技術總結
一種微小平面零件的無切割自成型方法，它涉及一種用于激光慣性約束聚變實驗研究用平面微小零(靶)件的無切割自成型制備方法。本發(fā)明目的是為了解決慣性約束聚變靶微小平面零件制造存在的二次精密加工技術難題。方法：一、利用預制圖形的Si基片鍍脫模劑，即得到鍍脫模劑的模板；二、采用沉積法在鍍脫模劑的模板上制備微小平面零件材料薄膜，得到沉積微小平面零件材料薄膜的模板；三、脫模：釋放沉積微小平面零件材料薄膜的模板表面的微小平面零件薄膜，即得到微小平面零件。優(yōu)點：規(guī)避平微小面尺寸二次加工技術難題；適用范圍非常廣；可批量生產，重復精度高；模板可重復使用，成本低。本發(fā)明主要用于加工微小平面零件。

技術研發(fā)人員：易泰民;邢丕峰;鄭鳳成;楊蒙生;王紅蓮;柯博;趙利平;謝軍;李翠;高莎莎;李寧
受保護的技術使用者：中國工程物理研究院激光聚變研究中心
文檔號碼：201710175459
技術研發(fā)日：2017.03.22
技術公布日：2017.06.27