1.一種電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，包括反應(yīng)釜和設(shè)置在該反應(yīng)釜內(nèi)的坩堝，坩堝內(nèi)填充有反應(yīng)物溶液，坩堝內(nèi)底面放置有被反應(yīng)物溶液浸沒(méi)的晶種模板，反應(yīng)釜上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)口和排氣口，其特征在于，還包括電裝置，該電裝置包括電壓源、上電極和下電極，上電極和下電極分別通過(guò)導(dǎo)線與電壓源連接，上電極延伸至坩堝內(nèi)且位于反應(yīng)物溶液的液面上方，下電極設(shè)在反應(yīng)物溶液內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，所述上電極由金屬支撐棒和金屬平板組成，金屬平板安裝在金屬支撐棒下端，金屬支撐棒通過(guò)導(dǎo)線與電壓源連接，金屬平板位于反應(yīng)物溶液的液面上方。
3.一種電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，包括反應(yīng)釜和設(shè)置在該反應(yīng)釜內(nèi)的坩堝，坩堝內(nèi)填充有反應(yīng)物溶液，坩堝內(nèi)底面放置有被反應(yīng)物溶液浸沒(méi)的晶種模板，反應(yīng)釜上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)口和排氣口，其特征在于，還包括電裝置，該電裝置包括電壓源、上電極和下電極，上電極和下電極分別通過(guò)導(dǎo)線與電壓源連接，上電極延伸至坩堝內(nèi)且位于反應(yīng)物溶液的液面上方，下電極設(shè)在反應(yīng)物溶液內(nèi)并且與晶種模板連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，所述上電極由金屬支架和安裝在該金屬支架下端的導(dǎo)電金屬板組成，金屬支架通過(guò)導(dǎo)線與電壓源連接，導(dǎo)電金屬板位于反應(yīng)物溶液的液面上方，并且反應(yīng)釜上設(shè)有氮等離子體進(jìn)入口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，所述氮等離子體進(jìn)入口設(shè)置在導(dǎo)電金屬板與反應(yīng)物溶液的液面之間對(duì)應(yīng)的反應(yīng)釜部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)裝置，其特征在于，所述上電極為金屬探針。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的電輔助的氮化物晶體生長(zhǎng)方法，包括以下步驟：
設(shè)置一個(gè)位于坩堝內(nèi)的反應(yīng)物溶液的液面上方的上電極以及一個(gè)位于反應(yīng)物溶液內(nèi)的下電極；
通過(guò)電壓源向上電極和下電極通電產(chǎn)生放電現(xiàn)象，在上電極和反應(yīng)物溶液之間形成電場(chǎng)；
使電場(chǎng)對(duì)坩堝內(nèi)的氮?dú)膺M(jìn)行電離，并且使溶液表面多晶層分解，重新融入反應(yīng)物溶液中。