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      一種光作用的晶體生長(zhǎng)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11372033閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,包括反應(yīng)釜、坩堝和加熱器,坩堝設(shè)在反應(yīng)釜內(nèi),加熱器設(shè)在坩堝側(cè)面,其特征在于,所述反應(yīng)釜上設(shè)有調(diào)節(jié)閥,反應(yīng)釜上設(shè)有延伸至坩堝內(nèi)的光傳輸通道,該光傳輸通道與光源連接使光源發(fā)出的光線經(jīng)光傳輸通道射入坩堝內(nèi)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述光傳輸通道的下端位于坩堝內(nèi)的溶液液面上方。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述光傳輸通道的下端伸入坩堝內(nèi)的溶液內(nèi)部。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述光傳輸通道下端的端面設(shè)為傾斜狀、平面狀或者弧形狀。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述光傳輸通道由實(shí)心晶體、內(nèi)部充滿惰性氣體的空心通道或光學(xué)鏡片構(gòu)成。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所光源為紫外光源,并且該紫外光源設(shè)在反應(yīng)釜內(nèi)或者反應(yīng)釜外。

      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述坩堝底部裝接有旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸,該旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)裝置連接。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述反應(yīng)釜內(nèi)還設(shè)有伸入坩堝內(nèi)用于驅(qū)動(dòng)流體流動(dòng)的葉片,該葉片通過支撐桿與驅(qū)動(dòng)裝置連接。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述葉片位于坩堝內(nèi)溶液液面的上方或者內(nèi)部。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的光作用的晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于,所述反應(yīng)釜上還設(shè)有進(jìn)氣管路,該進(jìn)氣管路延伸至坩堝內(nèi)的溶液內(nèi)部,該進(jìn)氣管路上設(shè)有進(jìn)氣加熱器和進(jìn)氣調(diào)節(jié)閥。

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