1.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟
步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室底部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的上方且與磁鐵(3)相間隔開;
步驟二:將蒸鍍掩膜板(2)底部的磁性和磁鐵(3)頂部的磁極設(shè)置為相同的磁極;
步驟三:根據(jù)磁極之間同性相斥,磁鐵(3)對蒸鍍掩膜板(2)整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。
2.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟
步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室頂部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的下方且與磁鐵(3)相間隔開;
步驟二:將基板(1)頂部的磁性和磁鐵(3)底部的磁極設(shè)置為相反的磁極;
步驟三:根據(jù)磁極之間異性相吸,磁鐵(3)對蒸鍍掩膜板(2)整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。