1.一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)，其特征在于，由磁控濺射裝置和反饋控制裝置組成，磁控濺射裝置包括反應(yīng)氣體存儲(chǔ)裝置(1)和真空室(4)，反應(yīng)氣體存儲(chǔ)裝置(1)通過(guò)導(dǎo)氣管和真空室(4)連通，真空室(4)內(nèi)設(shè)有磁電管(8)，磁電管(8)上設(shè)有放電等離子體(3)；反饋控制裝置由光探頭(11)、光譜儀(10)、控制器(9)和電磁閥(2)組成，光探頭(11)位于所述真空室(4)內(nèi)，光譜儀(10)通過(guò)光纖(5)和光探頭(11)相連，控制器(9)和光譜儀(10)電連接，控制器(9)和電磁閥(2)電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)，其特征在于，光譜儀(10)包括單色儀(6)和光電倍增器(7)，光探頭(11)和單色儀(6)通過(guò)光纖(5)相連，單色儀(6)和光電倍增器(7)通過(guò)光纖(5)相連，光電倍增器(7)和所述控制器(9)電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)，其特征在于，所述電磁閥(2)的型號(hào)為：ZCK。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)，其特征在于，所述光譜儀(10)具有顯示屏。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器(9)上具備串口RS232/485的通訊接口。
6.權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，用于控制反應(yīng)磁控濺射法鍍膜時(shí)反應(yīng)氣體的噴射速率，包括下述方法：通過(guò)光探頭(11)采集真空室(4)內(nèi)濺射過(guò)程中發(fā)出的光線，光探頭(11)將采集到的光線導(dǎo)向單色儀(6)，單色儀(6)將采集到的光線過(guò)濾成單色光；通過(guò)光電倍增器(7)將單色光轉(zhuǎn)換放大為電信號(hào)，然后將所述電信號(hào)發(fā)送給控制器(9)；控制器(9)根據(jù)收到的電信號(hào)控制電磁閥(2)開啟、關(guān)閉、增大開度或減小開度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種磁控濺射反應(yīng)氣氛自反饋控制系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，通過(guò)光譜儀(10)的顯示屏顯示所述采集到的光線的光強(qiáng)信號(hào)設(shè)定值、實(shí)際值、光電倍增器(7)高壓輸出電壓值以及設(shè)定值與實(shí)際值的偏差。