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      一種改善擴散片內方阻均勻性的裝置的制作方法

      文檔序號:11679423閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種改善擴散片內方阻均勻性的裝置,包括噴淋管(4)、石英管(6)、插片卡槽(11)、接液瓶(13)和排氣箱(17),其特征在于:所述噴淋管(4)通過卡扣(5)與石英管(6)內壁連接,所述噴淋管(4)的左側設置有進氣口(1),且噴淋孔(8)設置在噴淋管(4)右端,所述石英管(6)左側設置有細管口(3),且石英管(6)右側設置有后密封塞(10),所述石英管(6)內部設置有插片卡槽(11),且插片卡槽(11)上固定有插片(7),所述石英管(6)底部固定有排廢管(12),且排廢管(12)左邊與接液瓶(13)連接,所述接液瓶(13)設置有廢液進口(20),且廢液出口(18)設置有廢液出口(18),所述接液瓶(13)頂部和底部均安裝有緩沖閥(19),所述廢液出口(18)左端與冷卻瓶(15)的右側連接,且冷卻瓶(15)的頂部通過導管(16)與排氣箱(17)連接。

      2.根據(jù)權利要求1所述的一種改善擴散片內方阻均勻性的裝置,其特征在于:所述細管口(3)左側設置有前密封塞(2)。

      3.根據(jù)權利要求1所述的一種改善擴散片內方阻均勻性的裝置,其特征在于:所述插片卡槽(11)兩側設置有插片卡板(9)。

      4.根據(jù)權利要求1所述的一種改善擴散片內方阻均勻性的裝置,其特征在于:所述接液瓶(13)與冷卻瓶(15)之間安裝有減壓閥(14)。

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