本發(fā)明涉及石英坩堝生產(chǎn)，具體為一種石英坩堝鍍膜裝置。

背景技術(shù)：

1、在石英坩堝的鍍膜工藝中，現(xiàn)有技術(shù)通常采用固定坩堝支架與簡單的噴涂系統(tǒng)來進行表面鍍膜。然而，這類傳統(tǒng)裝置存在顯著的局限性。首先，由于支架結(jié)構(gòu)固定，坩堝在鍍膜過程中僅能在有限的方向上進行噴涂，導(dǎo)致鍍膜材料無法均勻覆蓋坩堝的所有表面區(qū)域，常常出現(xiàn)鍍膜層厚度不均的現(xiàn)象，進而影響坩堝的使用性能和鍍膜層的質(zhì)量穩(wěn)定性。特別是在對鍍膜均勻性要求較高的應(yīng)用中，傳統(tǒng)設(shè)備的能力明顯不足。

2、其次，傳統(tǒng)裝置的操作大多依賴人工干預(yù)進行坩堝位置的調(diào)整和噴涂角度的控制，自動化水平較低。由于手動操作的復(fù)雜性和人為誤差，鍍膜過程的精確度和一致性難以得到有效保障，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量不易提升。此外，現(xiàn)有技術(shù)在真空環(huán)境、氣體供給以及加熱控制系統(tǒng)方面的調(diào)控精度較低，無法根據(jù)實際工藝要求進行實時、精細的自動調(diào)整，難以滿足復(fù)雜鍍膜工藝對多參數(shù)調(diào)控的需求，導(dǎo)致整體工藝的靈活性和穩(wěn)定性不足。

3、盡管一些改進方案通過增加旋轉(zhuǎn)支架或調(diào)整噴涂系統(tǒng)的角度以提升鍍膜均勻性，但現(xiàn)有技術(shù)在多軸控制、自動化程度和工藝參數(shù)精確控制等方面仍存在諸多不足，難以適應(yīng)高要求的鍍膜應(yīng)用場景，有鑒于此，針對現(xiàn)有的問題予以研究改良，提供一種石英坩堝鍍膜裝置，來解決目前存在的問題，旨在通過該技術(shù)，達到解決問題與提高實用價值性的目的。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)或相關(guān)技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

2、為此，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：一種石英坩堝鍍膜裝置，包括：包括：噴鍍艙、噴涂組件和多維坩堝支架，所述噴涂組件與多維坩堝支架均固定設(shè)置于噴鍍艙的內(nèi)部；

3、所述噴鍍艙的表面設(shè)有：真空及排氣系統(tǒng)，用于對噴鍍艙內(nèi)進行抽氣，達到預(yù)定的真空度，并排放鍍膜過程中產(chǎn)生的廢氣；

4、氣體供給系統(tǒng)，與噴涂組件的輸入端連通，用于提供鍍膜過程中所需的反應(yīng)氣體，并精確控制氣體流量與比例；

5、氣氛加熱系統(tǒng)，用于為鍍膜過程提供恒定且均勻的溫度環(huán)境，確保腔室內(nèi)溫度的穩(wěn)定性；

6、控制系統(tǒng)，用于監(jiān)控和調(diào)控鍍膜過程中各項參數(shù)，包括溫度、壓力、氣體流量以及坩堝和噴涂組件的運動狀態(tài)；

7、可視窗口，設(shè)置于噴鍍艙表面，用于觀察鍍膜過程中的艙內(nèi)運行狀態(tài)

8、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述噴涂組件包括：固定架、噴頭和驅(qū)動電機，所述固定架的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有軸桿；

9、其中，所述固定架固定安裝于噴鍍艙的內(nèi)壁，所述軸桿兩端與固定架內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接，噴頭固定設(shè)置在軸桿表面，所述噴頭的表面設(shè)有聯(lián)擺桿，驅(qū)動電機通過曲柄機構(gòu)連接聯(lián)擺桿進而帶動軸桿進行偏轉(zhuǎn)，使噴頭在固定架內(nèi)側(cè)實現(xiàn)往復(fù)擺動。

10、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述多維坩堝支架包括傳動舵臺、轉(zhuǎn)臺齒盤和傳動齒軸以及固定于傳動舵臺表面的第一驅(qū)動電機和第二驅(qū)動電機，所述轉(zhuǎn)臺齒盤轉(zhuǎn)動安裝于傳動舵臺的頂面，所述傳動齒軸轉(zhuǎn)動套接于傳動舵臺的表面且與轉(zhuǎn)臺齒盤的外周傳動嚙合，所述第二驅(qū)動電機的輸出端設(shè)有與傳動齒軸表面?zhèn)鲃訃Ш系奈仐U，所述轉(zhuǎn)臺齒盤的表面固定安裝有軸架，所述轉(zhuǎn)臺齒盤的表面轉(zhuǎn)動安裝有傳動鍵軸，多爪夾盤旋轉(zhuǎn)安裝于軸架軸架表面且一側(cè)設(shè)有與傳動鍵軸表面?zhèn)鲃訃Ш系凝X盤，傳動鍵軸的底端與第一驅(qū)動電機的輸出端傳動嚙合，第一驅(qū)動電機第一驅(qū)動電機通過傳動鍵軸驅(qū)動多爪夾盤在水平軸向旋轉(zhuǎn)，第二驅(qū)動電機第二驅(qū)動電機通過傳動齒軸傳動齒軸及轉(zhuǎn)臺齒盤轉(zhuǎn)臺齒盤驅(qū)動軸架軸架和多爪夾盤在豎直軸向旋轉(zhuǎn)。

