高純及超純電子化學品用容器的研磨工藝的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種研磨工藝，特別是一種高純及超純電子化學品用容器的研磨工
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【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導體產(chǎn)品升級換代，特別28匪以下的半導體產(chǎn)品的生產(chǎn)，其集成電路產(chǎn)業(yè)對電子材料特別是電子化學品的純度和有害雜質(zhì)的要求越來越高。電子材料依賴進口的情況隨著國家對其扶持，不少已實現(xiàn)國產(chǎn)化，而高純及超高純電子化學品的規(guī)?；粌H僅是簡單的提純生產(chǎn)，還必須依靠分裝、儲存、運輸、安全管理等各個環(huán)節(jié)才能實現(xiàn)，其中高純及超純電子化學品的包裝物是國產(chǎn)電子材料規(guī)模化生產(chǎn)中的那塊短板，其各類高純化學品包裝容器目前只能依靠國外進口。而根據(jù)高純及超純電子化學品的要求，其包裝容器充裝高純及超高純化學品的需要，容器內(nèi)壁的光潔度達標是其容器生產(chǎn)的首要條件。
[0003]目前，國內(nèi)外使用的內(nèi)壁處理技術(shù)基本采用的拋丸打磨的工藝進行處理，這種處理方式存在以下問題:1、打磨后內(nèi)壁的光潔度較低(一般在0.3S左右)，且內(nèi)壁光潔度相對不夠均勻；2、打磨后內(nèi)壁顆粒及金屬離子附著率較高，且此類物質(zhì)難以完全去除，導致產(chǎn)品質(zhì)量差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種高純及超純電子化學品用容器的研磨工藝，通過該研磨工藝研磨后的容器具有內(nèi)壁光潔度高的特點。
[0005]本發(fā)明的目的可通過下列技術(shù)方案來實現(xiàn):高純及超純電子化學品用容器的研磨工藝，其特征在于，該研磨工藝包括以下步驟:a、準備待研磨的容器山、粗磨:按照容器體積的大小裝入適量的粗磨料，將容器安裝到研磨機上，開啟研磨機10-15個小時，使粗磨料在容器內(nèi)進行滾動，從而對容器內(nèi)壁進行粗磨；c、第一次清洗:將容器中的粗磨料倒出，通過清洗裝置對容器內(nèi)壁進行清洗，使粗磨料全部脫離容器；d、第一次吹干:利用氣體吹干裝置對容器進行吹干；e、精磨:按照容器體積的大小裝入適量的精磨料，將容器安裝到研磨機上，開啟研磨機20-25個小時，使精磨料在容器內(nèi)進行滾動，從而對容器內(nèi)壁進行精磨，精磨料的外徑小于粗磨料的外徑；f、第二次清洗:將容器中的精磨料倒出，通過清洗裝置對容器內(nèi)壁進行清洗，使精磨料全部脫離容器；g、第二次吹干:利用氣體吹干裝置對容器進行吹干，從而完成容器的研磨。
[0006]采用以上工藝，通過對容器進行粗磨、清洗、吹干、精磨、再清洗和再吹干的方式，可對各類形狀容器的整個內(nèi)壁進行研磨，同時，可使容器的內(nèi)壁能達到所需的光潔度，產(chǎn)品光潔度好。
[0007]所述步驟b和e中的研磨機包括機架，在機架上設置有能轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸的兩端均通過軸向固定且周向轉(zhuǎn)動的方式設置在機架上，轉(zhuǎn)動軸一端的端部連接有能驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的動力機構(gòu)，在轉(zhuǎn)動軸中部通過連接支架固定有安裝板，所述的安裝板上設置有能將容器定位住的定位結(jié)構(gòu)，在安裝板下部設置有震動電機。
[0008]本研磨機的工作原理如下:在容器中放入相應類型的磨料，將容器通過定位結(jié)構(gòu)定位在安裝板上，通過動力機構(gòu)帶動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動軸帶動連接支架轉(zhuǎn)動，連接支架帶動安裝板轉(zhuǎn)動，安裝板帶動容器轉(zhuǎn)動，同時，開啟震動電機，震動電機使容器產(chǎn)生震動，隨著磨料在容器內(nèi)轉(zhuǎn)動和震動，可對容器的整個內(nèi)壁進行打磨，從而提高研磨效果。
[0009]所述的動力機構(gòu)包括PLC可編程控制器、高速旋轉(zhuǎn)電機、步進電機和超越離合器，超越離合器具有輸出端、輸入端一和輸入端二，高速旋轉(zhuǎn)電機和輸入端一相連接，步進電機和輸入端二相連接，輸出端與上述的轉(zhuǎn)動軸相連接，所述的高速旋轉(zhuǎn)電機、步進電機和超越離合器均通過線路與PLC可編程控制器相連接。
[0010]當粗磨時，即:需要使轉(zhuǎn)動軸高速轉(zhuǎn)動，通過PLC可編程控制器使高速旋轉(zhuǎn)電機和輸入端一相連接，高速旋轉(zhuǎn)電機帶動超越離合器的輸入端一轉(zhuǎn)動，超越離合器的輸出端帶動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，從而使轉(zhuǎn)動軸高速轉(zhuǎn)動；當精磨時，即:需要使轉(zhuǎn)動軸低速轉(zhuǎn)動，通過PLC可編程控制器使步進電機和輸入端二相連接，步進電機帶動超越離合器的輸入端二轉(zhuǎn)動，超越離合器的輸出端帶動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，從而使轉(zhuǎn)動軸低速轉(zhuǎn)動，變速方便。
