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      一種BN?SiC復(fù)合顆粒及其制備方法與流程

      文檔序號:11100846閱讀:1295來源:國知局
      一種BN?SiC復(fù)合顆粒及其制備方法與制造工藝

      本發(fā)明涉及一種陶瓷復(fù)合材料的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種BN包覆SiC復(fù)合顆粒及其制備方法。



      背景技術(shù):

      鋁基復(fù)合材料是以鋁及鋁合金為基體,與顆粒增強(qiáng)體人工合成的復(fù)合材料,是具有發(fā)展?jié)摿Φ慕饘倩鶑?fù)合材料之一,具有比強(qiáng)度和比剛度高、高溫性能好、更耐疲勞和更耐磨、阻尼性能好和熱膨脹系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)。

      目前用于鋁基復(fù)合材料的增強(qiáng)顆粒材料有SiC、Al2O3等。SiC陶瓷具有密度低、高溫強(qiáng)度大、抗氧化性強(qiáng)、耐磨損性好、熱穩(wěn)定性好、熱膨脹系數(shù)小、熱導(dǎo)率大、硬度高、抗熱震、耐化學(xué)腐蝕和優(yōu)異的綜合性能等優(yōu)良特性。然而Al基體和SiC顆粒之間的界面結(jié)合不理想,SiC增強(qiáng)體材料與Al熔體的潤濕角大于90°,金屬液體很難浸入到增強(qiáng)材料之間,就會造成材料內(nèi)部形成大量空洞缺陷,這極大的限制了SiCp/Al復(fù)合材料的進(jìn)一步應(yīng)用和發(fā)展。

      現(xiàn)有技術(shù)中通常通過添加合金元素或者物理化學(xué)清洗的方法來提高陶瓷顆粒的潤濕性。合金元素包括鎂、鈣、鈦、鋯等元素,通過在液態(tài)法制備SiC/Al復(fù)合材料的過程中加入合金元素來降低鋁熔體的表面張力,減少熔體的固液界面能,從而提高陶瓷顆粒的潤濕性,但是合金元素的加入容易造成陶瓷顆粒的團(tuán)聚現(xiàn)象,造成陶瓷顆粒在鋁熔體中分布不均;物理化學(xué)清洗能除去顆粒表面的氧化膜和污染物,改善陶瓷顆粒與鋁熔體的潤濕性,但是其效果不佳。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      有鑒于此,本發(fā)明目的在于提供一種BN-SiC復(fù)合顆粒及其制備方法,在SiC顆粒表面包覆BN鍍層,將包覆有BN鍍層的SiC復(fù)合顆粒應(yīng)用于鋁基復(fù)合材料的制備,可以極大的提高SiC顆粒與鋁基體的潤濕性。

      為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:

      本發(fā)明提供了一種BN-SiC復(fù)合顆粒,包括SiC顆粒和包覆在所述SiC顆粒外的BN鍍層,所述BN鍍層的厚度為0.5~20μm;

      優(yōu)選的SiC顆粒的粒徑為0.05~700μm;

      優(yōu)選的BN-SiC復(fù)合顆粒的粒徑為0.6~720μm;

      本發(fā)明提供了一種上述方案所述復(fù)合顆粒的制備方法,采用磁控濺射法在SiC顆粒表面沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒;

      優(yōu)選的磁控濺射法具體包括以下步驟:

      (1)將SiC顆粒裝入工裝,對真空腔進(jìn)行抽真空;

      (2)向所述抽真空后的真空腔內(nèi)充入惰性氣體;

      (3)將SiC顆粒溫度加熱至300~500℃;

      (4)控制超聲波振動頻率為(0W,350W],樣品臺擺動頻率為1~150次/分鐘,在SiC顆粒表面磁控濺射沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒;

      優(yōu)選的步驟(1)中真空腔抽真空后的真空度為4×10-4~4×10-3Pa;

      優(yōu)選的步驟(2)中充入惰性氣體至真空腔內(nèi)氣壓為0.1~15Pa;

      優(yōu)選的步驟(4)中磁控濺射的功率為100~250W;

      優(yōu)選的步驟(4)中磁控濺射的時間為2~6h;

