2與壓力板3,不銹鋼定位夾片2上設(shè)有與石墨夾具1的定位柱1a相配合的第一定位孔2a,壓力板3上設(shè)有與定位柱1a相配合的第二定位孔3a;不銹鋼定位夾片2上還設(shè)有一組與多個(gè)待焊芯片相適應(yīng)的焊槽2b。

      結(jié)合圖2所示,壓力板3的底面設(shè)有一組呈長方體的壓力塊7,各個(gè)壓力塊與所述焊槽形成對應(yīng)配合,每個(gè)壓力塊的高度分別與各自對應(yīng)配合的待焊芯片高度相適應(yīng);壓力塊7也可以設(shè)置成圓柱體、棱柱等多種形式,不拘泥與長方體。

      使用時(shí),將混合電路基板4置于石墨夾具1內(nèi),再將不銹鋼定位夾片2固定安裝于混合電路基板4的上方,并通過石墨夾具1的定位柱1a定位,再將多個(gè)待焊芯片5與焊料片6分別置于相適應(yīng)的焊槽2b內(nèi);然后再安裝壓力板1,由第二定位孔3a與定位柱1a的配合實(shí)現(xiàn)定位;此時(shí),每個(gè)壓力塊的底面均與各自對應(yīng)的待焊芯片完全接觸。

      結(jié)合圖3所示,以其中兩個(gè)壓力塊為例具體說明壓力塊與待焊芯片的配合,第一壓力塊7a下方依次為第一待焊芯片5a與第一焊料片6a,第二壓力塊7b下方依次為第二待焊芯片5b與第二焊料片6b,由于第一待焊芯片5a的高度大于第二待焊芯片5b的高度,所以為了使第一壓力塊7a與第二壓力塊7b能夠同時(shí)與各自對應(yīng)的待焊芯片形成配合,那么在設(shè)計(jì)時(shí)使第一壓力塊7a的高度小于第二壓力塊7b的高度,并且第一壓力塊7a及第一待焊芯片5a的高度之和等于第二壓力塊7b及第二待焊芯片5b的高度之和,其它的壓力塊與待焊芯片以此類推,從而使壓力塊的高度分別與各自對應(yīng)配合的待焊芯片高度相適應(yīng),也即令每一組相配合的壓力塊與待焊芯片高度之和均相同,從而保證壓力板1保持在水平位置,使得每個(gè)壓力塊均能夠與各自配合的待焊芯片完全接觸;根據(jù)多芯片面積總和,選擇適合重量的砝碼,將其放到壓力板1上,最后,將組合件放入真空/氣氛爐,設(shè)置溫度曲線完成共晶焊。

      由于每一組相配合的壓力塊與待焊芯片高度之和均相同,從而保證在施壓時(shí),所有的待焊芯片均同時(shí)受力,也即通過不同高度的壓力塊對芯片的不同高度進(jìn)行補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)共壓。

      以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非對本發(fā)明作任何形式上的限制;任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾,或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此,凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同替換、等效變化及修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。

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