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      磁控濺射塑料靶材膜的制作方法

      文檔序號(hào):11124826閱讀:953來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明涉及材料領(lǐng)域,具體的說(shuō),本發(fā)明涉及一種磁控濺射塑料靶材膜。



      背景技術(shù):

      磁控濺射塑料靶材膜對(duì)于導(dǎo)電性有特殊的要求,因此對(duì)于其靶材的研究一直是本領(lǐng)域的熱點(diǎn)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的在于提供一種磁控濺射塑料靶材膜。

      為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的,本發(fā)明提供一種磁控濺射塑料靶材膜,由下列重量份的原料制成:ABS塑料100-150份、偶聯(lián)劑10-30份、相容劑10-20份、潤(rùn)滑劑1-5份、抗氧化劑10-20份、增塑劑20-50份和導(dǎo)電助劑10-20份。

      優(yōu)選地,本發(fā)明所述的磁控濺射塑料靶材膜由下列重量份的原料制成:ABS塑料120份、偶聯(lián)劑20份、相容劑15份、潤(rùn)滑劑3份、抗氧化劑15份、增塑劑30份和導(dǎo)電助劑15份。

      更優(yōu)選地,所述偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑KH550。

      更優(yōu)選地,所述相容劑為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯接枝馬來(lái)酸酐。

      更優(yōu)選地,所述潤(rùn)滑劑為液體石蠟。

      更優(yōu)選地,所述抗氧化劑為N,N-二苯基對(duì)苯胺。

      更優(yōu)選地,所述增塑劑為鄰苯二甲酸甲酯。

      更優(yōu)選地,所述導(dǎo)電助劑為:

      本發(fā)明所述的磁控濺射塑料靶材膜值得大規(guī)模推廣使用。

      具體實(shí)施方式

      以下通過(guò)具體實(shí)施方式的描述對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明,但這并非是對(duì)本發(fā)明的限制,本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的基本思想,可以做出各種修改或改進(jìn),但是只要不脫離本發(fā)明的基本思想,均在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。

      實(shí)施例1

      稱(chēng)取ABS塑料120千克、偶聯(lián)劑20千克、相容劑15千克、潤(rùn)滑劑3千克、抗氧化劑15千克、增塑劑30千克和導(dǎo)電助劑15千克,所述偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑KH550。所述相容劑為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯接枝馬來(lái)酸酐。所述潤(rùn)滑劑為液體石蠟。所述抗氧化劑為N,N-二苯基對(duì)苯胺。所述增塑劑為鄰苯二甲酸甲酯。所述導(dǎo)電助劑為:

      將上述物質(zhì)加熱至80℃,加入高速攪拌機(jī),以1000轉(zhuǎn)/分鐘攪拌10分鐘,然后出料到加入長(zhǎng)徑比(L/D)為40的雙螺桿擠出機(jī)中,雙螺桿擠出機(jī)的加工溫度:一區(qū)溫度170℃,二區(qū)溫度為180℃,三區(qū)溫度為190℃,四區(qū)溫度為205℃,五區(qū)溫度為215℃,六區(qū)溫度為225℃,七區(qū)溫度為235℃,八區(qū)溫度為240℃,主機(jī)轉(zhuǎn)速為350轉(zhuǎn)/min;經(jīng)過(guò)擠出后冷卻牽條、風(fēng)干切粒,即得。

      實(shí)施例2

      按照和實(shí)施例1相同的方式制備樣品2,不同之處在于不使用導(dǎo)電助劑:

      實(shí)驗(yàn)例

      按IEC60093要求進(jìn)行測(cè)試表面電阻率,結(jié)果如下:實(shí)施例1的樣品的表面電阻率(Ω)為1.8×105,實(shí)施例2的樣品的表面電阻率(Ω)為8.3×107,由此可見(jiàn),加入導(dǎo)電助劑后,導(dǎo)電性到顯著增強(qiáng),實(shí)施例1的結(jié)果與實(shí)施例2的結(jié)果進(jìn)行比較,差異具有統(tǒng)計(jì)學(xué)意義(P<0.05)。

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