S3中，先固定掩模板組件中間掩模單元，再依次交替固定兩側(cè)相鄰的掩模單元。參考圖7，①②③④⑤⑥⑦⑧⑨分別代表相應(yīng)掩模單元的安裝順序，即在本實(shí)施例中按照先將中間掩模單元固定在掩?？蚣?3上，然后依次固定遠(yuǎn)離中間位置的掩模單元。在實(shí)際安裝過程中時(shí)，可預(yù)先對(duì)掩模框架73兩側(cè)(即用于固定掩模單元的兩邊)施加一定的壓力，并在固定完成后進(jìn)行釋放(或在固定過程中逐步釋放)，以更好的提高掩模單元上掩模板蒸鍍區(qū)80內(nèi)小開口的位置精度。
[0049]作為以上一更為具體的實(shí)施方式，構(gòu)成掩模板組件掩模單元的掩模支撐層72是通過激光焊接工藝直接固定在掩?？蚣?3上。本發(fā)明的掩模板組件還可以通過其它方式進(jìn)行組裝，比如采用膠粘、機(jī)械固定等方式，也可以采用其它組裝順序進(jìn)行組裝。
[0050]以上所公開掩模板組件的具體組裝方式僅用以展示本發(fā)明的可行性，不作為對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明的掩模板組件還可以通過其它方式進(jìn)行組裝，比如采用膠粘、機(jī)械固定等方式，也可以采用其它組裝順序進(jìn)行組裝。
[0051 ]另外，以下是對(duì)本發(fā)明以上實(shí)施例的進(jìn)一步補(bǔ)充，如圖9(或圖15、圖16)所示，構(gòu)成本發(fā)明掩模單元的掩模支撐層72兩端具有用于夾持的外部夾持端720，外部夾持端720是在掩模支撐層72兩端延伸形成，外部夾持端720—般設(shè)置有多個(gè)由于夾持的夾持端部7200。一具體實(shí)施例中，掩模支撐層72兩端的外部夾持端720與掩模開口層兩端的支撐層非開口區(qū)722通過凹槽701連接，凹槽701可以與掩模支撐層72上陣列孔圖形區(qū)721的小開口 7210同步形成。具體的，凹槽701可通過蝕刻或激光切割形成。在另一些具體實(shí)施例中，掩模開口層72兩端的外部夾持端720與掩模開口層兩端的支撐層非開口區(qū)722之間也可以不具有凹槽701，如此設(shè)計(jì)在后續(xù)的掩模板組裝過程中，需要采用機(jī)械切除或激光切割的方式去除掩模開口層72兩端的外部夾持端720。
[0052]根據(jù)本專利【背景技術(shù)】中對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所述，現(xiàn)有技術(shù)構(gòu)成掩模組件的掩模單元結(jié)構(gòu)難以進(jìn)一步提高掩模蒸鍍區(qū)內(nèi)通孔的位置精度，從而對(duì)后續(xù)OLED基板上蒸鍍沉積有機(jī)材料的位置精度帶來局限。本發(fā)明所提供的以上技術(shù)方案掩模單元由兩層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，掩模層的掩模開口區(qū)與掩模支撐層的陣列孔圖形區(qū)局部區(qū)域共同構(gòu)成掩模板蒸鍍區(qū)，合理的設(shè)計(jì)可以有效的提高構(gòu)成的掩模板組件掩模板蒸鍍區(qū)內(nèi)通孔的位置精度，從而制備出性能優(yōu)異的OLED產(chǎn)品。
[0053]另外，本發(fā)明的S3步驟之后還包括以下步驟:
S4:外部夾持端去除步驟，通過機(jī)械撕除或激光切除的方式去除所述掩模支撐層兩端的外部夾持端，從而得到完整的掩模板組件
本發(fā)明中，任何提及“一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0054]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其包括以下步驟: S1:掩模支撐層制作步驟，制作表面具有陣列孔圖形區(qū)的掩模支撐層，所述陣列孔圖形區(qū)由連續(xù)小開口陣列構(gòu)成； S2:掩模層制作步驟，在制作完成的掩模支撐層一表面涂布或壓貼一層有機(jī)感光材料，并通過曝光、顯影工藝形成掩模層，所述掩模層上設(shè)置有若干掩模開口區(qū)，所述掩模開口區(qū)由通孔陣列形成，所述掩模層與所述掩模支撐層共同構(gòu)成掩模單元； S3:掩模組件組裝步驟，將掩模單元繃緊拉平后按一定的規(guī)則固定在掩?？蚣苌?