1.一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液,其特征在于所述預(yù)處理液由以下成分組成:質(zhì)量百分比含量10~20%的鹽酸(HCl),質(zhì)量百分比含量2%~5%的氫氟酸(HF),質(zhì)量百分比含量5~10%的聚乙烯醇(PVA),質(zhì)量百分比含量0.5~1%的聚二甲基硅氧烷,質(zhì)量百分含量1-2%的羥丙基-β-環(huán)糊精及余量的水。
2.如權(quán)利要求1所述的一種TFT玻璃基板薄化工藝預(yù)處理液,其特征在于所述其特征在于所述預(yù)處理液的配制方法為:
1)將處方量鹽酸與氫氟酸混合,并加入適量水稀釋
2)將處方量的羥丙基-β-環(huán)糊精溶于適量水中至完全溶解,然后加入;
3)將處方量PVA溶于適量水中至完全溶解
4)將步驟2)、3)得到的溶液混合,然后將步驟1)得到的混合液緩慢加入,加入處方量聚二甲基硅氧烷,補足處方量的水并攪拌至成為均一溶液。