一種可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種光學蒸發(fā)鍍膜設備，尤指一種可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備。
【背景技術】
[0002]在目前，工業(yè)生產中常采用光學真空蒸發(fā)鍍膜設備為產品表面鍍制涂覆膜層，而產品范圍十分廣泛，如磁性材料、醫(yī)療器具器械部件、電路板、電子元器件、半導體材料、光學器件、光電產品、手機配件、飾物或其原材料等，由于鍍膜技術的日益成熟使得鍍膜效果也較為滿意，在真空蒸發(fā)鍍膜設備的鍍膜爐腔室內，電子束加熱蒸發(fā)是依靠電子束轟擊鍍膜材料使之升華氣化沉積在產品上，由電子槍給坩禍加熱，溫度為2500°C -3000°C之間，真空狀態(tài)下電子槍發(fā)出的聲速為700m/s，但是，電子槍安裝的位置接近于鍍膜爐腔室壁，電子束加熱膜料使其蒸發(fā)的過程中膜料在產品上成膜的同時也在其最近腔室壁上成膜，長期作業(yè)使其爐體內壁產生灰塵積層，由于不停循環(huán)蒸發(fā)濺射出來的原子具有一定的能量，可以二次撞擊腔室壁形成的膜層，其腔室壁上膜層又因鍍膜的沉積次數(shù)過多形成塵埃臟污，之后也跟著沉積到鍍膜基板上，造成待鍍膜產品的膜層內有臟污或塵點，直接導致了這種原子二次濺射影響產品質量。
[0003]未解決上述問題，現(xiàn)有的腔室壁護板可阻擋一部分原子或沉積的氣化膜料，但在鍍制多層膜系時不占優(yōu)勢(如:30-70層)，無法防止二次濺射對產品造成的污染、且維護周期過快，維護成本過高，產品良率低；若長期下去，也會嚴重影響產品質量，使作業(yè)過程生產良率低，作業(yè)進度緩慢，亦使得資源、人力、時間嚴重損耗。

【發(fā)明內容】

[0004]為解決上述問題，本發(fā)明旨在公開一種光學蒸發(fā)鍍膜設備，尤指一種可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術方案是:一種可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備，其特征在于，所述的鍍膜設備主要包括鍍膜爐腔、鍍膜裝置和防濺射裝置；所述鍍膜裝置主要由電子束蒸發(fā)裝置、離子裝置、鍍膜原料和鍍膜治具組成；電子束蒸發(fā)裝置與離子裝置安裝在鍍膜爐腔的底部，鍍膜治具為可旋轉的圓錐形殼體狀，通過中軸處安裝旋轉中軸從而活動安裝在鍍膜爐腔頂部的中軸孔處，且鍍膜治具上、下表面印設有適配產品排列定位的型印；所述防濺射裝置安裝在靠近鍍膜治具的下方，主要包括防濺射治具組、彈性卡鉤和積塵監(jiān)控器，防濺射治具組由3-5對弧形治具構成，成對的弧形治具對稱安裝在鍍膜爐腔內相對的兩側壁上，弧形治具成形為由水平擋板和豎直擋板垂直連接組成的長弧形立體擋塊狀，豎直擋板的外側面與彈性卡鉤固定連接，弧形治具通過彈性卡鉤掛載在鍍膜爐腔側壁上，所述的積塵監(jiān)控器實時監(jiān)控弧形治具擋板內側的積塵量；鍍膜爐腔的內側壁設置有安裝防濺射治具組的掛載槽，掛載槽與彈性卡鉤形成嵌套扣合的連接結構。
[0006]所述防濺射治具組中的每對弧形治具從上往下依次縱向排列安裝在側壁上，弧形治具的向外延伸邊正對在鍍膜治具外邊緣以內的范圍之下。
[0007]所述3-5對弧形治具水平擋板的弧長相等，弧寬可設置為寬度均相同，或設置為各弧寬的寬度由下至上依次遞增。
[0008]所述的弧形治具的豎直擋板與彈性卡鉤可以通過焊接固定于一體。
[0009]所述的鍍膜裝置通過電子束蒸發(fā)裝置和離子裝置的電子束加熱蒸發(fā)與離子濺射結合形成鍍膜產品的離子鍍鍍膜。
[0010]所述的電子束蒸發(fā)裝置主要包括電子束發(fā)生裝置、坩禍和蒸發(fā)角度調節(jié)裝置，其中蒸發(fā)角度調節(jié)裝置依據鍍膜治具和弧形治具的覆蓋范圍調節(jié)蒸發(fā)角度以限定鍍膜原料蒸發(fā)后的沉積范圍。
[0011]所述的離子裝置主要由離子推進器和離子轉換器組成。
