1.一種MOCVD設(shè)備，包括設(shè)置有加熱裝置（8）和噴淋裝置（7）的反應(yīng)腔室（6），以用于帶材（10）的氣相外延生長，其特征在于，還包括位于反應(yīng)腔室（6）左側(cè)的左腔室（1）和位于反應(yīng)腔室（6）右側(cè)的右腔室（14）；
其中，左腔室（1）和右腔室（14）其一內(nèi)設(shè)放料盤（2），另一內(nèi)設(shè)收料盤（13），并且左腔室（1）和右腔室（14）通過水平的過渡腔室與所述反應(yīng)腔室（6）連通，從而帶材（10）從放料盤（2）放料穿越反應(yīng)腔室（6）及相應(yīng)的過渡腔室后由收料盤（13）收料；
反應(yīng)腔室（6），以及左腔室（1）和右腔室（14）均具有前側(cè)門板，前側(cè)門板與相應(yīng)腔室的門框氣密封接合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，所述放料盤（2）和收料盤（13）的軸線在相同水平面上，該水平面為過渡腔室的水平中剖面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，在放料盤（2）的放料側(cè)設(shè)有放料導向滾輪（3），而在收料盤（13）的收料側(cè)則設(shè)有收料導向滾輪（12）；
放料導向滾輪（3）的軸線和收料導向滾輪（12）的軸線位于同一水平面，而所述水平中剖面為放料導向滾輪（3）和收料導向滾輪（12）的上共切面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，于帶材方向上，在所述反應(yīng)腔室（6）的內(nèi)部兩端還設(shè)有用于托持帶材（10）的至少各一個托輪（5、9）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，兩托輪間設(shè)有在帶材（10）寬度方向約束帶材（10）的約束結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，所述約束結(jié)構(gòu)包括豎直的約束板和垂直于約束板的導柱、對導柱進行導引的導柱支架，以套在導柱上以對約束板提供寬度方向上的彈力的彈簧。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，所述加熱裝置（8）和噴淋裝置（7）均位于反應(yīng)腔室（6）內(nèi)，且加熱裝置（8）位于過渡腔室水平中剖面的下側(cè)，而噴淋裝置（7）則位于過渡腔室水平中剖面的上側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的MOCVD設(shè)備，其特征在于，驅(qū)動放料盤（2）的放料電機（15）位于左腔室（1）的外面，而驅(qū)動收料盤（13）的收料電機（16）位于右腔室（14）的外面。