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      一種MoO2納米棒的制備方法與流程

      文檔序號(hào):12635325閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種MoO2納米棒的制備方法,其特征在于,包含以下步驟:

      (1)對(duì)藍(lán)寶石單晶基底進(jìn)行超聲清洗;

      (2)將S粉與MoO3粉末置于石英舟中,間隔18-22cm,并將步驟(1)處理的藍(lán)寶石置于MoO3粉末上;

      (3)將步驟(2)準(zhǔn)備好的石英舟置于CVD加熱爐中進(jìn)行加熱,冷卻至室溫后,即得到MoO2納米棒。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中,S粉與MoO3粉末的質(zhì)量比為(30:1)-(20:1)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中,S粉所在的溫區(qū)為第一溫區(qū),MoO3粉末所在的溫區(qū)為第二溫區(qū);其中,加熱過(guò)程具體包含以下步驟:

      (a)先經(jīng)過(guò)5-15min的加熱處理使MoO3粉末所在的第二溫區(qū)的溫度升至100℃-200℃,并持續(xù)該溫度20-35min;

      (b)步驟(a)完成后,繼續(xù)加熱第二溫區(qū),使第二溫區(qū)的溫度在25-40min內(nèi)升至700-800℃,并持續(xù)該溫度5-20min;

      當(dāng)?shù)诙貐^(qū)的溫度升至690-710℃時(shí),開(kāi)始加熱S粉所在第一溫區(qū),使第一溫區(qū)的溫度升至150-250℃,保持該溫度10-20min;其中,加熱第一溫區(qū)時(shí)的升溫速率10-25℃/min;

      (c)步驟(b)完成后,將第二溫區(qū)的溫度在20-30min內(nèi)降至500-600℃,然后關(guān)閉CVD加熱爐開(kāi)關(guān),打開(kāi)爐子,讓其迅速降至室溫,CVD加熱爐內(nèi)的氣壓在步驟(3)整個(gè)過(guò)程中保持一個(gè)大氣壓。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法,其特征在于,加熱過(guò)程中通入載氣,步驟(a)過(guò)程中保持載氣流量為400-510sccm,步驟(b)過(guò)程中載氣流量為25-55sccm,步驟(c)過(guò)程中保持載氣流量為400-510sccm。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述載氣為高純惰性氣體。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中,使用藍(lán)寶石的(0001)面或面作為基底。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中的清洗過(guò)程,包含以下步驟:

      ①將藍(lán)寶石基底放入燒杯中,倒入無(wú)水乙醇沒(méi)過(guò)基底,超聲10-20min,倒出無(wú)水乙醇;

      ②將去離子水倒入燒杯,超聲10-15min,倒去離子水;

      ③加入丙酮,超聲10-20min,倒出丙酮;

      ④加入去離子水超聲10-15min;

      ⑤重復(fù)以上操作1-2次,最后加入無(wú)水乙醇超聲后用氮?dú)鈽寣⒒状蹈伞?/p>

      8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中,先將石英舟放入玻璃管內(nèi),再置于CVD加熱爐中。

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