11、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述多爪夾盤包括：定盤座、轉(zhuǎn)盤和若干夾爪桿夾爪桿；其中，所述轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)安裝于定盤座上，定盤座和轉(zhuǎn)盤表面均設(shè)有多個導(dǎo)槽導(dǎo)槽，且定盤座和轉(zhuǎn)盤表面導(dǎo)槽導(dǎo)槽布置方向相反，夾爪桿夾爪桿滑動套接于定盤座和轉(zhuǎn)盤表面的導(dǎo)槽內(nèi)側(cè)，用于夾持石英坩堝；通過轉(zhuǎn)盤在定盤座表面的偏轉(zhuǎn)運動，由兩個反向的導(dǎo)槽實現(xiàn)多爪夾盤在轉(zhuǎn)盤表面的相對徑向運動。

12、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述導(dǎo)槽呈弧線狀套槽結(jié)構(gòu)，且導(dǎo)槽的一端靠近轉(zhuǎn)盤軸心，且另一端遠離導(dǎo)槽軸心，定盤座和轉(zhuǎn)盤表面導(dǎo)槽數(shù)量與導(dǎo)槽數(shù)量一一對應(yīng)，且定盤座的表面固定安裝有用于提高轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動阻尼的抵接板。

13、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述真空及排氣系統(tǒng)包括：

14、粗真空泵：用于初步降低噴鍍艙內(nèi)的壓力至預(yù)定真空水平；

15、高真空泵：用于進一步降低噴鍍艙內(nèi)的壓力，以滿足鍍膜工藝的高真空要求；

16、真空閥門：用于控制真空泵與噴鍍艙之間的連接；

17、真空計：用于實時監(jiān)測噴鍍艙內(nèi)的真空度；

18、廢氣處理系統(tǒng)：用于過濾和處理鍍膜過程中產(chǎn)生的廢氣，以防止環(huán)境污染；

19、粗真空泵、高真空泵、真空閥門、真空計和廢氣處理系統(tǒng)依次連接。

20、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述氣體供給系統(tǒng)包括：

21、高純度反應(yīng)氣體源：包括硅烷（sih4）、氨氣（nh3）等用于鍍膜反應(yīng)的氣體；

22、高純度載氣源：包括氬氣（ar）、氮氣（n2）等用于輔助鍍膜的載氣；

23、氣體管路：采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管道以防止雜質(zhì)附著；

24、質(zhì)量流量控制器（mfc）：用于精確控制反應(yīng)氣體與載氣的流量和比例；

25、氣體凈化裝置：包括除濕器和過濾器，用于去除氣體中的水分和顆粒雜質(zhì)；

26、安全裝置：包括回火防止器、氣體泄漏檢測器，確保氣體輸送的安全性；

27、高純度反應(yīng)氣體源、高純度載氣源、氣體管路、質(zhì)量流量控制器（mfc）和氣體凈化裝置依次連接，且安全裝置設(shè)于氣體管路上。

28、本發(fā)明在一較佳示例中可以進一步配置為：所述控制系統(tǒng)包括：

29、工業(yè)控制計算機（ipc）：用于運行鍍膜控制軟件，并對相關(guān)數(shù)據(jù)進行處理和存儲；

30、人機界面（hmi）：用于顯示設(shè)備運行狀態(tài)，并供操作人員監(jiān)控和設(shè)置相關(guān)參數(shù)；

31、傳感器和檢測器：包括溫度傳感器、壓力傳感器及氣體流量傳感器，實時采集各項關(guān)鍵參數(shù)；

32、可編程邏輯控制器（plc）：用于接收傳感器信號，并控制各執(zhí)行機構(gòu)的運行；

33、驅(qū)動器：用于控制驅(qū)動電機、第一驅(qū)動電機第一驅(qū)動電機和第二驅(qū)動電機第二驅(qū)動電機的工作；

34、數(shù)據(jù)記錄與報警系統(tǒng)：記錄鍍膜過程中的各項參數(shù)和事件，并在異常情況下發(fā)出報警信號并采取相應(yīng)保護措施。

35、本發(fā)明所取得的有益效果為：

36、1.本發(fā)明中，通過多維坩堝支架與噴涂組件的協(xié)調(diào)運動，實現(xiàn)坩堝在水平和豎直方向的靈活旋轉(zhuǎn)和擺動，確保鍍膜過程中的均勻性和精確性，減少了人為操作誤差。

37、2.本發(fā)明中，通過高集成度的多維坩堝支架，具有水平軸向和豎直軸向的靈活旋轉(zhuǎn)功能，使坩堝在鍍膜過程中可以從多個角度接受噴涂，有效確保坩堝表面各個區(qū)域都能均勻涂覆鍍膜材料，支架的精密傳動結(jié)構(gòu)（如蝸桿傳動和齒盤傳動）確保了坩堝在旋轉(zhuǎn)過程中具有高精度的運動控制，使其在水平和豎直兩個軸向上的旋轉(zhuǎn)和定位更加精準，確保了鍍膜過程的精確控制，有效提升了鍍膜厚度的均勻性和一致性。

38、3.本發(fā)明中，設(shè)備的控制系統(tǒng)通過對真空及排氣系統(tǒng)、氣體供給系統(tǒng)和氣氛加熱系統(tǒng)的精細控制，集成了工業(yè)控制計算機（ipc）和可編程邏輯控制器（plc），能夠在不同工況下快速調(diào)整溫度、氣體流量、壓力等參數(shù)，確保生產(chǎn)流程的靈活性和穩(wěn)定性，顯著提升了生產(chǎn)效率。此外，設(shè)備的自動報警功能能夠在異常情況下及時響應(yīng)，確保設(shè)備的安全性和運行的連續(xù)性，減少停機和維護成本。