      優(yōu)選的磁控濺射沉積BN鍍層后還包括:將BN-SiC復(fù)合顆粒保溫20~60min的步驟。

      本發(fā)明提供了一種BN-SiC復(fù)合顆粒,包括SiC顆粒和包覆在所述SiC顆粒外的BN鍍層,所述BN鍍層的厚度為0.5~20μm。本發(fā)明提供的BN-SiC復(fù)合顆粒BN鍍層均勻,極大的提高了SiC顆粒與鋁基體的潤濕性,為SiCp/Al復(fù)合材料的進(jìn)一步應(yīng)用和發(fā)展提供了基礎(chǔ)。實驗結(jié)果表明,BN包覆后的SiC顆粒與Al液的潤濕角由未包覆前的105°減小到25~70°,潤濕性顯著提高。

      本發(fā)明提供了一種BN-SiC復(fù)合顆粒的制備方法,采用磁控濺射法在SiC顆粒表面沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒。本申請?zhí)峁┑闹苽浞椒ú僮鞑襟E簡單,得到的BN鍍層厚度均勻,致密性好,容易實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。

      附圖說明

      圖1為未包覆BN鍍層的SiC顆粒與鋁液的潤濕角圖,潤濕角θ=105°;

      圖2為實施例1制備的SiC-BN復(fù)合顆粒與鋁液的潤濕角圖,潤濕角θ=29°。

      具體實施方式

      本發(fā)明提供了一種BN-SiC復(fù)合顆粒,包括SiC顆粒和包覆在所述SiC顆粒外的BN鍍層,所述BN鍍層的厚度為0.5~20μm。

      本發(fā)明提供的BN-SiC復(fù)合顆粒包括包括SiC顆粒。在本發(fā)明中,所述SiC顆粒的粒徑優(yōu)選為0.05~700μm,更優(yōu)選為1~500μm,最優(yōu)選為100~400μm。

      本發(fā)明提供的BN-SiC復(fù)合顆粒包括包覆在所述SiC顆粒表面的BN鍍層,所述BN鍍層的厚度為0.5~20μm。在本發(fā)明中,所述BN鍍層的厚度優(yōu)選為1~15μm,更優(yōu)選為5~12μm,最優(yōu)選為6~10μm。

      在本發(fā)明中,所述BN-SiC復(fù)合顆粒的粒徑優(yōu)選為0.6~720μm,更優(yōu)選為10~650μm,最優(yōu)選為100~500μm。

      本發(fā)明通過在SiC顆粒表面包覆BN鍍層提高SiC顆粒與鋁基體的潤濕性,在制備SiC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料時,SiC顆粒表面包覆的BN鍍層與空氣中的O2反應(yīng)生成B2O3,B2O3更容易與熔體中的Al、Mg發(fā)生反應(yīng),生成可以提高鋁基復(fù)合材料潤濕性的MgAl2O4,從而提高SiC顆粒增強(qiáng)體和鋁基體的潤濕性,使二者能夠獲得良好的界面結(jié)合。

      本發(fā)明提供了一種上述方案所述復(fù)合顆粒的制備方法,采用磁控濺射法在SiC顆粒表面沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒。在本發(fā)明中,所述磁控濺射法優(yōu)選為射頻磁控濺射法。

      在本發(fā)明中,所述磁控濺射法優(yōu)選具體包括以下步驟:

      (1)將SiC顆粒裝入工裝,對真空腔進(jìn)行抽真空;

      (2)向所述抽真空后的真空腔內(nèi)充入惰性氣體;

      (3)將SiC顆粒溫度加熱至300~500℃;

      (4)控制超聲波振動頻率為(0W,350W],樣品臺擺動頻率為1~150次/分鐘,在SiC顆粒表面磁控濺射沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒。

      本發(fā)明將SiC顆粒裝入工裝,對真空腔進(jìn)行抽真空。在本發(fā)明中,所述抽真空后真空腔內(nèi)的真空度優(yōu)選為4×10-4~4×10-3Pa,更優(yōu)選為1×10-3~3×10-3Pa,更優(yōu)選為1.5×10-3~2.5×10-3Pa。

      抽真空后,本發(fā)明向所述抽真空后的真空腔內(nèi)充入惰性氣體。在本發(fā)明中,所述惰性氣體優(yōu)選為氬氣Ar,氪氣Kr,氙氣Xe,氖氣Ne和氮?dú)釴2中的一種,更優(yōu)選為氬氣Ar,氪氣Kr和氙氣Xe中的一種,最優(yōu)選為氬氣Ar。

