鋁靶材的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶面板的制造領(lǐng)域，尤其涉及一種鋁靶材的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)面板廠在6代線以上所用的配線通常為鋁配線。鋁配線通常利用物理氣相沉積技術(shù)形成，即通常通過鋁靶材濺射的方式形成膜層，然后采用刻蝕工藝刻蝕膜層形成鋁配線。
[0003]鋁靶材通常由純鋁制作。現(xiàn)有鋁靶材的制作過程通常包括提供鋁錠，并對(duì)鋁錠進(jìn)行第一熱處理，然后對(duì)第一熱處理后的鋁錠進(jìn)行鍛打，以形成第一鋁靶材坯料，再對(duì)第一鋁靶材坯料進(jìn)行第二熱處理，在第二熱處理后，對(duì)第一鋁靶材坯料進(jìn)行軋制，形成第二鋁靶材坯料，最后對(duì)第二鋁靶材坯料進(jìn)行第三次熱處理，以使第二鋁靶材坯料中的晶粒再結(jié)晶，從而形成鋁靶材。
[0004]然而，現(xiàn)有鋁靶材的制造方法通常無法達(dá)到高世代TFT-1XD面板的使用需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明解決的問題是提供一種鋁靶材的制造方法，以使得制造形成的鋁靶材滿足達(dá)到高世代TFT-1XD面板的使用需求。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種鋁靶材的制造方法，包括:
[0007]提供鋁錠；
[0008]對(duì)所述鋁錠進(jìn)行第一熱處理；
[0009]在所述第一熱處理后，對(duì)所述鋁錠進(jìn)行鍛打以形成第一鋁靶材坯料；
[0010]對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行第二熱處理；
[0011 ] 在所述第二熱處理后，對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行軋制以形成第二鋁靶材坯料；
[0012]將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起；
[0013]對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料同時(shí)進(jìn)行第三熱處理，以形成鋁靶材。
[0014]可選的，所述第二鋁靶材坯料的形狀呈長(zhǎng)方體，所述長(zhǎng)方體中面積最大的兩個(gè)表面為主表面，其它表面為側(cè)面；將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起的步驟包括:將相鄰兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料中，第一個(gè)所述第二鋁靶材坯料的其中一個(gè)所述主表面與第二個(gè)所述第二鋁靶材坯料的其中一個(gè)所述主表面至少部分疊合在一起。
[0015]可選的，將全部所述第二鋁靶材坯料按階梯錯(cuò)開式疊合，以使相互疊合的所述主表面至少有部分暴露在外，并在每個(gè)所述第二鋁靶材坯料的所述主表面連接一個(gè)熱電偶。
[0016]可選的，將全部所述第二鋁靶材坯料按完全重疊式疊合，以使相互疊合的所述主表面完全重疊在一起，并在每個(gè)所述第二鋁靶材坯料的所述側(cè)面連接一個(gè)熱電偶。
[0017]可選的，接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料具有兩個(gè)完全暴露在外的所述主表面，采用鋁板與至少其中一個(gè)完全暴露在外的所述主表面疊合。
[0018]可選的，還包括:對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料進(jìn)行捆綁，在捆綁后對(duì)所述第二鋁靶材坯料進(jìn)行所述第三熱處理。
[0019]可選的，將三個(gè)、四個(gè)或者五個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起。
[0020]可選的，所述第三熱處理的熱處理溫度為245 °C?255 °C，熱處理時(shí)間為14.5min ?15.5min。
[0021]可選的，所述第二熱處理的熱處理溫度為395 °C?405 °C，熱處理時(shí)間為29.5min ?30.5min。
[0022]可選的，所述第一熱處理的熱處理溫度為295 °C?305 °C，熱處理時(shí)間為29.5min ?30.5min。。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0024]本發(fā)明的技術(shù)方案中，首先提供鋁錠，并對(duì)所述鋁錠進(jìn)行第一熱處理，在所述第一熱處理后，對(duì)所述鋁錠進(jìn)行鍛打以形成第一鋁靶材坯料，然后對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行第二熱處理，在所述第二熱處理后，對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行軋制以形成第二鋁靶材坯料，之后將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起，對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料同時(shí)進(jìn)行第三熱處理，以形成鋁靶材。