技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種碳化硅的制備工藝。本發(fā)明所述碳化硅的制備工藝，其特征在于包括以下步驟：（1）稱3.5g膨脹石墨(青島南墅宏達(dá)石墨制品有限公司)與10.5g硅溶膠(二氧化硅的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為28.73%),加入1g硝酸鑭,攪拌混合；（2）混合均勻后,攪拌加熱至溶劑完全蒸發(fā),得到碳化硅前驅(qū)體。將前驅(qū)體放入氧化鋁管式爐中,在氬氣保護(hù)下升溫至1300℃,恒溫6h,自然冷卻至室溫；（3）將反應(yīng)后的樣品取出,置于馬弗爐中700℃焙燒4h,除去未反應(yīng)的碳;（4）用鹽酸和氫氟酸浸泡24h,除去未反應(yīng)的二氧化硅,凝膠促進(jìn)劑鑭等雜質(zhì),經(jīng)洗滌、過(guò)濾、干燥,得到灰白色的碳化硅。本發(fā)明所述碳化硅的制備工藝，方法簡(jiǎn)單，成品率高。

技術(shù)研發(fā)人員：郝青
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陜西玉航電子有限公司
文檔號(hào)碼：201611091216
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.01
技術(shù)公布日：2017.03.22