技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種碳化硅單晶爐，它包括坩堝，在所述坩堝上方設(shè)有坩堝蓋，在所述坩堝底部設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，在所述坩堝內(nèi)設(shè)有物料室，在所述坩堝蓋下端面設(shè)有籽晶，所述籽晶至少設(shè)置一個(gè)，在所述坩堝外部設(shè)有保溫層，所述坩堝和坩堝蓋都設(shè)在反應(yīng)室內(nèi)，在所述反應(yīng)室外部設(shè)有感應(yīng)線圈，所述感應(yīng)線圈的分布高度占反應(yīng)室高度的1/2?7/10，所述坩堝的內(nèi)徑長(zhǎng)度占反應(yīng)室內(nèi)徑長(zhǎng)度的3/5?4/5，在所述反應(yīng)室上設(shè)有壓力控制裝置和監(jiān)測(cè)裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，控制精確，產(chǎn)品質(zhì)量高。

技術(shù)研發(fā)人員：袁玉平;閆鵬;袁佳斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇拜爾特光電設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼：201620617613
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.22
技術(shù)公布日：2017.01.04