技術總結
本發(fā)明提供的一種高穩(wěn)定性全熔高效坩堝的噴涂及熔化工藝控制方法,包括步驟一利用手工噴涂的方式噴涂在坩堝底部、步驟二利用手工或者機械噴涂的方式噴涂在坩堝側壁、步驟三將硅料裝入上述坩堝中,投入鑄錠爐后抽真空、加熱、熔化,待硅料全部熔化結束后降溫、提升隔熱籠進入長晶,步驟簡單,制備方便,通過將坩堝底部與坩堝側部分開噴涂及底部噴涂手法控制,確保了底部形核源所形成的凹凸感不被氮化硅粉所掩埋,高效成活率在99.8%以上;同時通過合理的熔化工藝控制,在確保高效形成率的基礎上,粘鍋裂紋率大幅降低到0.1%以內,大大降低了高效鑄錠成本。
技術研發(fā)人員:劉明權;梅森;陳董良;王祿寶
受保護的技術使用者:鎮(zhèn)江環(huán)太硅科技有限公司
文檔號碼:201610845016
技術研發(fā)日:2016.09.23
技術公布日:2017.05.17