說明的目的，而并非意在限制本公開的范圍。
【附圖說明】
[0027]從詳細(xì)描述和附圖將更充分地理解本公開，其中:
[0028]圖1是根據(jù)本公開的示例性的批量汽化系統(tǒng)的側(cè)視圖；
[0029]圖2是根據(jù)本公開的示例性的批量汽化系統(tǒng)的透視圖；
[0030]圖3是根據(jù)本公開的加熱器線圈的俯視圖；
[0031]圖4是根據(jù)本公開的示例性的批量汽化系統(tǒng)的局部分解透視圖；
[0032]圖5A是根據(jù)本公開的示例性加熱的導(dǎo)流板的側(cè)視圖；
[0033]圖5B是根據(jù)本公開的示例性加熱的導(dǎo)流板的另一側(cè)面剖視圖；
[0034]圖5C是根據(jù)本公開的示例性加熱的導(dǎo)流板的側(cè)面剖視圖；
[0035]圖和5E是示出了批量汽化系統(tǒng)的導(dǎo)流板部分的不同部分的橫截面圖；
[0036]圖6A是根據(jù)本公開的示例性加熱的導(dǎo)流板的俯視圖；
[0037]圖6B是根據(jù)本公開的另一示例性加熱的導(dǎo)流板的俯視圖；
[0038]圖7是根據(jù)本公開的用于控制批量汽化系統(tǒng)的示例性控制系統(tǒng)的功能框圖；以及
[0039]圖8示出了根據(jù)本公開的用于控制批量汽化系統(tǒng)的方法。
[0040]在附圖中，參考標(biāo)號(hào)可重復(fù)使用以標(biāo)識(shí)相似和/或相同的元件。
【具體實(shí)施方式】
[0041]根據(jù)本公開的用于液體前體的批量汽化的系統(tǒng)和方法包括起泡器部分和加熱的導(dǎo)流板部分。在一些實(shí)施例中，起泡器部分包括用于以較均勻的方式將載氣分配到液體前體中的多孔介質(zhì)。多孔介質(zhì)使得液體和氣體之間有大的接觸表面面積。在某些時(shí)候，在液體和氣體之間的接觸表面面積的增加將不會(huì)導(dǎo)致增大的蒸氣濃度，因?yàn)橐后w對(duì)于溫度/壓力條件是處于平衡狀態(tài)的(或飽和的)。在一些實(shí)施例中，根據(jù)本公開的用于液體前體的批量汽化的系統(tǒng)和方法被設(shè)計(jì)為在飽和區(qū)操作。多孔介質(zhì)還將產(chǎn)生非常小的氣泡，這樣的起泡不太可能飛濺，也不太可能產(chǎn)生大量的液滴。
[0042]加熱的導(dǎo)流板部分包括蒸發(fā)由汽化的前體運(yùn)送的液體的一個(gè)或多個(gè)加熱的導(dǎo)流板。因?yàn)橄啾扔谄鹋萜鞑糠謨?nèi)的批量液體，加熱的導(dǎo)流板是在較高的溫度下，所以蒸氣壓曲線從液滴正在形成的飽和區(qū)移回到蒸氣區(qū)。在一些實(shí)施例中，所述系統(tǒng)和方法使用具有變化的孔徑和通道深寬比的多級(jí)加熱的導(dǎo)流板。在一些實(shí)施例中，所述加熱的導(dǎo)流板在升高的溫度下操作以使得懸浮氣溶膠顆粒在離開該裝置之前被完全蒸發(fā)。
[0043]現(xiàn)在參考圖1-2，示例性的批量汽化系統(tǒng)10包括起泡器部分12和導(dǎo)流板部分14。批量汽化系統(tǒng)10包括主體20和蓋或頂部28，主體20包括側(cè)壁21和底部24。連接件29可被布置成將主體20連接到導(dǎo)流板部分14，并使主體20和導(dǎo)流板部分14之間密封。導(dǎo)流板部分14包括彼此相鄰布置的導(dǎo)流板30-1、30-2、…、和30-B(統(tǒng)稱為導(dǎo)流板30)，其中，B是大于或等于I的整數(shù)。導(dǎo)流板30可以被布置在蓋28和連接件29之間。
[0044]液體前體被供給至主體20，如下面將要描述的。導(dǎo)管40的下端42延伸穿過蓋28并進(jìn)入腔41內(nèi)。載氣流入位于所述腔41中的液體前體內(nèi)，然后穿過多孔介質(zhì)44。僅舉例而言，所述多孔介質(zhì)44可包括含有間隔開的孔的板。多孔介質(zhì)44提供腔41和主體20的其余部分之間的多孔分離。僅舉例而言，孔徑可為約20微米。在一些實(shí)施例中，多孔介質(zhì)44可以由燒結(jié)的不銹鋼制成。一個(gè)或多個(gè)支架46可用于保持多孔介質(zhì)44與腔41相對(duì)的位置。
[0045]僅舉例而言，該支架46可包括具有沿軸向方向穿過的孔47的環(huán)形板45?？?7可以圍繞環(huán)形板45均勻間隔開。諸如帶螺紋的螺栓之類的緊固件48可插入到孔47以將環(huán)形板附接到底部24。環(huán)形板45可包括靠近環(huán)形板45的上部定位的徑向向內(nèi)凸出的凸緣49。沿徑向向內(nèi)凸出的凸緣49將多孔介質(zhì)44保持在腔41上方的合適位置。
[0046]在一些實(shí)施例中，批量汽化系統(tǒng)10的溫度可受控制。例如，底部可包括加熱器線圈和連接器組件(未示出)以提供熱量至底部24。熱電偶或溫度傳感器50可以被提供來監(jiān)控底部24的溫度。同樣，主體20可以以類似的方式加熱。
