1.一種防信號干擾裝置，適用于物理氣相沉積腔體，所述物理汽相淀積腔體內(nèi)設(shè)有靜電吸盤裝置，所述靜電吸盤裝置的底部連接有入水管、出水管、氣管以及電源線；其特征在于，所述防信號干擾裝置包括：由預(yù)定材質(zhì)制成的實心的主體，所述主體具有上表面和下表面，所述主體通過所述上表面連接在所述靜電吸盤裝置的底部，所述主體上設(shè)有分別與所述入水管、所述出水管、所述氣管以及所述電源線相配合的入水管孔道、出水管孔道、氣管孔道以及電源孔道，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述氣管孔道以及所述電源孔道之間互不連通且分別貫穿所述上表面和所述下表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述上表面上設(shè)有與所述靜電吸盤的底部相配合的凹槽，所述主體通過所述凹槽安裝在所述靜電吸盤的底部，所述凹槽分別與所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述氣管孔道以及所述電源孔道連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述主體還包括連接所述上表面和所述下表面的側(cè)面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述主體為柱型結(jié)構(gòu)，所述上表面和所述下表面平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述側(cè)面為圓柱面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述主體上還設(shè)有連接孔道，所述連接孔道一端開口設(shè)于所述側(cè)面上，另一端開口與所述電源孔道連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述連接孔道與所述電源孔道垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述氣管孔道以及所述電源孔道之間相互平行。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述氣管孔道以及所述電源孔道分別垂直于所述上表面以及所述下表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防信號干擾裝置，其特征在于，所述預(yù)定材質(zhì)為防火且不導(dǎo)電材質(zhì)。