多層金剛石涂層及其制備方法、涂層工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是涉及一種多層金剛石涂層及其制備方法、涂層工具。
【背景技術(shù)】
[0002]金剛石具有高硬度(HV=100Gpa)、導(dǎo)熱性好、低摩擦、超耐磨、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定等特性，在力學(xué)、熱學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。目前，金剛石涂層多采用熱絲化學(xué)沉積(HFCVD)法制備，工藝技術(shù)較為成熟、生產(chǎn)成本低，適用于工業(yè)生產(chǎn)。但是，由于金剛石強(qiáng)的共價(jià)鍵特征以及HFCVD的成涂層工藝特點(diǎn)，使得金剛石涂層存在涂層應(yīng)力高、韌性差的缺點(diǎn)，降低了金剛石涂層的使用性能。
[0003]隨著金剛石涂層研究的不斷深入，目前有多層金剛石涂層的報(bào)道，但是已報(bào)道的多層金剛石涂層多是亞微米金剛石涂層或納米金剛石涂層與超細(xì)納米金剛石涂層中的兩種涂層作為多層結(jié)構(gòu)。具體的如中國(guó)專利CN1563479A中采用電子束輔助熱絲化學(xué)氣相沉積法，制備一種由納米尺寸的金剛石薄膜(NCD)和亞微米尺寸金剛石薄膜(MCD)交替沉積的多層結(jié)構(gòu)涂層。其中每層NCD厚度為0.01-0.08微米，MCD厚度為0.1-0.3微米。
[0004]再如中國(guó)專利CN103436855A中采用熱絲化學(xué)氣相沉積法制備一種微型銑刀金剛石復(fù)合涂層，其通過(guò)控制沉積過(guò)程中氣相沉積條件，使得亞微晶生長(zhǎng)期和超細(xì)納米晶循環(huán)發(fā)生，從而形成金剛石亞微晶和超細(xì)納米晶復(fù)合涂層。
[0005]上述現(xiàn)有多層金剛石涂層中，納米金剛石涂層和超細(xì)納米金剛石涂層，晶粒尺寸達(dá)到納米量級(jí)使得表面粗糙度大為降低，展現(xiàn)出更好的減摩、耐磨特性。尤其是，超細(xì)納米金剛石涂層晶粒尺寸在幾個(gè)納米至幾十個(gè)納米之間，使用其作為工具的外層，可以大大降低工具表面粗糙度，減小摩擦系數(shù)，提高刀具耐磨性。同時(shí)，上述現(xiàn)有多層金剛石涂層由于層界面的增加使得涂層單層厚度降低，可以減小涂層的彎曲應(yīng)力;此外，層界面對(duì)裂紋具有偏轉(zhuǎn)和鈍化作用，可以有效提高涂層的整體韌性。如中國(guó)專利CN103436855A保持了刃口的鋒利，明顯改善加工效果，延長(zhǎng)刀具使用壽命，減少換刀頻率，提高加工效率，降低加工成本。
[0006]但是，隨著研究和應(yīng)用的進(jìn)一步深入，發(fā)現(xiàn)隨著金剛石晶粒尺寸的減小，涂層中的非金剛石相逐漸增多，硬度下降。而且現(xiàn)有多層金剛石涂層主要是在亞微米金剛石涂層表面在鍍上一層納米金剛石涂層或者超細(xì)納米金剛石涂層的雙層周期性多層復(fù)合涂層，這種制備方法以亞微米金剛石涂層為支持層，支持層中存在非金剛石相，硬度及其耐磨性能較微米金剛石層有一定程度的降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，提供一種多層金剛石涂層及其制備方法，以解決現(xiàn)有多層金剛石涂層硬度不高的技術(shù)問(wèn)題。
[0008]本發(fā)明的另一目的在于提供一種涂層工具，以解決表面涂有現(xiàn)有多層金剛石涂層工具由于現(xiàn)有多層金剛石涂層存在的硬度不高而導(dǎo)致工具耐磨性不高和使用壽命短的技術(shù)問(wèn)題。
[0009]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，作為本發(fā)明的一方面，提供了一種多層金剛石涂層。所述金剛石涂層包括至少一復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元，所述復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元包括微米晶金剛石涂層和依次生長(zhǎng)在所述微米晶金剛石涂層表面的納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層。
[0010]作為本發(fā)明的另一方面，提供了一種多層金剛石涂層的制備方法，其包括如下制備步驟:
[0011]將用于在其表面生成金剛石的基底進(jìn)行表面預(yù)處理后置于金剛石懸浮液中進(jìn)行表面接種處理，取出后進(jìn)行干燥處理；
[0012]將經(jīng)干燥處理后的所述基底置于真空沉積腔體內(nèi)，采用熱絲化學(xué)氣相沉積法在所述基底表面至少一次的進(jìn)行依次沉積生長(zhǎng)微米晶金剛石涂層、納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層的步驟。
[0013]作為本發(fā)明的又一方面，提供了一種涂層工具。所述涂層工具包括工具本體，在所述工具本體的表面上還結(jié)合有本發(fā)明多層金剛石涂層，且位于所述多層金剛石涂層端面的所述微米晶金剛石涂層與所述工具本體表面結(jié)合。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明多層金剛石涂層以微米晶金剛石層為支持層，并結(jié)合納米晶金剛石層與超細(xì)納米晶金剛石層的三層或以該三層為周期性生長(zhǎng)的多層復(fù)合涂層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效提高了本發(fā)明多層金剛石涂層的硬度和耐磨性，降低表面粗超度、摩擦系數(shù)和涂層應(yīng)力，并提高涂層韌性。