由于先將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起，再對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料同時(shí)進(jìn)行第三熱處理，因此，在第三熱處理時(shí)，接觸在一起的第二鋁靶材坯料之間會(huì)發(fā)生熱傳遞，而鋁靶材坯料本身是金屬材料，金屬的導(dǎo)熱性能良好，因此在第三熱處理過程中，接觸在一起的第二鋁靶材坯料各部分溫度能夠達(dá)到均勻，從而使熱處理后得到的鋁靶材中，不僅將晶粒大小控制在100 μ m以下，而且不同鋁靶材之間的晶粒大小均一。此外，由于一次對(duì)至少兩個(gè)第二鋁靶材坯料進(jìn)行第三熱處理，還同時(shí)提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0025]進(jìn)一步，所述第二鋁靶材坯料的形狀呈長(zhǎng)方體，所述長(zhǎng)方體中面積最大的兩個(gè)表面為主表面；將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起的步驟包括:將相鄰兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料中，第一個(gè)所述第二鋁靶材坯料的其中一個(gè)所述主表面與第二個(gè)所述第二鋁靶材坯料的其中一個(gè)所述主表面至少部分疊合在一起。此時(shí)，接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料具有兩個(gè)完全暴露在外的所述主表面，采用鋁板與至少其中一個(gè)完全暴露在外的所述主表面疊合。由于采用鋁板與至少其中一個(gè)完全暴露在外的所述主表面疊合，因此能夠使各個(gè)第二鋁靶材坯料的受熱條件更加一致，從而進(jìn)一步提高了最終形成的鋁靶材中晶粒大小的均一性。
【附圖說明】
[0026]圖1至圖4是本發(fā)明實(shí)施例所提供的鋁靶材的制造方法各步驟對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]現(xiàn)有鋁靶材的制造方法通常需要經(jīng)過三次熱處理。然而，現(xiàn)有的熱處理方式針對(duì)6代線以上的鋁靶材時(shí)，常常無法達(dá)到相應(yīng)的處理要求。這是因?yàn)?代線以上的TFT-1XD面板使用的鋁靶材本身尺寸較大，往往很難控制鋁靶材在熱處理爐內(nèi)溫度的均一性。例如而
8.5代線的鋁靶材面積為2650mmX210mm，現(xiàn)有與之匹配的熱處理爐中，爐溫傳遞至鋁靶材各個(gè)方位的溫度往往有差異。此外，對(duì)于6代線以上的TFT-LCD面板，當(dāng)在玻璃基板上形成鋁配線時(shí)，需要同時(shí)使用多個(gè)鋁靶材一起濺射。例如6代線的TFT-LCD面板需要同時(shí)使用10個(gè)鋁靶材，而8.5代線的TFT-LCD面板更是要求12個(gè)為一組的大型鋁靶材同時(shí)使用，以在玻璃基板的整面上形成相應(yīng)的鋁配線。由于需要同時(shí)使用一組多個(gè)大型鋁靶材，因此，要求嚴(yán)格控制最終熱處理后晶粒的均一性。具體的，為滿足6代線以上的TFT-LCD面板的使用要求，要求同一組中各達(dá)到以下兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn):
[0028]1、鋁靶材晶粒大小控制在100 μ m以下；
[0029]2、保持不同鋁靶材之間的晶粒大小均一。
[0030]可見，6代線以上TFT-1XD面板所用的鋁靶材中，通常是多個(gè)(例如10個(gè)或12個(gè))為一套配合使用，要使每一片的鋁靶材熱處理溫度分布均勻更加困難?，F(xiàn)有制造方法中，逐個(gè)地對(duì)鋁靶材坯料進(jìn)行熱處理，因此不同鋁靶材之間的晶粒大小均一性很難控制，易出現(xiàn)不同鋁靶材之間的晶粒大小不夠均一的情況，無法滿足6代線以上TFT-LCD面板的使用要求。
[0031]為此，本發(fā)明提供一種新的鋁靶材的制造方法，所述制造方法首先提供鋁錠，并對(duì)所述鋁錠進(jìn)行第一熱處理，在所述第一熱處理后，對(duì)所述鋁錠進(jìn)行鍛打以形成第一鋁靶材坯料，然后對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行第二熱處理，在所述第二熱處理后，對(duì)所述第一鋁靶材坯料進(jìn)行軋制以形成第二鋁靶材坯料，之后將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起，對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料同時(shí)進(jìn)行第三熱處理，以形成鋁靶材。
[0032]由于先將至少兩個(gè)所述第二鋁靶材坯料接觸在一起，再對(duì)接觸在一起的所述第二鋁靶材坯料同時(shí)進(jìn)行第三熱處理，因此，在第三熱處理時(shí)，各第二鋁靶材坯料之間會(huì)發(fā)生熱傳遞，而鋁靶材坯料本身是金屬材料，金屬的導(dǎo)熱性能良好，因此在第三熱處理的保溫過程中，能夠使接觸在一起的各第二鋁靶材坯料各部分溫度達(dá)到均勻，從而使熱處理后的鋁靶材晶粒大小控制在100 μ m以下，且不同鋁靶材之間的晶粒大小均一。此外，由于一次對(duì)至少兩個(gè)第二鋁靶材坯料進(jìn)行第三熱處理，還同時(shí)提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0033]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。
[0034]本發(fā)明實(shí)施例提供一