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      一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法與流程

      文檔序號:12699090閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟

      步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室底部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的上方且與磁鐵(3)相間隔開;

      步驟二:將蒸鍍掩膜板(2)底部的磁性和磁鐵(3)頂部的磁極設(shè)置為相同的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間同性相斥,磁鐵(3)對蒸鍍掩膜板(2)整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。

      2.一種減小蒸鍍掩膜板變形的方法,其特征在于:包括如下步驟

      步驟一:將基板(1)、與基板(1)緊貼于一起且位于基板(1)下方的蒸鍍掩膜板(2)、以及磁鐵(3)設(shè)置于腔室中,其中磁鐵(3)放置于腔室頂部,基板(1)和蒸鍍掩膜板(2)放置于磁鐵(3)的下方且與磁鐵(3)相間隔開;

      步驟二:將基板(1)頂部的磁性和磁鐵(3)底部的磁極設(shè)置為相反的磁極;

      步驟三:根據(jù)磁極之間異性相吸,磁鐵(3)對蒸鍍掩膜板(2)整體有個向上的無形抬力來對沖重力對蒸鍍掩膜板(2)的引力,從而極大的較少蒸鍍掩膜板(2)因重力導(dǎo)致的變形。

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