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      一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法與流程

      文檔序號:12699090閱讀:497來源:國知局
      一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法與流程

      技術領域:

      本發(fā)明涉及一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法。



      背景技術:

      目前蒸鍍用掩膜板由于自身重力的原因,水平放置時會因為重力的作用發(fā)生下垂,隨著掩膜板尺寸越大,下垂的情況越嚴重,從而嚴重影響蒸鍍精度,導致大量產(chǎn)品不良。



      技術實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明提供一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其能夠克服現(xiàn)有蒸鍍用掩膜板由于自身重力的原因,水平放置時會因為重力的作用發(fā)生下垂的缺陷。

      本發(fā)明采用如下技術方案:一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,包括如下步驟:

      步驟一:將基板、與基板緊貼于一起且位于基板下方的蒸鍍掩膜板、以及磁鐵設置于腔室中,其中磁鐵放置于腔室底部,基板和蒸鍍掩膜板放置于磁鐵的上方且與磁鐵相間隔開;

      步驟二:將蒸鍍掩膜板底部的磁性和磁鐵頂部的磁極設置為相同的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間同性相斥,磁鐵對蒸鍍掩膜板整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板因重力導致的變形。

      本還發(fā)明采用如下技術方案:一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,包括如下步驟:

      步驟一:將基板、與基板緊貼于一起且位于基板下方的蒸鍍掩膜板、以及磁鐵設置于腔室中,其中磁鐵放置于腔室頂部,基板和蒸鍍掩膜板放置于磁鐵的下方且與磁鐵相間隔開;

      步驟二:將基板頂部的磁性和磁鐵底部的磁極設置為相反的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間異性相吸,磁鐵對蒸鍍掩膜板整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板因重力導致的變形。

      本發(fā)明具有如下有益效果:本發(fā)明利用磁性材料制作蒸鍍掩膜板,同時在腔室底部(或頂部)安裝磁性材料,利用磁性材料同極相斥、異極相吸的原理,來減小因重力導致的掩膜板變形。

      附圖說明:

      圖1為本發(fā)明第一實施例的示意圖。

      圖2為本發(fā)明第二實施例的示意圖。

      具體實施方式:

      請參照圖1所示,本發(fā)明第一實施例減小蒸鍍掩膜板變形的方法包括如下步驟:

      步驟一:將基板1、與基板1緊貼于一起且位于基板1下方的蒸鍍掩膜板2、以及磁鐵3設置于腔室中,其中磁鐵3放置于腔室底部,基板1和蒸鍍掩膜板2放置于磁鐵3的上方且與磁鐵3相間隔開;

      步驟二:將蒸鍍掩膜板2底部的磁性和磁鐵3頂部的磁極設置為相同的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間同性相斥,磁鐵3對蒸鍍掩膜板2整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板2的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板2因重力導致的變形。

      請參照圖2所示,本發(fā)明第二實施例減小蒸鍍掩膜板變形的方法包括如下步驟:

      步驟一:將基板1、與基板1緊貼于一起且位于基板1下方的蒸鍍掩膜板2、以及磁鐵3設置于腔室中,其中磁鐵3放置于腔室頂部,基板1和蒸鍍掩膜板2放置于磁鐵3的下方且與磁鐵3相間隔開;

      步驟二:將基板1頂部的磁性和磁鐵3底部的磁極設置為相反的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間異性相吸,磁鐵3對蒸鍍掩膜板2整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板2的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板2因重力導致的變形。

      以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下還可以作出若干改進,這些改進也應視為本發(fā)明的保護范圍。

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