稱安裝在鍍膜爐腔3內(nèi)相對(duì)的兩側(cè)壁上，弧形治具23成形為由水平擋板和豎直擋板垂直連接組成的長(zhǎng)弧形立體擋塊狀，所述防濺射治具組21中的每對(duì)弧形治具23從上往下依次縱向排列安裝在側(cè)壁上，弧形治具23的向外延伸邊正對(duì)在鍍膜治具13外邊緣以內(nèi)的范圍之下，所述3-5對(duì)弧形治具水平擋板的弧長(zhǎng)相等，弧寬可設(shè)置為寬度均相同，或設(shè)置為各弧寬的寬度由下至上依次遞增；豎直擋板的外側(cè)面與彈性卡鉤22固定連接，所述的弧形治具23的豎直擋板與彈性卡鉤22可以通過焊接固定于一體；弧形治具23通過彈性卡鉤22掛載在鍍膜爐腔3側(cè)壁上，所述的積塵監(jiān)控器實(shí)時(shí)監(jiān)控弧形治具23擋板內(nèi)側(cè)的積塵量；鍍膜爐腔3的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有安裝防濺射治具組21的掛載槽24，掛載槽24與彈性卡鉤22形成嵌套扣合的連接結(jié)構(gòu)；所述的掛載槽24對(duì)應(yīng)設(shè)置有3-5道，掛載槽24為圍繞鍍膜爐腔3內(nèi)側(cè)壁一周而開設(shè)的環(huán)形通槽，與弧形治具23固連的彈性卡鉤22可沿掛載槽24移動(dòng)以調(diào)節(jié)弧形治具23掛載位置。
[0022]—種應(yīng)用于可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的防濺射治具組21加工及組裝工藝，所述的防濺射治具組21加工及組裝工藝主要包括以下步驟:
第一步，治具制作:采用不銹鋼鋼板制作水平擋板與豎直擋板，兩擋板通過激光焊接連接形成弧形治具23，共制作6-10個(gè)弧形治具23，亦即3-5對(duì)，構(gòu)成整體的防濺射治具組21，隨后在每一個(gè)弧形治具23上焊接彈性卡鉤22 ;
第二步，治具清潔:將各弧形治具23的表面做噴砂處理，使治具表面形成磨砂面，然后經(jīng)水洗清潔干凈，最后晾曬除濕得到無塵無污染的弧形治具23 ;
第三步，治具校準(zhǔn):檢測(cè)弧形治具23的表面，若尺寸無偏差、表面光潔、形狀無變形，則為合格品；如尺寸出現(xiàn)偏差、表面出現(xiàn)瑕疵、形狀發(fā)生變形，則為不合格品，需重新修正至合格品標(biāo)準(zhǔn)；
第四步，治具裝載:將弧形治具23掛載到鍍膜爐腔3內(nèi)室壁的掛載槽24即完成掛載，通過嵌套扣合連接形成簡(jiǎn)單而穩(wěn)固的拆裝方式，對(duì)弧形治具23進(jìn)行清潔保養(yǎng)時(shí)只需簡(jiǎn)易拆除即可。
[0023]使用時(shí)，以鍍膜治具13、弧形治具23和蒸發(fā)始發(fā)源三點(diǎn)連成一線，根據(jù)三點(diǎn)一線可得出蒸發(fā)鍍膜的沉積范圍，從而通過蒸發(fā)角度調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)蒸發(fā)角度以限定電子束轟擊時(shí)產(chǎn)生的原子去向以及氣化的鍍膜原料的沉積范圍，使氣化的鍍膜原料留在治具和弧形治具23上，而非鍍膜爐腔3的內(nèi)壁上，且不停循環(huán)蒸發(fā)濺射出來的原子也不會(huì)二次撞擊腔室壁形成的膜層使膜層的塵埃臟污落到鍍膜產(chǎn)品上，而避免了鍍膜產(chǎn)品因灰塵污染而造成產(chǎn)品不良的問題。
[0024]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本發(fā)明的技術(shù)范圍作任何限制，本行業(yè)的技術(shù)人員，在本技術(shù)方案的啟迪下，可以做出一些變形與修改，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上的實(shí)施例所作的任何修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的鍍膜設(shè)備主要包括鍍膜爐腔、鍍膜裝置和防濺射裝置；所述鍍膜裝置主要由電子束蒸發(fā)裝置、離子裝置、鍍膜原料和鍍膜治具組成；電子束蒸發(fā)裝置與離子裝置安裝在鍍膜爐腔的底部，鍍膜治具為可旋轉(zhuǎn)的圓錐形殼體狀，通過中軸處安裝旋轉(zhuǎn)中軸從而活動(dòng)安裝在鍍膜爐腔頂部的中軸孔處，且鍍膜治具上、下表面印設(shè)有適配產(chǎn)品排列定位的型印；所述防濺射裝置安裝在靠近鍍膜治具的下方，主要包括防濺射治具組、彈性卡鉤和積塵監(jiān)控器，防濺射治具組由3-5對(duì)弧形治具構(gòu)成，成對(duì)的弧形治具對(duì)稱安裝在鍍膜爐腔內(nèi)相對(duì)的兩側(cè)壁上，弧形治具成形為由水平擋板和豎直擋板垂直連接組成的長(zhǎng)弧形立體擋塊狀，豎直擋板的外側(cè)面與彈性卡鉤固定連接，弧形治具通過彈性卡鉤掛載在鍍膜爐腔側(cè)壁上，所述的積塵監(jiān)控器實(shí)時(shí)監(jiān)控弧形治具擋板內(nèi)側(cè)的積塵量；鍍膜爐腔的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有安裝防濺射治具組的掛載槽，掛載槽與彈性卡鉤形成嵌套扣合的連接結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述防濺射治具組中的每對(duì)弧形治具從上往下依次縱向排列安裝在側(cè)壁上，弧形治具的向外延伸邊正對(duì)在鍍膜治具外邊緣以內(nèi)的范圍之下。