      本發(fā)明優(yōu)選充入惰性氣體至真空腔內(nèi)氣壓為0.1~15Pa,更優(yōu)選為5~10Pa。

      充入惰性氣體后,本發(fā)明將SiC顆粒加熱至300~500℃。在本發(fā)明中,所述碳化硅顆粒的加熱溫度優(yōu)選為350~450℃,更優(yōu)選為360~400℃。本發(fā)明通過對作為基體的SiC顆粒進(jìn)行加熱促進(jìn)薄膜和基體原子的相互擴(kuò)散,促進(jìn)BN鍍層和SiC顆粒形成擴(kuò)散附著和化學(xué)鍵附著,提高BN鍍層的附著力。

      加熱至設(shè)定溫度后,本發(fā)明控制超聲波振動頻率為(0W,350W],樣品臺擺動頻率為1~150次/分鐘,在SiC顆粒表面磁控濺射沉積BN鍍層,得到BN-SiC復(fù)合顆粒。在本發(fā)明中,所述超聲波振動頻率優(yōu)選為10~300W,更優(yōu)選為100~250W,最優(yōu)選為150~200W;所述樣品臺擺動頻率優(yōu)選為10~120次/分鐘,更優(yōu)選為50~100次/分鐘,最優(yōu)選為60~80次/分鐘。

      在本發(fā)明中,所述磁控濺射的功率優(yōu)選為100~250W,更優(yōu)選為150~230W,最優(yōu)選為180~220W;所述磁控濺射的時間優(yōu)選為2~6h,更優(yōu)選為3~6h,最優(yōu)選為3.5~5.5h。

      在本發(fā)明中,所述BN為濺射靶材,BN靶材的尺寸優(yōu)選為Φ90~110mm×5mm,更優(yōu)選為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度優(yōu)選為99.999~99.9999%,BN靶材表面平整,無縮孔和疏松。在磁控濺射過程中,在真空環(huán)境下,在電場的作用下,惰性氣體發(fā)生輝光放電而電離,大量的惰性氣體離子在電場中得到加速并轟擊BN靶材表面,使BN靶材材料以原子狀態(tài)脫離靶面飛濺出來,沉積到SiC顆粒表面形成BN薄膜。

      本發(fā)明通過調(diào)整樣品臺擺動頻率和超聲波振動頻率,使每個SiC顆粒都能夠在滾動的同時不斷的振動,從而使每個顆粒都有機(jī)會暴露其表面,從而得到厚度均勻的BN鍍層。

      本發(fā)明優(yōu)選使用射頻磁控濺射鍍膜機(jī)在SiC顆粒表面鍍BN膜層,鍍膜過程優(yōu)選包括以下步驟:

      將SiC顆粒裝入工裝,采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空;

      開啟氣體流量計,向真空腔內(nèi)充入惰性氣體;

      開啟樣品臺加熱裝置,將襯底SiC顆粒加熱至300~500℃;

      開啟超聲波和樣品臺擺動裝置,控制超聲波頻率為(0W,350W],樣品臺的擺動頻率為1~150次/分鐘;

      開啟BN靶材,控制射頻磁控濺射頻率,在SiC顆粒表面進(jìn)行磁控濺射沉積BN鍍層;

      所述鍍膜后,關(guān)閉射頻電源,進(jìn)行保溫;

      所述保溫后,依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      在本發(fā)明中,所述真空腔的真空度、真空腔內(nèi)氣壓、磁控濺射沉積BN鍍層的頻率和時間、保溫時間與上述方案所述相同,在此不再贅述。

      下面結(jié)合實施例對本發(fā)明提供的BN-SiC復(fù)合顆粒及其制備方法進(jìn)行詳細(xì)的說明,但是不能把它們理解為對本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。

      實施例1

      將尺寸為100μm的SiC顆粒裝入設(shè)計好的工裝;采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空,使本底真空度達(dá)到5×10-4Pa;

      打開氣體流量計,向真空腔充入Ar至腔內(nèi)氣壓達(dá)到3Pa;

      打開樣品臺加熱裝置,使SiC顆粒溫度達(dá)到400℃;

      打開樣品臺擺動裝置,設(shè)置擺動頻率為50次/分鐘;

      開啟BN靶材,調(diào)整其射頻電源功率為250W,濺射鍍膜2h;其中BN靶材的尺寸為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度為99.9999%;

      關(guān)閉射頻電源,保溫20min;

      依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      使用臺階儀檢測SiC顆粒表面的BN鍍層厚度,可得BN膜層厚度約為20μm;

