1.一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，包括：噴鍍艙（100）、噴涂組件（200）和多維坩堝支架（300），所述噴涂組件（200）與多維坩堝支架（300）均固定設(shè)置于噴鍍艙（100）的內(nèi)部；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述噴涂組件（200）包括：固定架（210）、噴頭（220）和驅(qū)動(dòng)電機(jī)（230），所述固定架（210）的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有軸桿（211）；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述多維坩堝支架（300）包括傳動(dòng)舵臺(tái)（310）、轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）和傳動(dòng)齒軸（330）以及固定于傳動(dòng)舵臺(tái)（310）表面的第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)（311）和第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)（312），所述轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于傳動(dòng)舵臺(tái)（310）的頂面，所述傳動(dòng)齒軸（330）轉(zhuǎn)動(dòng)套接于傳動(dòng)舵臺(tái)（310）的表面且與轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）的外周傳動(dòng)嚙合，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)（312）的輸出端設(shè)有與傳動(dòng)齒軸（330）表面?zhèn)鲃?dòng)嚙合的蝸桿，所述轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）的表面固定安裝有軸架（321），所述轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）的表面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有傳動(dòng)鍵軸（322），多爪夾盤(pán)（400）旋轉(zhuǎn)安裝于軸架軸架（321）表面且一側(cè)設(shè)有與傳動(dòng)鍵軸（322）表面?zhèn)鲃?dòng)嚙合的齒盤(pán)，傳動(dòng)鍵軸（322）的底端與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)（311）的輸出端傳動(dòng)嚙合，第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)（311）通過(guò)傳動(dòng)鍵軸（322）驅(qū)動(dòng)多爪夾盤(pán)（400）在水平軸向旋轉(zhuǎn)，第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)（312）通過(guò)傳動(dòng)齒軸傳動(dòng)齒軸（330）及轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)轉(zhuǎn)臺(tái)齒盤(pán)（320）驅(qū)動(dòng)軸架軸架（321）和多爪夾盤(pán)（400）在豎直軸向旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述多爪夾盤(pán)（400）包括：定盤(pán)座（410）、轉(zhuǎn)盤(pán)（420）和若干夾爪桿夾爪桿（440）；其中，所述轉(zhuǎn)盤(pán)（420）旋轉(zhuǎn)安裝于定盤(pán)座（410）上，定盤(pán)座（410）和轉(zhuǎn)盤(pán)（420）表面均設(shè)有多個(gè)導(dǎo)槽導(dǎo)槽（430），且定盤(pán)座（410）和轉(zhuǎn)盤(pán)（420）表面導(dǎo)槽導(dǎo)槽（430）布置方向相反，夾爪桿夾爪桿（440）滑動(dòng)套接于定盤(pán)座（410）和轉(zhuǎn)盤(pán)（420）表面的導(dǎo)槽（430）內(nèi)側(cè)，用于夾持石英坩堝；通過(guò)轉(zhuǎn)盤(pán)（420）在定盤(pán)座（410）表面的偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，由兩個(gè)反向的導(dǎo)槽（430）實(shí)現(xiàn)多爪夾盤(pán)（400）在轉(zhuǎn)盤(pán)（420）表面的相對(duì)徑向運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述導(dǎo)槽（430）呈弧線狀套槽結(jié)構(gòu)，且導(dǎo)槽（430）的一端靠近轉(zhuǎn)盤(pán)（420）軸心，且另一端遠(yuǎn)離導(dǎo)槽（430）軸心，定盤(pán)座（410）和轉(zhuǎn)盤(pán)（420）表面導(dǎo)槽（430）數(shù)量與導(dǎo)槽（430）數(shù)量一一對(duì)應(yīng)，且定盤(pán)座（410）的表面固定安裝有用于提高轉(zhuǎn)盤(pán)（420）轉(zhuǎn)動(dòng)阻尼的抵接板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述真空及排氣系統(tǒng)（110）包括：粗真空泵、高真空泵、真空閥門(mén)、真空計(jì)和廢氣處理系統(tǒng)，且粗真空泵、高真空泵、真空閥門(mén)、真空計(jì)和廢氣處理系統(tǒng)依次連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英坩堝鍍膜裝置，其特征在于，所述氣體供給系統(tǒng)（120）包括：高純度反應(yīng)氣體源、高純度載氣源、氣體管路、質(zhì)量流量控制器（mfc）和氣體凈化裝置；