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      一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11679423閱讀:2532來源:國知局
      一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置的制造方法

      本實(shí)用新型涉及太陽能電池設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置。



      背景技術(shù):

      目前,太陽能電池,也稱光伏電池,是一種太陽能的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。由于他是綠色的環(huán)保產(chǎn)品,不會(huì)引起環(huán)境污染,而且是可再生資源,所以在當(dāng)今能源短缺的情形下,太陽能電池是一種有廣闊發(fā)展前途的新型能源。隨著擴(kuò)散方阻的不斷提高,現(xiàn)有爐管擴(kuò)散方式的均勻性已經(jīng)很差,不能滿足目前的產(chǎn)線需求。普通擴(kuò)散石英舟是硅片與爐管進(jìn)氣氣流方向呈 90°角,這種擴(kuò)散方式呈現(xiàn)出的方阻趨勢是中間高,邊緣低,隨著擴(kuò)散方阻的不斷升高,中心方阻與邊緣方阻的差異越來越大。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于提供一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題,所具有的有益效果是:本實(shí)用新型減少了硅片片內(nèi)方阻梯度,提高擴(kuò)散方阻的片內(nèi)均勻性。

      為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置,包括噴淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排氣箱,所述噴淋管通過卡扣與石英管內(nèi)壁連接,所述噴淋管的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣口,且噴淋孔設(shè)置在噴淋管右端,所述石英管左側(cè)設(shè)置有細(xì)管口,且石英管右側(cè)設(shè)置有后密封塞,所述石英管內(nèi)部設(shè)置有插片卡槽,且插片卡槽上固定有插片,所述石英管底部固定有排廢管,且排廢管左邊與接液瓶連接,所述接液瓶設(shè)置有廢液進(jìn)口,且廢液出口設(shè)置有廢液出口,所述接液瓶頂部和底部均安裝有緩沖閥,所述廢液出口左端與冷卻瓶的右側(cè)連接,且冷卻瓶的頂部通過導(dǎo)管與排氣箱連接。

      優(yōu)選的,所述細(xì)管口左側(cè)設(shè)置有前密封塞。

      優(yōu)選的,所述插片卡槽兩側(cè)設(shè)置有插片卡板。

      優(yōu)選的,所述接液瓶與冷卻瓶之間安裝有減壓閥。

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該設(shè)備,取消原擴(kuò)散爐臺(tái)機(jī)的常規(guī)進(jìn)氣方式,更換成新型噴淋管進(jìn)行氣體輸送,使得擴(kuò)散源在管內(nèi)分布更均勻,解決了擴(kuò)散源從爐尾傳送到爐口距離的問題;減少硅片片內(nèi)方阻梯度,提高擴(kuò)散方阻的片內(nèi)均勻性;通過縮短石英舟片間距,增加插片的數(shù)量,減小印刷燒結(jié)后接觸電阻的大小,從而提升電池片效率,此外,該設(shè)備減少了硅片片內(nèi)方阻梯度,提高擴(kuò)散方阻的片內(nèi)均勻性。

      附圖說明

      圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2為本實(shí)用新型的局部視圖。

      圖中:1-進(jìn)氣口;2-前密封塞;3-細(xì)管口;4-噴淋管;5-卡扣;6-石英管;7-插片;8-噴淋孔;9-插片卡板;10-后密封塞;11-插片卡槽;12-排廢管;13-接液瓶;14-減壓閥;15-冷卻瓶;16-導(dǎo)管;17-排氣箱;18-廢液出口;19-緩沖閥;20-廢液進(jìn)口。

      具體實(shí)施方式

      下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

      請(qǐng)參閱圖1和圖2,一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置,包括噴淋管4、石英管6、插片卡槽11、接液瓶13和排氣箱17,噴淋管4通過卡扣5與石英管6內(nèi)壁連接,噴淋管4的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣口1,且噴淋孔8設(shè)置在噴淋管4右端,石英管6左側(cè)設(shè)置有細(xì)管口3,且石英管6右側(cè)設(shè)置有后密封塞10,所述石英管6內(nèi)部設(shè)置有插片卡槽11,且插片卡槽11上固定有插片7,石英管6底部固定有排廢管12,且排廢管12左邊與接液瓶13連接,接液瓶13設(shè)置有廢液進(jìn)口20,且廢液出口18設(shè)置有廢液出口18,接液瓶13頂部和底部均安裝有緩沖閥19,廢液出口18左端與冷卻瓶15的右側(cè)連接,且冷卻瓶15的頂部通過導(dǎo)管16與排氣箱17連接,細(xì)管口3左側(cè)設(shè)置有前密封塞2,插片卡槽11兩側(cè)設(shè)置有插片卡板9,接液瓶13與冷卻瓶15之間安裝有減壓閥14。

      工作原理:使用時(shí),啟動(dòng)進(jìn)氣裝置,氣流從進(jìn)氣口1進(jìn)入噴淋管4,從噴淋管4右端的噴淋孔8進(jìn)入石英管6,在與插片7接觸后從排廢管12流出,進(jìn)入接液瓶13,改造后的接液瓶13具有接液和緩沖功能,能夠在外圍排廢壓力發(fā)生擾動(dòng)時(shí)自動(dòng)緩沖,避免氣場受到擾動(dòng),最后氣體經(jīng)過冷卻瓶15冷卻后從排氣箱17排出。

      對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此,無論從哪一點(diǎn)來看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

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