1.一種鉻鉬靶材的制造方法，其特征在于，包括：
提供鉻粉和鉬粉；
將所述鉻粉和所述鉬粉進(jìn)行混合，形成混合粉末；
采用保溫溫度為1300℃～1400℃的真空熱壓工藝將所述混合粉末制成鉻鉬靶材坯料；
將所述鉻鉬靶材坯料制成鉻鉬靶材。
2.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，提供鉻粉和鉬粉的步驟包括：所述鉬粉粒度在2μm～3μm之間；所述鉻粉粒度為小于45μm。
3.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成混合粉末的步驟包括：采用干混工藝將所述鉻粉和所述鉬粉進(jìn)行混合，形成混合粉末。
4.如權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述干混工藝中采用鉬球作為研磨介質(zhì)球。
5.如權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述干混工藝中所述研磨介質(zhì)球和混合粉末的球料質(zhì)量比為3:10～5:10。
6.如權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述干混工藝的混合時(shí)間為不小于24小時(shí)。
7.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成混合粉末的步驟之后，采用保溫溫度為1300℃～1400℃的真空熱壓工藝將所述混合粉末制成鉻鉬靶材坯料的步驟之前，所述制造方法還包括：
將混合粉末放入模具中；
將混合粉末在模具內(nèi)壓實(shí)以形成生坯。
8.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，將混合粉末放入模具中的步驟包括：所述模具為石墨模具。
9.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，將混合粉末放入模具中的步驟包括：所述混合粉末的表面平面度小于2mm。
10.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，將混合粉末在模具內(nèi)壓實(shí)以 形成生坯的步驟包括：人工用壓柱將混合粉末在模具內(nèi)壓實(shí)以形成生坯。
11.如權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于，將混合粉末在模具內(nèi)壓實(shí)以形成生坯的步驟包括：壓實(shí)后所形成的生坯的表面平面度小于1mm。
12.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，采用保溫溫度為1300℃～1400℃的真空熱壓工藝將所述混合粉末制成鉻鉬靶材坯料的步驟包括：
抽真空至真空度在100Pa以下；
對(duì)所述生坯升溫至間歇溫度并進(jìn)行保溫；
繼續(xù)升溫至1300℃～1400℃的保溫溫度并加壓至保壓壓強(qiáng)并進(jìn)行保溫保壓，以獲得鉻鉬靶材坯料。
13.如權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，對(duì)所述生坯升溫至間歇溫度并進(jìn)行保溫的步驟包括：升溫速度為8～12℃/min，所述間歇溫度為1000℃～1100℃。
14.如權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，對(duì)所述生坯升溫至間歇溫度并進(jìn)行保溫的步驟包括：溫度維持在1000℃～1100℃，保溫時(shí)間為1到2小時(shí)。
15.如權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，繼續(xù)升溫至1300℃～1400℃的保溫溫度并加壓至保壓壓強(qiáng)并進(jìn)行保溫保壓的步驟包括：升溫速度為3～7℃/min，加壓速度為2t/min～3t/min，保壓壓強(qiáng)為20MPa～30MPa。
16.如權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，繼續(xù)升溫至1300℃～1400℃的保溫溫度并加壓至保壓壓強(qiáng)并進(jìn)行保溫保壓的步驟包括：維持保溫溫度和保壓壓強(qiáng)，保溫保壓的時(shí)間為1到3小時(shí)。
17.如權(quán)利要求12所述的制造方法，其特征在于，繼續(xù)升溫至1300℃～1400℃的保溫溫度并加壓至保壓壓強(qiáng)并進(jìn)行保溫保壓，以獲得鉻鉬靶材坯料的步驟還包括：使所述鉻鉬靶材坯料冷卻，待溫度降至200℃后，獲得鉻鉬靶材坯料。
18.如權(quán)利要求17所述的制造方法，其特征在于，使所述鉻鉬靶材坯料冷卻的步驟之后，獲得鉻鉬靶材坯料的步驟之前，所述制造方法還包括：充入惰 性氣體至相對(duì)壓強(qiáng)為-0.06MPa～-0.08MPa。
19.如權(quán)利要求18所述的制造方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。
20.如權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，將所述鉻鉬靶材坯料制成鉻鉬靶材的步驟包括：對(duì)所述鉻鉬靶材坯料進(jìn)行機(jī)械加工，以使所述鉻鉬靶材符合設(shè)計(jì)規(guī)格。