[0015]本發(fā)明多層金剛石涂層的制備方法采用熱絲化學(xué)氣相沉積法，以微米晶金剛石層作為支撐層，再生長(zhǎng)納米晶金剛石層和超細(xì)納米晶金剛石層的三層或者該三層周期性生長(zhǎng)，不僅有效利用了微米涂層的高硬度的特性，同時(shí)也有效利用了納米涂層和超細(xì)納米涂層的低粗糙度和摩擦系數(shù)等特性。本發(fā)明方法還使得各層間的致密性好，抗耐磨性得到提高，表面更為光滑，涂層內(nèi)應(yīng)力減小。
[0016]本發(fā)明涂層工具由于在其表面結(jié)合有本發(fā)明多層金剛石涂層，因此，本發(fā)明合金工具抗硬度高，刀具表面更為光滑，摩擦力小，耐磨性高，使用壽命長(zhǎng)，且多層金剛石涂層與工具本體結(jié)合牢固，更有利于精密加工，降低加工成本，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層制備方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例與附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0021]一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種具有高硬度和耐磨性的多層金剛石涂層。本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示，其包括至少一復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元，所述復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元包括微米晶金剛石涂層和依次生長(zhǎng)在所述微米晶金剛石涂層表面的納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層。
[0022]因此，本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層具有以下幾種實(shí)施方案:
[0023]—實(shí)施例，本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層只包括一個(gè)復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元，具體如圖1所示。該復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元1包括依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層11、納米晶金剛石涂層12和超細(xì)納米晶金剛石涂層13。也即是在本實(shí)施例中，該多層金剛石涂層包括依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層11、納米晶金剛石涂層12和超細(xì)納米晶金剛石涂層13。
[0024]另一實(shí)施例，本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層包括兩個(gè)復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元，即復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元1和復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元2，具體如圖2所示。該復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元1包括依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層11、納米晶金剛石涂層12和超細(xì)納米晶金剛石涂層13;復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元2包括依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層21、納米晶金剛石涂層22和超細(xì)納米晶金剛石涂層23。沿著所述微米晶金剛石涂層至超細(xì)納米晶金剛石涂層為單元重復(fù)的方向該復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元1和復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元2生長(zhǎng)結(jié)合。也即是在本實(shí)施例中，多層金剛石涂層是以依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層、納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層構(gòu)成的重復(fù)單元或者周期性單元。
[0025]在又一實(shí)施例中，本發(fā)明實(shí)施例多層金剛石涂層包括三個(gè)以上的復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元。在本實(shí)施例中，每個(gè)復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元均包括依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層、納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層;沿著所述微米晶金剛石涂層至超細(xì)納米晶金剛石涂層為單元重復(fù)的方向各復(fù)合金剛石涂層結(jié)構(gòu)單元依次生長(zhǎng)結(jié)合。也即是在本實(shí)施例中，多層金剛石涂層是以依次生長(zhǎng)結(jié)合的微米晶金剛石涂層、納米晶金剛石涂層和超細(xì)納米晶金剛石涂層構(gòu)成的重復(fù)單元或者周期性單元。
[0026]在優(yōu)選實(shí)施例中，當(dāng)本發(fā)明實(shí)施例