[0047]在圖2中，導(dǎo)流板30中的每一個(gè)還可以包括相應(yīng)的加熱器線圈和連接器組件32-1、32-2、…、和32-B(統(tǒng)稱加熱器線圈和連接器組件32)。熱電偶連接器組件54_1、54-2、…、和54-B (統(tǒng)稱為熱電偶連接器組件54)以及56也可以被分別提供來監(jiān)控每一個(gè)相應(yīng)的導(dǎo)流板30和蓋28的溫度。加熱器線圈62可被布置在形成于導(dǎo)流板30和/或諸如蓋28或底部24等其他部件中的槽中。在圖3中，示出了加熱器線圈62的一個(gè)實(shí)施例。
[0048]再參照?qǐng)D1和2，穿過蓋28的各個(gè)通道被示出?？梢匀鐖D所示布置液位傳感器70以感測(cè)在主體20中的液體前體的液位?？梢允褂萌魏芜m當(dāng)類型的液位傳感器70。僅舉例而言，也可以使用利用布置在L液位的晶體的超聲波液位傳感器，其中，L是大于I的整數(shù)。例如，L可以被設(shè)置為4，并在正常操作期間液體前體可以被填充并維持到第二和第三液位之間的液位。如果液體前體的液位上升到高于第三液位或到達(dá)第四液位，則可以產(chǎn)生警報(bào)或其他信號(hào)。
[0049]在一些實(shí)施例中，氣體閥72可相對(duì)于蓋28居中布置，并且氣體可以經(jīng)由連接器78供應(yīng)到氣體閥。氣體可流經(jīng)蓋28中的通道79 (圖1)并進(jìn)入氣體閥72的入口。蓋28中的通道79在氣體進(jìn)入批量汽化系統(tǒng)10時(shí)預(yù)熱氣體。
[0050]一個(gè)或多個(gè)附加閥可被連接到連接器78，以控制進(jìn)入通道79內(nèi)的流動(dòng)。氣體閥72包括與通道79連通的入口以及與主體20連通的出口。連接器76可用于往/從主體20輸送和/或去除液體前體。一個(gè)或多個(gè)附加閥可被連接到連接器76以控制穿過連接器76的流動(dòng)。
[0051]圖2中的孔80接納壓力傳感器81或壓力計(jì)以測(cè)量在主體20內(nèi)的壓力。在一些實(shí)施例中，壓力傳感器81可以是包括隔膜的電容式壓力計(jì)，但可以使用其它類型的壓力傳感器。一塊板可以附接至該隔膜。當(dāng)隔膜在壓力下移動(dòng)時(shí)，該板相對(duì)于固定板移動(dòng)，且電容變化。該孔80延伸穿過蓋28，以使壓力傳感器81能夠測(cè)量壓力。在一些實(shí)施例中，壓力測(cè)量區(qū)是在該導(dǎo)流板30的最上面的一個(gè)和批量汽化系統(tǒng)10的蓋28之間的區(qū)域中。然而，如果壓力將在主體20測(cè)量，那么孔80也可以延伸穿過導(dǎo)流板30進(jìn)入主體20。
[0052]在圖4中，連接件29被顯示為包括連接到主體20的底部密封部84和連接到該導(dǎo)流板部分14的上部密封部86。底部密封部84限定通道90以接納與由上部密封部86提供的對(duì)應(yīng)的平坦表面嚙合的密封件92。使用通道90和通過上部密封部86提供的平坦表面控制密封件92的壓縮。
[0053]在一些實(shí)施例中，密封件92可以是“C”形、“V”形、“O”形、“W”形的或具有其它橫截面。密封件92也可以通過焊接封閉的組件而消除。
[0054]可以提供緊固件來將底部密封部84附接到上部密封部86。僅舉例而言，緊固件可以包括螺紋螺栓或螺絲94，螺紋螺栓或螺絲94插入穿過底部密封部84并通過形成在上部密封部86中的相應(yīng)的孔96接納。螺帽或其它緊固件可以連接到螺栓或螺絲94?？商峁┑诙?dǎo)管98來供給或去除進(jìn)入主體20內(nèi)的液體前體。第二導(dǎo)管98可具有連接到連接器76的一個(gè)端部。
[0055]在使用中，液體前體通過第二導(dǎo)管98被供給到主體20內(nèi)。載氣經(jīng)由導(dǎo)管40供給到腔41內(nèi)。載氣產(chǎn)生氣泡，氣泡經(jīng)由多孔介質(zhì)44進(jìn)一步分散，以使液體前體更有效地起泡。液體前體的汽化發(fā)生，并且汽化的前體流過導(dǎo)流板部分14并隨后被提供到一個(gè)或多個(gè)襯底處理系統(tǒng)。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)流板30-1、30-2和30-B的溫度被設(shè)置為相同的溫度、連續(xù)遞增的溫度、連續(xù)地逐漸降低的溫度、或其它溫度值。
[0056]現(xiàn)在參考圖5A-5C，示例性導(dǎo)流板30被示出。在圖5A中，導(dǎo)流板30被顯示為包括主體100。在一些實(shí)施例中，主體100是圓形的。例如，主體100具有與主體20的直徑大致相等的直徑。主體100限