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      一種平整封裝傳感器的工藝的制作方法

      文檔序號:12343645閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      一種平整封裝傳感器的工藝,涉及到傳感器封裝工藝技術(shù)領(lǐng)域,解決現(xiàn)有FPS類封裝產(chǎn)品去除晶圓印記存在的技術(shù)不足,采用環(huán)氧塑封料對傳感器芯片進行封裝,環(huán)氧塑封料包含有填充劑和酚醛樹脂,填充劑主要成份為氧化鋁和SiO2,氧化鋁占填充劑的重量百分比分別為:30%~45%,SiO2占填充劑的重量百分比分別為:55%~70%;本發(fā)明主要是對填充劑比例做出了改進,同時通過改變固化劑含量將玻璃化溫度控制在140±10℃,從而使得環(huán)氧塑封料收縮率降至0.16,從而有效地解決環(huán)氧塑封料固化形成影響傳感器表面平整度的晶圓印記技術(shù)問題,降低成本,提高散熱性能,無需打磨,極大提升產(chǎn)品良率,提高產(chǎn)品可靠性。

      技術(shù)研發(fā)人員:于澤
      受保護的技術(shù)使用者:深圳芯啟航科技有限公司
      文檔號碼:201610713018
      技術(shù)研發(fā)日:2016.08.24
      技術(shù)公布日:2017.01.04

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