技術總結
本發(fā)明公開了一種嵌入到檢漏儀中的氦氣純化模塊，所述檢漏儀包括檢漏模塊和氦氣純化模塊，所述氦氣純化模塊的出氣端與檢漏模塊的進氣端通過管道連接，所述氦氣純化模塊的進氣端與檢漏模塊的出氣端通過管道連接，所述氦氣純化模塊包括進氣端與檢漏模塊的出氣端連接的第一緩沖罐、進氣端與第一緩沖罐的出氣端通過第一管道連通的第一純化裝置，所述第一純化裝置的出純氣端根據(jù)其排出的氦氣純度選擇性地與檢漏模塊的進氣端或者第一緩沖罐的進氣端連通。該氦氣純化模塊屬于檢漏儀的一部分，結構緊湊，占地面積小。

技術研發(fā)人員：劉朝明;魯驥;黃衛(wèi)
受保護的技術使用者：安徽萬瑞冷電科技有限公司
文檔號碼：201710086055
技術研發(fā)日：2017.02.17
技術公布日：2017.05.31