1.一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，所述檢漏儀包括檢漏模塊和氦氣純化模塊，所述氦氣純化模塊的出氣端與檢漏模塊的進(jìn)氣端通過管道連接，所述氦氣純化模塊的進(jìn)氣端與檢漏模塊的出氣端通過管道連接，其特征在于，所述氦氣純化模塊包括進(jìn)氣端與檢漏模塊的出氣端連接的第一緩沖罐、進(jìn)氣端與第一緩沖罐的出氣端通過第一管道連通的第一純化裝置，所述第一純化裝置的出純氣端根據(jù)其排出的氦氣純度選擇性地與檢漏模塊的進(jìn)氣端或者第一緩沖罐的進(jìn)氣端連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，所述第一純化裝置包括至少一個(gè)膜分離器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，所述第一管道設(shè)置有壓縮泵，所述壓縮泵根據(jù)第一緩沖罐內(nèi)的壓力選擇性的開啟。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，在所述第一管道上且在氣體流向方向上位于壓縮泵的后端設(shè)置有流量計(jì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，在所述第一管道上且在氣體流向方向上位于壓縮泵的后端設(shè)置有凈化模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，所述第一純化裝置的出純氣端通過第二管道選擇性地與漏模塊的進(jìn)氣端或者第一緩沖罐的進(jìn)氣端連通，在第二管道上連接有氣體純度檢測(cè)儀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，還包括進(jìn)氣端與第一純化裝置的尾氣端相連的第二純化裝置，所述第二純化裝置的出純氣端與第一緩沖罐的進(jìn)氣端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，所述第二純化裝置包括至少一個(gè)膜分離器。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，其特征在于，所述第一純化裝置與第二純化裝置之間的管道上設(shè)置有第二緩沖罐。
10.一種檢漏儀，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的氦氣純化模塊。