      使用潤濕角測量儀測量SiC顆粒包覆BN鍍層前后與鋁液的潤濕角,測量結(jié)果見圖1和圖2;根據(jù)圖1和圖2可以看出,未包覆BN鍍層之前,SiC顆粒與鋁液的潤濕角為105°,包覆BN鍍層后的SiC-BN復(fù)合顆粒與鋁液的潤濕角為29°,可以看出,包覆BN鍍層后的SiC顆粒與鋁液的潤濕性顯著提高。

      實施例2

      將尺寸為0.5μm的SiC顆粒裝入設(shè)計好的工裝;采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空,使本底真空度達(dá)到4×10-4Pa;

      打開氣體流量計,向真空腔充入Ar至腔內(nèi)氣壓達(dá)到0.5Pa;

      打開樣品臺加熱裝置,使SiC顆粒溫度達(dá)到300℃;

      打開樣品臺擺動裝置,設(shè)置擺動頻率為150次/分鐘;

      開啟BN靶材,調(diào)整其射頻電源功率為230W,濺射鍍膜4h;其中BN靶材的尺寸為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度為99.9999%;

      關(guān)閉射頻電源,保溫60min;

      依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      使用臺階儀檢測SiC顆粒表面的BN鍍層厚度,可得BN膜層厚度約為15μm;

      使用潤濕角測量儀測量所得樣品與鋁液的潤濕角,可得潤濕角為35°。

      實施例3

      將尺寸為700μm的SiC顆粒裝入設(shè)計好的工裝;采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空,使本底真空度達(dá)到4×10-3Pa;

      打開氣體流量計,向真空腔充入Ar至腔內(nèi)氣壓達(dá)到15Pa;

      打開樣品臺加熱裝置,使SiC顆粒溫度達(dá)到500℃;

      打開樣品臺擺動裝置,設(shè)置擺動頻率為10次/分鐘;

      開啟BN靶材,調(diào)整其射頻電源功率為150W,濺射鍍膜5h;其中BN靶材的尺寸為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度為99.9999%;

      關(guān)閉射頻電源,保溫30min;

      依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      使用臺階儀檢測SiC顆粒表面的BN鍍層厚度,可得BN膜層厚度約為7μm;

      使用潤濕角測量儀測量所得樣品與鋁液的潤濕角,可得潤濕角為50°。

      實施例4

      將尺寸為50μm的SiC顆粒裝入設(shè)計好的工裝;采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空,使本底真空度達(dá)到8×10-4Pa;

      打開氣體流量計,向真空腔充入Ar至腔內(nèi)氣壓達(dá)到5Pa;

      打開樣品臺加熱裝置,使SiC顆粒溫度達(dá)到350℃;

      打開樣品臺擺動裝置,設(shè)置擺動頻率為120次/分鐘;

      開啟BN靶材,調(diào)整其射頻電源功率為100W,濺射鍍膜6h;其中BN靶材的尺寸為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度為99.9999%;

      關(guān)閉射頻電源,保溫40min;

      依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      使用臺階儀檢測SiC顆粒表面的BN鍍層厚度,可得BN膜層厚度約為5.5μm;

      使用潤濕角測量儀測量所得樣品與鋁液的潤濕角,可得潤濕角為70°。

      實施例5

      將尺寸為10μm的SiC顆粒裝入設(shè)計好的工裝;采用機(jī)械泵及分子泵對真空腔進(jìn)行抽真空,使本底真空度達(dá)到5×10-4Pa;

      打開氣體流量計,向真空腔充入Ar至腔內(nèi)氣壓達(dá)到0.1Pa;

      打開樣品臺加熱裝置,使SiC顆粒溫度達(dá)到300℃;

      打開樣品臺擺動裝置,設(shè)置擺動頻率為70次/分鐘;

      開啟BN靶材,調(diào)整其射頻電源功率為240W,濺射鍍膜5.5h;其中BN靶材的尺寸為Φ100mm×5mm,BN靶材的純度為99.9999%;

      關(guān)閉射頻電源,保溫50min;

      依次關(guān)閉氣體流量計、高閥、分子泵、機(jī)械泵,打開放氣閥,待真空腔和大氣壓力平衡后,打開真空室,取出樣品。

      使用臺階儀檢測SiC顆粒表面的BN鍍層厚度,可得BN膜層厚度約為18μm;

      使用潤濕角測量儀測量所得樣品與鋁液的潤濕角,可得潤濕角為30°。

      由以上實施例可知,本發(fā)明提供的SiC-BN復(fù)合顆粒與鋁液的潤濕性好,從而在制備SiC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料中可以與鋁基體達(dá)到良好的界面結(jié)合。

      以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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