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      藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置和真空計(jì)模塊的制作方法

      文檔序號(hào):12252071閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,包括殼體(2)、下隔離板(4)、分子篩層(3),所述殼體(2)下方設(shè)置有開口,該開口處設(shè)置有下隔離板(4),在殼體(2)內(nèi)所述下隔離板(4)的上方設(shè)置有分子篩層(3)。在上隔離板(1)上裝置有真空計(jì)(5)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,還包括殼體(2)上方設(shè)置有開口,該開口處設(shè)置有上隔離板,真空計(jì)(5)上隔離板上方。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,所述分子篩層(3)為若干氧化鋁球組成的氧化鋁球?qū)印?/p>

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,所述下隔離板(4)上設(shè)置有若干篩孔。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,所述篩孔為圓形篩孔,篩孔直徑1~2mm,氧化鋁球直徑3mm~5mm。

      6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,所述分子篩層(3)為若干氧化鋁球組成的氧化鋁球?qū)?,所述上隔離板(1)上設(shè)置有篩孔,所述篩孔為圓形篩孔,且該圓形篩孔直徑小于所述氧化鋁球的直徑。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置,其特征在于,所述殼體(2)為管狀殼體。

      8.設(shè)置有權(quán)利要求1~7任一所述藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)模塊,其特征在于,包括所述藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)防污染裝置。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的藍(lán)寶石單晶爐真空計(jì)模塊,其特征在于,還包括真空計(jì)裝置與上隔離板之上。

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