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述3-5對(duì)弧形治具水平擋板的弧長(zhǎng)相等，弧寬可設(shè)置為寬度均相同，或設(shè)置為各弧寬的寬度由下至上依次遞增。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的弧形治具的豎直擋板與彈性卡鉤可以通過焊接固定于一體。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的鍍膜裝置通過電子束蒸發(fā)裝置和離子裝置的電子束加熱蒸發(fā)與離子濺射結(jié)合形成鍍膜產(chǎn)品的離子鍍鍍膜。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的電子束蒸發(fā)裝置主要包括電子束發(fā)生裝置、坩禍和蒸發(fā)角度調(diào)節(jié)裝置，其中蒸發(fā)角度調(diào)節(jié)裝置依據(jù)鍍膜治具和弧形治具的覆蓋范圍調(diào)節(jié)蒸發(fā)角度以限定鍍膜原料蒸發(fā)后的沉積范圍。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的離子裝置主要由離子推進(jìn)器和離子轉(zhuǎn)換器組成。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述的掛載槽對(duì)應(yīng)設(shè)置有3-5道，掛載槽為圍繞鍍膜爐腔內(nèi)側(cè)壁一周而開設(shè)的環(huán)形通槽，與弧形治具固連的彈性卡鉤可沿掛載槽移動(dòng)以調(diào)節(jié)弧形治具掛載位置。9.一種應(yīng)用于可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的防濺射治具組加工及組裝工藝，其特征在于，所述的防濺射治具組加工及組裝工藝主要包括以下步驟: 第一步，治具制作:采用不銹鋼鋼板制作水平擋板與豎直擋板，兩擋板通過激光焊接連接形成弧形治具，共制作6-10個(gè)弧形治具，亦即3-5對(duì)，構(gòu)成整體的防濺射治具組，隨后在每一個(gè)弧形治具上焊接彈性卡鉤； 第二步，治具清潔:將各弧形治具的表面做噴砂處理，使治具表面形成磨砂面，然后經(jīng)水洗清潔干凈，最后晾曬除濕得到無塵無污染的弧形治具； 第三步，治具校準(zhǔn):檢測(cè)弧形治具的表面，若尺寸無偏差、表面光潔、形狀無變形，則為合格品；如尺寸出現(xiàn)偏差、表面出現(xiàn)瑕疵、形狀發(fā)生變形，則為不合格品，需重新修正至合格品標(biāo)準(zhǔn)； 第四步，治具裝載:將弧形治具掛載到鍍膜爐腔內(nèi)室壁的掛載槽即完成掛載，通過嵌套扣合連接形成簡(jiǎn)單而穩(wěn)固的拆裝方式，對(duì)弧形治具進(jìn)行清潔保養(yǎng)時(shí)只需簡(jiǎn)易拆除即可。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，尤指一種可防二次濺射污染的光學(xué)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要包括鍍膜爐腔、鍍膜裝置和防濺射裝置；鍍膜裝置主要由電子束蒸發(fā)裝置、離子裝置、鍍膜原料和鍍膜治具組成；防濺射裝置安裝在靠近鍍膜治具的下方，主要包括防濺射治具組、彈性卡鉤和積塵監(jiān)控器，防濺射治具組由3-5對(duì)弧形治具構(gòu)成，成形為由水平擋板和豎直擋板垂直連接組成的長(zhǎng)弧形立體擋塊狀，弧形治具通過彈性卡鉤掛載在鍍膜爐腔側(cè)壁上，積塵監(jiān)控器實(shí)時(shí)監(jiān)控積塵量；鍍膜爐腔的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有掛載槽；本發(fā)明有效防止鍍膜過程中二次濺射造成沉積膜層產(chǎn)生臟污和塵點(diǎn)導(dǎo)致產(chǎn)品受污染的狀況出現(xiàn)，具有拆卸保養(yǎng)簡(jiǎn)單、工藝簡(jiǎn)單、總成本低、產(chǎn)能最大化、效率高的特點(diǎn)。
【IPC分類】C23C14/24
【公開號(hào)】CN105200374
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510722556
【發(fā)明人】劉雙良
【申請(qǐng)人】東莞市華星鍍膜科技有限公司, 東莞市華星納米科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月31日