[0011]作為另外一種情況，所述的動力機構(gòu)包括步進電機和聯(lián)軸器，步進電機固定在機架上，聯(lián)軸器設置在步進電機的輸出軸和上述的轉(zhuǎn)動軸之間。
[0012]當需要使轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動時，控制步進電機的輸出軸轉(zhuǎn)動，步進電機的輸出軸通過聯(lián)軸器帶動轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動，從而使轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動。
[0013]所述的定位結(jié)構(gòu)包括開設在安裝板上的定位槽、左定位件、右定位件和定位繩，在安裝板上固定有左基座，在左基座和定位槽之間固定有左導軌，左定位件設置在左導軌中，在左定位件和左基座之間設置有左彈簧，左彈簧一端固定在左定位件上，左彈簧另一端固定在左基座上；在安裝板上固定有右基座，在右基座和定位槽之間固定有右導軌，右定位件設置在右導軌中，在右定位件和右基座之間設置有右彈簧，右彈簧一端固定在右定位件上，右彈貪另一端固定在右基座上；在安裝板上固定有左掛環(huán)一、左掛環(huán)一■、右掛環(huán)一和右掛環(huán)二，左掛環(huán)一和左掛環(huán)二分別設置在定位槽的兩側(cè)，右掛環(huán)一和右掛環(huán)二分別設置在定位槽的兩側(cè)，左掛環(huán)一和右掛環(huán)一處于定位槽的同一側(cè)，定位繩包括定位繩一和定位繩二，定位繩一的一端固定在左掛環(huán)一上，定位繩一的另外一端能固定在右掛環(huán)二上，定位繩二的一端固定在左掛環(huán)二上，定位繩二的另外一端能固定在右掛環(huán)一上。
[0014]當需要將容器定位在安裝板上時，將容器放在定位槽中，在左彈簧的彈力作用下，左彈簧推動左定位件沿著左導軌移動，左定位件將容器的一端定位住，同時，在右彈簧的彈力作用下，右彈簧推動右定位件沿著右導軌移動，右定位件將容器的另一端定位住；將定位繩一的一端固定在左掛環(huán)一上，將定位繩一的另一端繞過容器的側(cè)面固定在右掛環(huán)二上，將定位繩二的一端固定在左掛環(huán)二上，將定位繩二的另一端繞過容器的側(cè)面固定在右掛環(huán)一上，從而可將容器定位在安裝板上，定位可靠、方便。
[0015]所述的左定位件朝向右定位件的一側(cè)上固定有左橡膠墊，所述的右定位件朝向左定位件的一側(cè)上固定有右橡膠墊。
[0016]采用以上結(jié)構(gòu)，通過左橡膠墊可避免左定位件和容器的一端直接接觸，通過右橡膠墊可避免右定位件和容器的另一端直接接觸，對容器起到有效的保護，防護作用好。
[0017]所述步驟c和f中的清洗裝置，包括底座，在底座上設置有儲存桶、水栗、噴槍、立柱和機械手，所述立柱垂直設置在底座上，立柱上端設置有連接板，機械手設置在連接板下部處，在機械手下部設置有回收桶，回收桶上部設置有過濾網(wǎng)，在儲存桶內(nèi)設置有超純水，水栗一端與儲存桶相連通，水栗另一端通過連接管與噴槍相連通，所述的噴槍的出水口向上設置，且噴槍與一能帶動其上下升降的升降定位結(jié)構(gòu)相連；在連接管中還設置有流量調(diào)節(jié)閥；所述的回收桶上部具有成喇叭狀的回收部，上述的過濾網(wǎng)設置在回收部處；所述的回收桶通過回流管與儲存桶相連通，所述的回收桶處于儲存桶上方。
[0018]本清洗裝置的工作原理如下:通過機械手將容器夾持住，并使容器的瓶口朝下，通過升降定位結(jié)構(gòu)將噴槍的出水口處于容器的內(nèi)部，開啟水栗，水栗通過連接管將儲存桶中的超純水輸送到噴槍處，通過流量調(diào)節(jié)閥將噴槍處的超純水流量調(diào)節(jié)到所需值，噴槍將容器的內(nèi)壁清洗干凈，使用過的超純水在重力作用下，流到回收部處，通過過濾網(wǎng)將其過濾，過濾好的超純水流到回收桶中，回收桶中的超純水通過回流管流回到儲存桶中，將容器從機械手上取下，從而完成其清洗作業(yè)，清洗快速、方便。
[0019]作為另外一種情況，所述步驟c和f中的清洗裝置，包括底座，底座兩端分別豎直設置有主動軸和從動軸，主動軸與一能帶動其轉(zhuǎn)動的驅(qū)動電機相連接，主動軸上固定有主動鏈輪一和主動鏈輪二，從動軸上固定有與主動鏈輪一相對應的從動鏈輪一和與主動鏈輪二相對應的從動鏈輪二，主動鏈輪一和從動鏈輪一之間設置有鏈條一，主動鏈輪二和從動鏈輪二之間設置有鏈條二，鏈條一和鏈條二之間固定有若干安裝塊，安裝塊上設置有機械手，在底座上還設置有儲存桶、水栗、噴槍和立柱，立柱固定在底座上，在儲存桶內(nèi)設置有超純水，水栗一端與儲存桶相連通，水栗另一端通過連接管與噴槍相連通，所述的噴槍的出水口向上設置