1.一種側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，包括上盤體、下盤體以及位于上盤體與下盤體之間的設(shè)置穩(wěn)流板將孔溫盤分為上下兩個(gè)腔室，其中上腔室為熱媒循環(huán)空腔，下腔室為穩(wěn)流室，上盤體上設(shè)置多個(gè)熱傳導(dǎo)氣體孔，每個(gè)氣熱傳導(dǎo)氣體孔通過管件通入至穩(wěn)流室內(nèi)，在上盤體上均勻設(shè)置有抽氣孔通入至穩(wěn)流室內(nèi)，下盤體上設(shè)置熱傳導(dǎo)氣體進(jìn)氣孔通入至穩(wěn)流室內(nèi)。
2.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，所述熱傳導(dǎo)氣體孔在上盤體上以上盤體圓心為中心向外發(fā)散將上盤體均勻分為4～8塊。
3.按照權(quán)利要求2所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，上盤體分成的4～8塊部分上，均設(shè)置一個(gè)抽氣孔。
4.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，上盤體的下表面的邊緣具有凸臺(tái)，下盤體的上表面具有凸臺(tái)，下盤體通過其自身的凸臺(tái)與穩(wěn)流板焊接后再與上盤體的凸臺(tái)焊接。
5.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，所述穩(wěn)流板上開設(shè)與抽氣孔對(duì)應(yīng)的穩(wěn)流板抽氣孔，穩(wěn)流板對(duì)應(yīng)熱媒循環(huán)空腔的盤面打孔后透入到穩(wěn)流室，再由穩(wěn)流板的圓柱面沿徑向打孔，與盤面打的孔交匯，形成直角通道。
6.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，在上盤體上設(shè)置上盤體中心凸臺(tái)，所示上盤體中心凸臺(tái)上開設(shè)上盤體媒介進(jìn)口端、上盤體媒介出口端與熱媒循環(huán)空腔相通，在下盤體上設(shè)置下盤體中心凸臺(tái)，所示下盤體中心凸臺(tái)上開設(shè)進(jìn)口通道與出口通道通過穩(wěn)流板上相應(yīng)的開口后分別與上盤體中心凸臺(tái)上開設(shè)的上盤體媒介進(jìn)口端與上盤體媒介出口端相通。
7.按照權(quán)利要求6所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，在所述下盤體中心凸臺(tái)上開設(shè)熱傳導(dǎo)氣體進(jìn)氣孔。
8.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，所述熱傳導(dǎo)氣體孔成“米”字分布、在“米”字分布的熱傳導(dǎo)氣體孔之間分布有8個(gè)抽 氣孔。
9.按照權(quán)利要求6所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，在上盤體中心凸臺(tái)以及下盤體中心凸臺(tái)中設(shè)置熱電偶螺紋孔，從控溫盤外部通過熱電偶螺紋孔將熱電偶通入至于上盤體接觸。
10.按照權(quán)利要求1所述的側(cè)抽氣孔式空腔控溫盤，其特征在于，上盤體、下盤體以及穩(wěn)流板三者之間通過陶瓷柱貫穿后通過固定螺母固定。