，形成掩模板組件； 其特征在于，所述掩模板組件包含至少一組掩模單元，所述掩模層貼合的設(shè)置在掩模支撐層上表面，所述掩模單元通過掩模支撐層固定在所述掩模框架上;所述掩模支撐層上設(shè)置有連續(xù)小開口構(gòu)成的陣列孔圖形區(qū);所述掩模支撐層上陣列孔圖形區(qū)的覆蓋范圍能夠完全覆蓋所述掩模層上的掩模開口區(qū)，所述掩模層上的掩模開口區(qū)與所述掩模支撐層上陣列孔圖形區(qū)重合部分構(gòu)成掩模板蒸鍍區(qū)；在所述掩模板蒸鍍區(qū)內(nèi)部，構(gòu)成所述掩模層掩模開口區(qū)的通孔與構(gòu)成所述掩模支撐層陣列孔圖形區(qū)的小開口共同形成蒸鍍通道。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述掩模層掩模開口區(qū)內(nèi)通孔的尺寸不大于所述掩模支撐層陣列孔圖形區(qū)上小開口的尺寸。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述掩模層掩模開口區(qū)內(nèi)通孔的尺寸小于所述掩模支撐層陣列孔圖形區(qū)上小開口的尺寸，且每個(gè)掩模開口區(qū)的通孔處于相應(yīng)陣列孔圖形區(qū)的小開口內(nèi)部。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述SI步驟中的掩模支撐層由金屬材質(zhì)制成，其通過激光工藝、電鑄工藝、蝕刻工藝中的一種或多種工藝結(jié)合制作形成。5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述掩模組件組裝步驟S3中，先固定掩模板組件中間掩模單元，再依次交替固定兩側(cè)相鄰的掩模單元。6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，在所述掩模支撐層的長度方向上，所述掩模支撐層上陣列孔圖形區(qū)的區(qū)域形狀為矩形、兩端為燕尾型或兩端部為收縮型。7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述S3步驟中，構(gòu)成所述掩模板組件掩模單元的掩模支撐層通過激光焊接工藝直接固定在所述掩?？蚣苌?。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，構(gòu)成所述掩模單元的掩模支撐層兩端具有用于夾持的外部夾持端，所述外部夾持端是在所述掩模單元的長度方向上在掩模支撐層兩端延伸形成。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述掩模支撐層兩端的外部夾持端與所述掩模支撐層兩端通過凹槽連接，所述掩模支撐層上的凹槽通過蝕刻或激光切割形成。10.根據(jù)權(quán)利要求7、8或9所述的OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其特征在于，所述S3步驟之后還包括以下步驟: S4:外部夾持端去除步驟，通過機(jī)械撕除或激光切除的方式去除所述掩模支撐層兩端的外部夾持端。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種OLED蒸鍍用掩模板組件制作方法，其包括以下步驟：S1掩模支撐層制作步驟、S2掩模層制作步驟、S3掩模組件組裝步驟，通過該方法制作的掩模板組件包含至少一組掩模單元，所述掩模單元由掩模層、掩模支撐層兩層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，通過合理設(shè)置掩模層、掩模支撐層的兩層結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提供的掩模板組件能夠具有較高的位置精度，能夠較好的滿足后續(xù)OLED基板表面有機(jī)材料的沉積，有效提高OLED產(chǎn)品的質(zhì)量。
【IPC分類】C23C14/12, C23C14/04, C23C14/24
【公開號(hào)】CN105714246
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610198879
【發(fā)明人】魏志凌, 潘世珎, 林偉, 張煒平
【申請(qǐng)人】昆山允升吉光電科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年4月1日