[0012]所述的掛載槽對應設置有3-5道，掛載槽為圍繞鍍膜爐腔內側壁一周而開設的環(huán)形通槽，與弧形治具固連的彈性卡鉤可沿掛載槽移動以調節(jié)弧形治具掛載位置。
[0013]—種應用于可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備的防濺射治具組加工及組裝工藝，其特征在于，所述的防濺射治具組加工及組裝工藝主要包括以下步驟:
第一步，治具制作:采用不銹鋼鋼板制作水平擋板與豎直擋板，兩擋板通過激光焊接連接形成弧形治具，共制作6-10個弧形治具，亦即3-5對，構成整體的防濺射治具組，隨后在每一個弧形治具上焊接彈性卡鉤；
第二步，治具清潔:將各弧形治具的表面做噴砂處理，使治具表面形成磨砂面，然后經水洗清潔干凈，最后晾曬除濕得到無塵無污染的弧形治具；
第三步，治具校準:檢測弧形治具的表面，若尺寸無偏差、表面光潔、形狀無變形，則為合格品；如尺寸出現(xiàn)偏差、表面出現(xiàn)瑕疵、形狀發(fā)生變形，則為不合格品，需重新修正至合格品標準；
第四步，治具裝載:將弧形治具掛載到鍍膜爐腔內室壁的掛載槽即完成掛載，通過嵌套扣合連接形成簡單而穩(wěn)固的拆裝方式，對弧形治具進行清潔保養(yǎng)時只需簡易拆除即可。
[0014]本發(fā)明的有益效果體現(xiàn)在:本發(fā)明有效防止鍍膜過程中由于二次濺射造成沉積膜層產生臟污和塵點導致產品受污染的狀況出現(xiàn)，且本發(fā)明具有拆卸保養(yǎng)簡單、安裝維護方便、維護成本低等特點，同時操作工藝簡單、總成本低，達到產能最大化、效率高、節(jié)約人力等效果。
[0015]本發(fā)明采用結構簡單緊湊的防濺射裝置，占用的空間小，并且具有完善的防二次濺射污染的效果，治具拆卸更換易操作、保養(yǎng)維護都較為簡單，同時使用效率高、用時短、成本低廉、還可提高膜層質量，能夠解決目前市場上鍍膜制品膜層臟污和塵點、檢驗成本過高等問題，使本發(fā)明整體不僅提高成膜質量，而且便于操作、花費成本低，能夠解決目前市場上鍍膜制品膜層臟污、塵點、檢驗成本過高等問題，提高生產效率、降低制造成本、有效保證廣品品質質量，并達到提升品質良率30%以上的目的。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明的立體結構簡圖一。
[0017]圖2是本發(fā)明的立體結構簡圖二。
[0018]圖3是本發(fā)明的弧形治具與彈性卡鉤的結構示意圖。
[0019]附圖標注說明:1-鍍膜裝置，2-防濺射裝置，3-鍍膜爐腔，11-電子束蒸發(fā)裝置，12-離子裝置，13-鍍膜治具，21-防濺射治具組，22-彈性卡鉤，23-弧形治具，24-掛載槽。
【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖詳細說明本發(fā)明的【具體實施方式】:
一種可防二次濺射污染的光學蒸發(fā)鍍膜設備，所述的鍍膜設備主要包括鍍膜爐腔3、鍍膜裝置I和防濺射裝置2 ;所述鍍膜裝置I主要由電子束蒸發(fā)裝置11、離子裝置12、鍍膜原料和鍍膜治具13組成；電子束蒸發(fā)裝置11與離子裝置12安裝在鍍膜爐腔3的底部，鍍膜治具13為可旋轉的圓錐形殼體狀，通過中軸處安裝旋轉中軸從而活動安裝在鍍膜爐腔3頂部的中軸孔處，且鍍膜治具13上、下表面印設有適配產品排列定位的型印；所述的鍍膜裝置I通過電子束蒸發(fā)裝置11和離子裝置12的電子束加熱蒸發(fā)與離子濺射結合形成鍍膜產品的離子鍍鍍膜；所述的電子束蒸發(fā)裝置11主要包括電子束發(fā)生裝置、坩禍和蒸發(fā)角度調節(jié)裝置，其中蒸發(fā)角度調節(jié)裝置依據鍍膜治具13和弧形治具23的覆蓋范圍調節(jié)蒸發(fā)角度以限定鍍膜原料蒸發(fā)后的沉積范圍；所述的離子裝置12主要由離子推進器和離子轉換器組成。
[0021]所述防濺射裝置2安裝在靠近鍍膜治具13的下方，主要包括防濺射治具組21、彈性卡鉤22和積塵監(jiān)控器，防濺射治具組21由3-5對弧形治具23構成，成對的弧形治具23對