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      不良芯粒標(biāo)記裝置及方法與流程

      文檔序號:12552221閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種不良芯粒標(biāo)記裝置,其特征在于,包括:

      載臺,所述載臺用于承載多個芯粒;

      激光打標(biāo)機構(gòu),正對于所述載臺,所述激光打標(biāo)機構(gòu)包括激光發(fā)生器、振鏡及聚焦鏡;

      其中,多個所述芯??山?jīng)過全自動光學(xué)檢測以確定不良芯粒的位置,所述激光發(fā)生器能夠發(fā)出激光,所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光經(jīng)過所述振鏡的調(diào)節(jié)將激光聚焦點移至所述不良芯粒的位置,并通過所述聚焦鏡的聚焦,以對所述不良芯粒進(jìn)行打標(biāo)。

      2.一種不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,包括以下步驟:

      提供權(quán)利要求1所述的不良芯粒標(biāo)記裝置;

      獲取經(jīng)過全自動光學(xué)檢測的所述不良芯粒的位置信息;

      所述激光發(fā)生器發(fā)出激光,所述激光發(fā)生器發(fā)出的激光經(jīng)過所述振鏡的調(diào)節(jié)將激光聚焦點移至所述不良芯粒的位置,并通過所述聚焦鏡的聚焦,以對所述不良芯粒進(jìn)行打標(biāo)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,在所述獲取經(jīng)過全自動光學(xué)檢測的所述不良芯粒的位置信息的步驟之前,還包括步驟:

      通過全自動光學(xué)檢測多個所述芯粒,以確定所述不良芯粒,并確定所述不良芯粒的位置信息。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,在所述獲取經(jīng)過全自動光學(xué)檢測的所述不良芯粒的位置信息的步驟之前,還包括步驟:

      再次對多個所述芯粒進(jìn)行掃描以確定所述不良芯粒的位置信息。

      5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,所述不良芯粒的位置信息為所述不良芯粒的坐標(biāo)值。

      6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,所述激光發(fā)生器發(fā)出激光為紫外激光,波長為355nm,單點能量范圍是1~100uj。

      7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,對所述不良芯粒進(jìn)行打標(biāo)的方式為對所述不良芯粒的電極進(jìn)行打標(biāo)。

      8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良芯粒標(biāo)記方法,其特征在于,多個所述芯粒均貼合于藍(lán)膜上,并通過所述藍(lán)膜放置于所述載臺上。

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